Společnost Exentec se specializuje na chemické a plynové systémy s velmi vysokou čistotou pro polovodičový průmysl. Naše portfolio zahrnuje mísicí a dodávací zařízení pro širokou škálu aplikací v oblasti vodných chemikálií a kalů pro CMP.
Kromě toho poskytujeme požadované služby provozní podpory, řízení, integrace a technické znalosti, abychom splnili přísné požadavky na řízení polovodičových procesů.
Naše spolehlivé systémy nabízejí:
- pokročilé metrologicky řízené řízení procesu v uzavřené smyčce
- Automatizovanou kontrolu kvality chemických látek a kalů
- Flexibilní, škálovatelné a přesné systémy dodávek a míchání.
- Zvýšenou kontrolu procesu prostřednictvím řízení koncentrace směsi a tlaku.
- Bezproblémová integrace do systému SCADA s plnou podporou I&C
- Optimální podlahová plocha
- Maximální provozuschopnost
Chemické systémy s vysokou čistotou
Společnost Exentec nabízí zařízení, služby provozní podpory a technické znalosti pro splnění různých aplikačních potřeb v oblasti dodávek vysoce čistých kapalin, míchání chemikálií a nejmodernějších systémů CMP pro výrobu polovodičů a další high-tech odvětví.
Vyložení chemických látek
Zajištění nepřetržitého přenosu chemikálií z hlavních nádrží do výrobních distribučních nádrží s redundancí systému a/nebo komponent pro maximalizaci doby provozu.
Distribuce chemických látek
Naše systémy pro distribuci chemikálií zlepšují procesy, optimalizují podlahovou plochu, minimalizují prostoje a prodlužují životnost výrobků, čímž snižují celkové náklady na vlastnictví.
Řadové míchání
Patentovaná technologie společnosti Exentec pro in-line míchání chemikálií a dodávání chemických roztoků na vyžádání zohledňuje dynamické změny průtoků na vyžádání ze strany koncových uživatelů nebo míst použití při zachování přesnosti směsi.
Chemická výroba
Díky integrované technologii výroby NH4OHna místě od společnosti Exentec mohou továrny na výrobu polovodičů výrazně snížit celkové náklady na dodávky chemikálií, zvýšit kvalitu, posílit odolnost proti narušení dodavatelského řetězce a zlepšit ekologickou udržitelnost.
Míchání a dodávka kalů CMP
Odstranění nákladné metrologie v režimu offline a ručních úprav procesů, které jsou náročné na pracovní sílu. Společnost Exentec úspěšně vyvinula vestavěnou řídicí technologii, která umožňuje řízení uzavřené smyčky roztoku CMP pro polovodiče specifického pro zákazníka ve směšovacích a distribučních provozech.
Čisté prostory
Špičková řešení a komplexní služby
Vyvíjíme, vyrábíme a udržujeme spolehlivé produkty pro čisté prostory a výrobní prostředí pro mimořádně čistou řízenou atmosféru.
Miniaturní prostředí
Společnost Exentec je na trhu s bateriemi průkopníkem jedinečné modulární koncepce Mini Environment, která v sobě spojuje snížení spotřeby energie a technologická vylepšení.
Vzduchotechnické jednotky
Vzduchotechnické jednotky Exentec se vyznačují energeticky účinným designem. Náš výzkumný a vývojový tým pracuje s nejmodernějším vybavením a vždy přispívá nejnovějšími poznatky.
Kritické subsystémy a řízená prostředí
Systémy zásobování čistými médii pro citlivé výrobky
Zásobování chemikáliemi
Systémy pro míchání a distribuci velmi čistých chemikálií a kalů
Systémy pro míchání a distribuci velmi čistých chemikálií a kalů
Ampule a senzory
Vyrábíme snímače hladiny kapalin, pyroforické chemikálie a ampule, lahve a kanystry DOT 4B, které se hojně používají v polovodičovém, fotovoltaickém a bateriovém průmyslu.
Procesní výfuk
Stanovujeme průmyslový standard pro bezpečné a spolehlivé systémy odvodu korozivních výparů.
Snížení emisí plynu
Jsme vybraným dodavatelem pro významné polovodičové společnosti po celém světě a poskytujeme řešení pro snižování emisí plynů v místě použití (POU) pro nástroje pro depoziční, leptací a difuzní procesy.
Mokré lavičky
Specializujeme se na navrhování systémů pro přípravu povrchů, u kterých jsou požadavky na aplikaci a výkon zařízení v souladu.
Naše nástroje integrují procesní hardware, pokročilý řídicí software a automatizovanou robotiku a poskytují řešení na míru od manuálních jednoprocesních stolů až po plně automatizované systémy pro manipulaci s destičkami.Můžeme přizpůsobit nosiče substrátů a koncové efektory tak, aby vyhovovaly jedinečným požadavkům na zpracování.
