Viele industrielle Prozesse erfordern Wasser in einer klar definierten Qualität und Reinheit. Dies gilt insbesondere für pharmazeutische Produktionsprozesse, aber auch für viele andere Branchen. Mit Reinstwassersystemen von Exentec lassen sich unterschiedliche Reinheitsgrade realisieren - bis hin zu "water for injection" in höchster Qualität.

Die Anlagen können auf Wunsch in die bestehende Infrastruktur integriert oder als Stand-Alone-Lösung betrieben werden. In jedem Fall werden sie von erfahrenen Exentec-Spezialisten nach den geltenden Industrienormen, Spezifikationen und Vorschriften ausgelegt. Neben der Integration von Generatorsystemen fertigt Exentec auch komplette Rohrleitungs- und Verteilersysteme inklusive aller Komponenten und Sensorik, wahlweise in Edelstahl oder Kunststoff.

Gemeinsam mit dem Kunden entwickelt Exentec Systeme und Lösungen zur Erzeugung von UPW und dessen Konditionierung mit einer Genauigkeit von ± 0,25 mK. Diese Produkte sind die Voraussetzung für den erfolgreichen Einsatz der Immersionstechnologie in lithographischen Prozessen.

Um kleinere Strukturen bei gleicher Wellenlänge zu erzeugen, kann die optische Dichte des Mediums zwischen Objektiv und Wafer mit Wasser verändert werden. Da die optische Dichte extrem empfindlich auf chemische Verunreinigungen sowie auf Temperaturänderungen reagiert, benötigt das verwendete Ultra-Pure-Water (UPW) eine extrem hohe Temperaturstabilität, um stabile Abbildungsqualitäten zu erreichen.

Eigenschaften

• Erzeugung von Reinstwasser
• Kontrolle partikulärer Verunreinigungen
• Äußerst präzise Temperaturkontrolle