Überwachung der Luftqualität

Komplexe Fertigungsprozesse in der Elektronik- und Halbleiterindustrie erfordern eine hohe Reinheit der Umgebungsluft. Chemische Verunreinigungen in der Gasphase, so genannte Airborne Molecular Contaminants (AMC), können dünne chemische Filme auf kritischen Oberflächen bilden. Eine strenge Überwachung der Luftqualität in Innenräumen ermöglicht die Einhaltung von hochtechnologischen Produktionsumgebungen.

Exentec bietet Fachwissen zur Messung, Identifizierung und Kontrolle von Luftverunreinigungen. Dies ermöglicht es unseren Kunden, ihre Herstellungsprozesse sowie ihre Produktausbeute zu verbessern.

Die Kontrolle der Luft in neuen Reinräumen und die routinemäßige Überwachung während des Produktionsprozesses sind wesentliche Aufgaben in allen Bereichen, in denen saubere Produktionsumgebungen erforderlich sind: Halbleiterindustrie, Optik- und Lasertechnologie und andere Reinraumbereiche.

Unser Portfolio umfasst:

• Luftprobenahme in Innenräumen, in Zuluftanlagen, Umluftanlagen, in Kleinsträumen und Werkzeugen
• Sorgfältige Auswahl der Probenahmestellen für die Ursachenanalyse, wenn ein höherer Verschmutzungsgrad festgestellt wird
• Auswahl der geeigneten Probenahmemethode
• Auswertung nach internationalem Stand der Technik und nach Kundenvorgaben
  

Deshalb bieten wir an:

• Analyse von Umgebungs-, Reinraum- und reiner Trockenluft
• Probenahme von Säuren und Basen mittels Impingermethode zur ionenchromatographischen (IC) und massenspektrometrischen (ICP-MS) Analyse
• Probenahme von organischen Verbindungen und feuerfesten Stoffen durch Probenahme mit Adsorptionsmaterialien (z.B. Tenax, CarboTrap) für die TD-GC/MS-Analyse