Přesné systémy řízení klimatu
Přesné systémy řízení klimatu
Společnost Exentec poskytuje systém přesné regulace klimatu pro polovodičový průmysl a nanotechnologie a výrobu optických paměťových médií, které vyžadují trvale stabilní procesní a měřicí prostředí.
Správné klima zajišťuje kvalitu a snižuje míru zmetkovitosti ve výrobě. Rozhodujícími parametry jsou vysoce přesná stabilizace teploty a vlhkosti a zajištění čistoty vzduchu z hlediska částic a chemické kontaminace.
Chladicí vodní skříně
Řešením společnosti Exentec je oddělení chladicích okruhů továrny a nástroje a použití ultračisté vody (UPW) v okruhu nástroje.
Přesná komora pro kontrolu prostředí
Komory Exentec Precise Environmental Chambers poskytují velmi nízké tolerance teploty a vlhkosti, absolutní čistotu, pokud jde o plynnou kontaminaci a kontaminaci částicemi, a stínění akustických, vibračních a elektromagnetických vlivů.
Přesné systémy řízení klimatu
Společnost Exentec poskytuje systém přesné regulace klimatu pro polovodičový průmysl a nanotechnologie a výrobu optických paměťových médií, které vyžadují trvale stabilní procesní a měřicí prostředí.
Řešení pro kontrolu rosného bodu
Společnost Exentec nabízí systémy a řešení s vytěsňovacími plyny pro nejvyšší požadavky na čistotu, teplotní stabilitu a suchost.