Präzise Umweltkontrollkammer

Exentec Präzisionsumgebungskammern bieten sehr niedrige Temperatur- und Feuchtigkeitstoleranzen, absolute Reinheit in Bezug auf gas- und partikelförmige Verunreinigungen und Abschirmung von akustischen, vibratorischen und elektromagnetischen Einflüssen

Einrichtungen für Spitzentechnologie

Innovationen, sensible Produktionsprozesse, steigende Qualitätsanforderungen und rasante Fortschritte in Forschung und Entwicklung stellen die Produktions- und Entwicklungsumgebungen in der Halbleiter- und optischen Industrie sowie in der Nanotechnologie und Mikromechanik vor stetig wachsende Herausforderungen.

Sehr niedrige Temperatur- und Feuchtigkeitstoleranzen, absolute Sauberkeit in Bezug auf gas- und partikelförmige Verunreinigungen sowie die Abschirmung von akustischen, vibratorischen und elektromagnetischen Einflüssen auf die Prozesse des Kunden sind die Schlüsselfaktoren für optimale Produktionsprozesse. Unsere Lösung: das MEC-System (Modular Environmental Chamber).

Stabile und reproduzierbare Prozessumgebungen
Abscheidung von partikulären und chemischen Verunreinigungen
Präzise Temperaturkontrolle
Akustische Abschirmung

Technische Daten

Leistungsparameter

Luftvolumenstrom: 2,95 m³/h
Lufttemperatur: 22 °C
Temperaturstabilität: ± 5 mK bis zu ± 1 mK
Luftfeuchtigkeit: 33 % r.F.
Stabilität der Luftfeuchtigkeit: ± 0,3 % r.F.
Akustische Abschirmung: für 100 < f < 5000 Hz: -15 dB
Magnetische Abschirmung für 10 < f < 200 Hz: -30 dB

Kühlwasser-Kabinette

Die Lösung von Exentec besteht in der Trennung der Kühlkreisläufe von Fertigung und Werkzeug und in der Verwendung von Ultra-Pure-Water (UPW) im Werkzeugkreislauf.

Exentec Präzisionsumgebungskammern bieten sehr niedrige Temperatur- und Feuchtigkeitstoleranzen, absolute Sauberkeit in Bezug auf gas- und partikelförmige Verunreinigungen und Abschirmung von akustischen, vibratorischen und elektromagnetischen Einflüssen.

Präzisionsklimatisierungssysteme

Exentec bietet Präzisionsklimasysteme für die Halbleiterindustrie, die Nanotechnologie und die Produktion optischer Speichermedien, die eine gleichbleibend stabile Prozess- und Messumgebung erfordern.

Lösung zur Taupunktkontrolle

Exentec bietet Systeme und Lösungen mit Verdrängungsgasen für höchste Anforderungen an Sauberkeit, Temperaturstabilität und Trockenheit.

Aufbereitung von ultrareinem Wasser

Präzise Konditionierung von flüssigen Medien in innovativen Produktionsumgebungen.