Řešení pro kontrolu rosného bodu
Řešení pro kontrolu rosného bodu
Společnost Exentec nabízí systémy a řešení s vytěsňovacími plyny pro nejvyšší požadavky na čistotu, teplotní stabilitu a suchost.
Systémové řešení regulace rosného bodu
Některé výrobní procesy vyžadují více než absolutní čistotu a stabilní procesní parametry. Patří sem zejména optické aplikace, kde je třeba eliminovat další rušivé vlivy, jako je kyslík a voda, ze vzduchu, aby byl zajištěn optimální obraz.
Nežádoucí plyny a voda se nahrazují například suchým plynným dusíkem. Společnost Exyte Technology nabízí systémy a řešení s vytěsňovacími plyny pro nejvyšší požadavky na čistotu, teplotní stabilitu a suchost.
- Extrémně suché procesní prostředí (- 35 °C)
- Procesní prostředí "bez kyslíku"
- Stabilní a reprodukovatelná procesní klimatizace
Konstrukční provedení
- Typické použití: výrobní procesy citlivé na vlhkost
- Požadavky zákazníka: Velmi suché a bezkyslíkaté prostředí
- Průtoková rychlost: 3 600 m³/h
- Teplota procesního vzduchu: 20 °C
- Teplotní stabilita: ± 1 K
- Systémový rosný bod: - 35 °C
- Vlhkost: 1,3 %r.h.
- Zbytkový kyslík: < 0,8 %.
Chladicí vodní skříně
Řešením společnosti Exentec je oddělení chladicích okruhů továrny a nástroje a použití ultračisté vody (UPW) v okruhu nástroje.
Přesná komora pro kontrolu prostředí
Komory Exentec Precise Environmental Chambers poskytují velmi nízké tolerance teploty a vlhkosti, absolutní čistotu, pokud jde o plynnou kontaminaci a kontaminaci částicemi, a stínění akustických, vibračních a elektromagnetických vlivů.
Přesné systémy řízení klimatu
Společnost Exentec poskytuje systém přesné regulace klimatu pro polovodičový průmysl a nanotechnologie a výrobu optických paměťových médií, které vyžadují trvale stabilní procesní a měřicí prostředí.
Řešení pro kontrolu rosného bodu
Společnost Exentec nabízí systémy a řešení s vytěsňovacími plyny pro nejvyšší požadavky na čistotu, teplotní stabilitu a suchost.