Wir bieten verschiedene Dienstleistungen für die Analyse kritischer Parameter und die Überwachung von Reinstwassersystemen an. Um die hohe Qualität der Analysen zu gewährleisten, ist der Exentec-Analysebereich mit einer eigenen Reinstwasseranlage verbunden.

Unsere Dienstleistungen für die Analyse von Reinstwasser umfassen:

• Anionen und Kationen mit Nachweisgrenzen im ppt-Bereich
• Spurenmetalle bis in den sub-ppt-Bereich
• TOC-Bestimmung bis zu 0,1 ppb
• Partikelmessung bis zu einer Partikelgröße von 0,05 μm
• Bestimmung des Wasserwiderstandes, von Bakterien und der Kieselsäurebelastung
• Konformitätsbewertung nach Kundenspezifikation

Spurenanalytik

Die Prozess- und Produktqualität kann durch verunreinigtes Spülwasser, das verschiedene organische und anorganische Verunreinigungen enthält, beeinträchtigt werden. Durch die Integration aller Technologien zur Wasseraufbereitung wird die Reinheit des Wassers durch die Entfernung von Partikeln, organischen und anorganischen Bestandteilen sowie gelösten Gasen auf ein ultra-hohes Niveau gebracht. Die Halbleiterindustrie verlangt immer strengere Toleranzgrenzen für Verunreinigungen in Reinstwasser, insbesondere für kritische Metalle und TOC. Dies erfordert ein sorgfältig strukturiertes, analytisches Testprogramm für kritische Parameter wie Ionen, Metalle, Partikel, organische Verbindungen und Bakterien, um eine hohe Qualität des UPW zu gewährleisten.

Unsere Dienstleistungen im Bereich der Spurenanalyse umfassen:

• Prüfung der Wasserqualität in einem Prozesswerkzeug oder einer Mini-Umgebung zur UPW-Konditionierung
• Prüfung der Wasserqualität im Gesamtsystem vom Point of Entry (POE) bis zum Point of Use (POU)
• Kontrolle der Wasserqualität an mehreren Übergabestellen
• Vorqualifizierung von ultrahochreinen (UHP) Polymermaterialien (Rohre, Schläuche, Membranen usw.) für UPW-Verteilungssysteme durch statische oder dynamische Auslaugtests

Auslaugungstest

Polymerwerkstoffe und -komponenten, die in UPW-Verteilungssystemen verwendet werden, sind potenzielle Kontaminationsquellen, die die Wasserqualität beeinträchtigen können. Aus diesem Grund müssen ultrahochreine (UHP) Polymermaterialien, die im Produktionsprozess verwendet werden, genaue SEMI-Standardspezifikationen erfüllen. Daher ist die Vorqualifizierung dieser Materialien unerlässlich, bevor sie in UPW-Systemen eingesetzt werden.

Die folgenden Materialprüfverfahren werden von uns angeboten:

• Statischer Auslaugtest von Schläuchen, Rohrleitungen, Membranen, Ventilen, O-Ringen nach SEMI F40 in Reinräumen der Klasse 5
• Testbedingungen 85 ± 5 °C, 7 Tage (andere Testbedingungen können angewendet werden)
• Analyse von ionischen, metallischen und organischen Verunreinigungen
• Bestimmung der Partikelkontamination in einem Spültest nach SEMI F104
• Bewertung der Einhaltung der Kontaminationsspezifikationen nach SEMI F57
• Dynamische Auslaugungstests, d.h. kontinuierlicher Durchfluss zur Klassifizierung von UPW durch ein Teil oder eine Baugruppe, gemäß SEMI-Standards und Kundenspezifikation
• Prüfung der Wasserqualität im Gesamtsystem vom Point of Entry (POE) bis zum Point of Use (POU)