Kühlwasser-Kabinette
Kühlwasser-Kabinette
Die Qualität des in Halbleiterfabriken verfügbaren Prozesskühlwassers ist ein wichtiges Thema
Fabrik- und Werkzeuganlagen erfordern eine präzise Kühlwassersteuerung
Die Lösung von Exyte Technology ist die Trennung der Kühlkreisläufe von Fertigung und Werkzeug und die Verwendung von Ultra-Pure-Water (UPW) im Werkzeugkreislauf. Diese Trennung ermöglicht auch eine bessere Kontrolle der Kühlwasserversorgung in Bezug auf Temperaturstabilität, Partikelverschmutzung und Durchflussmenge, was die Leistung und Verfügbarkeit der Werkzeuge erhöht.
Kühlwasser-Kabinette
Die Lösung von Exentec besteht in der Trennung der Kühlkreisläufe von Fertigung und Werkzeug und in der Verwendung von Ultra-Pure-Water (UPW) im Werkzeugkreislauf.
Präzise Umweltkontrollkammer
Exentec Präzisionsumgebungskammern bieten sehr niedrige Temperatur- und Feuchtigkeitstoleranzen, absolute Sauberkeit in Bezug auf gas- und partikelförmige Verunreinigungen und Abschirmung von akustischen, vibratorischen und elektromagnetischen Einflüssen.
Präzisionsklimatisierungssysteme
Exentec bietet Präzisionsklimasysteme für die Halbleiterindustrie, die Nanotechnologie und die Produktion optischer Speichermedien, die eine gleichbleibend stabile Prozess- und Messumgebung erfordern.
Lösung zur Taupunktkontrolle
Exentec bietet Systeme und Lösungen mit Verdrängungsgasen für höchste Anforderungen an Sauberkeit, Temperaturstabilität und Trockenheit.
Aufbereitung von ultrareinem Wasser
Präzise Konditionierung von flüssigen Medien in innovativen Produktionsumgebungen.