Lösung zur Taupunktkontrolle

Exentec bietet Systeme und Lösungen mit Verdrängungsgasen für höchste Anforderungen an Reinheit, Temperaturstabilität und Trockenheit

Systemlösung für die Taupunktkontrolle

Bestimmte Produktionsprozesse erfordern mehr als absolute Reinheit und stabile Prozessparameter. Dazu gehören insbesondere optische Anwendungen, bei denen zusätzliche störende Einflüsse wie Sauerstoff und Wasser aus der Luft eliminiert werden müssen, um optimale Bilder zu gewährleisten.

Unerwünschte Gase und Wasser werden ersetzt, zum Beispiel durch trockenes Stickstoffgas. Exyte Technology bietet Systeme und Lösungen mit Verdrängungsgasen für höchste Anforderungen an Reinheit, Temperaturstabilität und Trockenheit.

Extrem trockene Prozessumgebung (- 35 °C)
"sauerstofffreie" Prozessumgebung
Stabile und reproduzierbare Prozessklimatisierung

Konstruktive Gestaltung

Typische Anwendung: feuchtigkeitsempfindliche Produktionsprozesse
Kundenanforderungen: Sehr trockene und sauerstofffreie Umgebungsbedingungen
Durchflussmenge: 3.600 m³/h
Prozesslufttemperatur: 20 °C
Temperaturstabilität: ± 1K
System-Taupunkt: - 35 °C
Luftfeuchtigkeit: 1,3 %r.F.
Restsauerstoff: < 0,8 %.

Kühlwasser-Kabinette

Die Lösung von Exentec besteht in der Trennung der Kühlkreisläufe von Fertigung und Werkzeug und in der Verwendung von Ultra-Pure-Water (UPW) im Werkzeugkreislauf.

Präzise Umweltkontrollkammer

Exentec Präzisionsumgebungskammern bieten sehr niedrige Temperatur- und Feuchtigkeitstoleranzen, absolute Sauberkeit in Bezug auf gas- und partikelförmige Verunreinigungen und Abschirmung von akustischen, vibratorischen und elektromagnetischen Einflüssen.

Präzisionsklimatisierungssysteme

Exentec bietet Präzisionsklimasysteme für die Halbleiterindustrie, die Nanotechnologie und die Produktion optischer Speichermedien, die eine gleichbleibend stabile Prozess- und Messumgebung erfordern.

Lösung zur Taupunktkontrolle

Exentec bietet Systeme und Lösungen mit Verdrängungsgasen für höchste Anforderungen an Sauberkeit, Temperaturstabilität und Trockenheit.

Aufbereitung von ultrareinem Wasser

Präzise Konditionierung von flüssigen Medien in innovativen Produktionsumgebungen.