Exentec ist auf ultrahochreine Chemikalien- und Gassysteme für die Halbleiterindustrie spezialisiert. Unser Portfolio umfasst Misch- und Förderanlagen für eine breite Palette von Anwendungen in wässrigen Chemikalien und CMP-Slurries.
Darüber hinaus bieten wir die erforderlichen Vor-Ort-Supportdienste, Steuerungen, Integration und technisches Fachwissen, um die strengen Anforderungen der Halbleiterprozesssteuerung zu erfüllen.
Unsere zuverlässigen Systeme bieten:
- Fortschrittliche messtechnisch gesteuerte Prozesssteuerung im geschlossenen Regelkreis
- Automatisierte Qualitätskontrolle von Chemikalien und Schlämmen
- Flexible, skalierbare und präzise Förder- und Mischsysteme
- Erhöhte Prozesskontrolle durch Steuerung der Mischungskonzentration und des Drucks
- Nahtlose Integration in SCADA mit vollständiger I&C-Unterstützung
- Optimale Stellfläche
- Maximale Betriebszeit
Hochreine chemische Systeme
Exentec bietet Ausrüstungen, Kundendienst und technisches Fachwissen, um die verschiedenen Anforderungen an die Zufuhr hochreiner Flüssigkeiten, das Mischen von Chemikalien und hochmoderne CMP-Slurry-Systeme für die Halbleiterherstellung und andere High-Tech-Industrien zu erfüllen.
Chemische Entladung
Kontinuierlicher Transfer von Chemikalien von den Haupttanks zu den Verteilertanks in der Produktion mit System- und/oder Komponentenredundanz zur Maximierung der Produktionsbetriebszeit.
Chemische Distribution
Unsere Systeme zur Verteilung von Chemikalien verbessern die Prozesse, optimieren den Platzbedarf, minimieren die Ausfallzeiten und verlängern die Produktlebensdauer, wodurch die Gesamtbetriebskosten gesenkt werden.
Inline-Blending
Die patentierte Technologie von Exentec zur bedarfsgerechten Inline-Mischung von Chemikalien und zur Versorgung mit chemischen Lösungen berücksichtigt bedarfsgerechte dynamische Änderungen der Durchflussmengen durch die Endverbraucher oder die Verwendungsstellen, während die Genauigkeit der Mischung beibehalten wird.
Chemische Erzeugung
Mit der integrierten NH4OH-Technologievon Exentec zur Erzeugung von Chemikalien vor Ort können Halbleiterfabriken ihre Gesamtkosten für die Chemikalienversorgung erheblich senken, die Qualität steigern, die Widerstandsfähigkeit gegen Störungen in der Lieferkette erhöhen und die ökologische Nachhaltigkeit verbessern.
CMP-Gülle-Mischung und -Lieferung
Beseitigen Sie teure, arbeitsintensive Offline-Messungen und manuelle Prozessanpassungen. Exentec hat erfolgreich eine Onboard-Steuerungstechnologie entwickelt, die eine Closed-Loop-Steuerung einer kundenspezifischen CMP-Slurry-Lösung für Halbleiter in Misch- und Verteilungsprozessen ermöglicht.
Reinraum
Exentec bietet schlüsselfertige Reinraumtechnologie und Reinraumprodukte für die High-Tech-Industrie
Exentec bietet schlüsselfertige Reinraumtechnologie für die High-Tech-Industrie. Wir entwickeln, produzieren und warten Reinraumprodukte und Produktionsumgebungen für ultrareine kontrollierte Atmosphären.
Mini-Umgebungen
Auf dem Batteriemarkt leistet Exentec Pionierarbeit mit einem einzigartigen modularen Mini-Environment-Konzept, das Energiereduzierung und technologische Verbesserungen integriert.
Klimageräte
Die Lüftungsgeräte von Exentec zeichnen sich durch energieeffizientes Design aus. Unser Forschungs- und Entwicklungsteam arbeitet mit modernsten Geräten und bringt immer die neuesten Erkenntnisse ein.
Kritische Subsysteme und kontrollierte Umgebungen
Reine Medienversorgungssysteme für empfindliche Produkte
Chemische Versorgung
Systeme zum Mischen und Verteilen von ultrahochreinen Chemikalien und Schlämmen
Systeme zum Mischen und Verteilen von ultrahochreinen Chemikalien und Schlämmen
Ampullen und Sensoren
Wir stellen Flüssigkeitsstandssensoren, Behälter für pyrophore Chemikalien und DOT 4B Ampullen, Zylinder und Kanister her, die in der Halbleiter-, Photovoltaik- und Batterieindustrie weit verbreitet sind.
Prozess Auspuff
Wir setzen den Industriestandard für sichere und zuverlässige Absaugsysteme für korrosive Dämpfe
Gasvermeidung
Wir sind ein bevorzugter Lieferant für große Halbleiterunternehmen auf der ganzen Welt und bieten Point-of-Use (POU)-Gasminderungslösungen für Abscheidungs-, Ätz- und Diffusionsprozesswerkzeuge.
Biopharma-Lösungen
Wir unterstützen alle kritischen Schritte der biopharmazeutischen Herstellung
Nasse Bänke
Wir haben uns auf die Entwicklung von Oberflächenvorbereitungssystemen spezialisiert, bei denen Anwendungsanforderungen und Geräteleistung nahtlos zusammenpassen.
Wir haben uns auf die Entwicklung von Oberflächenvorbereitungssystemen spezialisiert, bei denen Anwendungsanforderungen und Geräteleistung nahtlos zusammenpassen.
Slurry-Systeme
Exentec ist ein weltweit anerkannter Anbieter von vertikal integrierten Ausrüstungs- und Konstruktionslösungen für die sich entwickelnden Anforderungen der Mikroelektronik- und Halbleiterindustrie.