CMP-Gülle-Mischung und -Lieferung
CMP-Gülle-Mischung und -Lieferung
Abschaffung teurer, arbeitsintensiver Offline-Messungen und manueller Prozessanpassungen
In Halbleiterfabriken gelten zunehmend strenge obere und untere Kontrollgrenzen (UCL / LCL) für eine Reihe kritischer Prozessparameter. Zu diesen Parametern gehören konzentrationsspezifische Funktionen und viele andere, die mit CMP-Slurry-Misch- und Verteilungsvorgängen einer bestimmten kritischen chemischen Wirkung verbunden sind.
Um dies zu erreichen, hat es große Fortschritte in der Messtechnik gegeben, die sich in den verschiedenen Bereichen und Grundsätzen unterscheiden, aber viele sind heute nur Offline-Messungen oder -Überprüfungen, die verwendet werden, um die erforderliche Präzision und Genauigkeit für diese Kontrollgrenzen zu erreichen.
Um den Bedarf an Offline-Instrumenten zu eliminieren, hat Exentec eine bewährte Praxis der chemisch-mechanischen Poliercharakterisierung, bei der es möglich ist, verschiedene Messgeräte oder Kombinationen dieser Geräte zu verwenden, um die klassenbeste Inline-Metrologie-gesteuerte Kontrolle mit dem höchsten Präzisionsniveau zu erreichen.
Exentec kann dieses Instrumentenkonzert nutzen, um Online-Ergebnisse in Echtzeit zu erzielen, die nachweislich das Niveau vieler Offline-Methoden erreichen oder übertreffen.
Vorteile
- Höhere Mischungsgenauigkeit und Echtzeitkontrolle
- Maximale Betriebszeit
- Vollständig automatisiertes System
- Niedrige Betriebskosten
- Flexible und benutzerfreundliche HMI
- System- und/oder Komponentenredundanz zur Maximierung der Produktionsbetriebszeit
- Automatisierte Systemspülung
- Platzsparende Konstruktionen
- Vollständige Konfiguration und Manipulation von Mischungen
Hochreine chemische Systeme
Wir bieten Ausrüstungen, Kundendienst und technisches Fachwissen, um die verschiedenen Anforderungen an die Zufuhr hochreiner Flüssigkeiten, das Mischen von Chemikalien und hochmoderne CMP-Slurry-Systeme für die Halbleiterherstellung und andere High-Tech-Industrien zu erfüllen.
Chemische Entladung
Das Exentec Titan™ Transfer- und Entladesystem transferiert automatisch eine wässrige Chemikalie vom Tankwagenentladeschrank zu den Hauptverteiltanks.
Chemische Distribution
Exentec bietet Ausrüstungen, Kundendienst und technisches Fachwissen, um die Anforderungen bei der Entwicklung und Herstellung von Verteilungssystemen für hoch- und niedrigreine Chemikalien zu erfüllen.
Inline-Blending
Die patentierte Technologie von Exentec zur bedarfsgerechten Inline-Mischung von Chemikalien und zur Bereitstellung chemischer Lösungen kann dynamische Änderungen der Durchflussmengen durch die Endverbraucher oder die Verwendungsstellen bei gleichzeitiger Beibehaltung einer präzisen Mischgenauigkeit berücksichtigen.
Chemische Erzeugung
Exentecs Technologie zur Erzeugung von NH4OHvor Ort hilft Halbleiterfabriken dabei, ihre Gesamtkosten für die Chemikalienversorgung erheblich zu senken, die Widerstandsfähigkeit zu verbessern und die ökologische Nachhaltigkeit zu erhöhen.