Chladicí vodní skříně

Chladicí vodní skříně

Použití ultračisté vody (UPW) v okruhu nástroje.

Přesná komora prostředí

Přesná komora prostředí

Přesná environmentální komora pro řízené procesní prostředí.

Přesný systém řízení klimatu

Přesný systém řízení klimatu

Správné klima zajišťuje kvalitu a snižuje míru zmetkovitosti ve výrobě.
Řešení pro kontrolu rosného bodu

Řešení pro kontrolu rosného bodu

Systémové řešení pro regulaci rosného bodu při výrobě kritické vlhkosti.

Úprava ultračisté vody

Úprava ultračisté vody

Přesná úprava kapalných médií v inovativních výrobních prostředích.

Čisté prostory

Špičková řešení a komplexní služby

Miniaturní prostředí
Vzduchotechnické jednotky
Kritické subsystémy a řízená prostředí
Zásobování plynem
Zásobování chemikáliemi

Systémy pro míchání a distribuci velmi čistých chemikálií a kalů

Ampule a senzory
Procesní výfuk