Podporujeme širokou škálu substrátů a materiálů:
- destičky (100 mm - 300 mm)
- polovodičové materiály III-V
- Fotomasky
- Skleněné a křemenné držáky
- Zakázkové rozdělovače a speciální nosiče
Naši inženýři mohou také navrhnout vlastní koncové efektory a nosiče substrátů, aby splňovaly vaše specifické procesní a manipulační potřeby.
- Čištění, odstraňování rezistů, leptání, vyvolávání, odstraňování kovů, regenerace a sušení IPA
- Použitelné pro aplikace s kyselinami, zásadami a rozpouštědly
- Velikost lázně pro jednu nebo více kazet
- Konfigurovatelné a škálovatelné procesní vybavení.
Náš tým má zkušenosti s širokou škálou aplikačních potřeb, včetně práce v oblasti FEOL, BEOL, pokročilých obalů, pokovování MEMS vzorů, magnetického nanášení, elektroleptání a nanášení bez E. Máme také k dispozici standardní uspořádání lázní pro mokré procesy pro mnoho aplikací, jako např:
- leptání za mokra - leptání křemíku (KOH), leptání nitridů, leptání pufrovaných oxidů, leptání fotorezistů a leptání zlata/platiny.
- Konfigurace pro odstraňování kovů - NMP a DMSO
- Čištění destiček - Podpora pro lázně HF, Piranha, SC1, SC2.
Naše procesní nástroje lze konfigurovat s kompletní řadou podpůrných systémů pro zvýšení automatizace, bezpečnosti a správy chemikálií:
- Systémy pro manipulaci s chemikáliemi
- Vozíky pro dávkování, odebírání a skladování chemikálií
- Palubní nádoby pro sběr odpadu
- Výtahové stanice pro neutralizaci odpadu
- Hardware pro optimalizaci procesů
- Oběhová čerpadla s řízenou teplotou (WHRV)
- Ohřev: až 5115 BTU/hod.
- Chlazení: až 2550 BTU/hod.
- Recirkulační vany pro konzistentní teplotu a průtok
- Křemenné nádrže pro chemickou odolnost
- Rychlé vyplachovací zařízení (QDR)
- Ponorný, kaskádový a stříkací režim
Naše systémy pro přípravu povrchů jsou škálovatelné a připravené pro integraci do čistých prostor, výzkumných a vývojových laboratoří a velkosériových výrobních závodů. Ať už pracujete se standardními substráty, nebo s unikátními materiály, náš tým vám dodá procesně připravenou platformu na míru vašim potřebám.
Kalové systémy
Naše nástroje integrují procesní hardware, pokročilý řídicí software a automatizovanou robotiku a poskytují řešení na míru od manuálních jednoprocesních stolů až po plně automatizované systémy pro manipulaci s destičkami.Dokážeme přizpůsobit nosiče substrátů a koncové efektory tak, aby vyhovovaly jedinečným požadavkům na zpracování.
Podporujeme širokou škálu substrátů a materiálů:
- destičky (100 mm - 300 mm)
- polovodičové materiály III-V
- Fotomasky
- Skleněné a křemenné držáky
- Zakázkové rozdělovače a speciální nosiče
Naši inženýři mohou také navrhnout vlastní koncové efektory a nosiče substrátů, aby splňovaly vaše specifické procesní a manipulační potřeby.
- Čištění, odstraňování rezistů, leptání, vyvolávání, odstraňování kovů, regenerace a sušení IPA
- Použitelné pro aplikace s kyselinami, zásadami a rozpouštědly
- Velikost lázně pro jednu nebo více kazet
- Konfigurovatelné a škálovatelné procesní vybavení.
Náš tým má zkušenosti s širokou škálou aplikačních potřeb, včetně práce v oblasti FEOL, BEOL, pokročilých obalů, pokovování MEMS vzorů, magnetického nanášení, elektroleptání a nanášení bez E. Máme také k dispozici standardní uspořádání lázní pro mokré procesy pro mnoho aplikací, jako např:
- leptání za mokra - leptání křemíku (KOH), leptání nitridů, leptání pufrovaných oxidů, leptání fotorezistů a leptání zlata/platiny.
- Konfigurace pro odstraňování kovů - NMP a DMSO
- Čištění destiček - Podpora pro lázně HF, Piranha, SC1, SC2.
Naše procesní nástroje lze konfigurovat s kompletní řadou podpůrných systémů pro zvýšení automatizace, bezpečnosti a správy chemikálií:
- Systémy pro manipulaci s chemikáliemi
- Vozíky pro dávkování, odebírání a skladování chemikálií
- Palubní nádoby pro sběr odpadu
- Výtahové stanice pro neutralizaci odpadu
- Hardware pro optimalizaci procesů
- Oběhová čerpadla s řízenou teplotou (WHRV)
- Ohřev: až 5115 BTU/hod.
- Chlazení: až 2550 BTU/hod.
- Recirkulační vany pro konzistentní teplotu a průtok
- Křemenné nádrže pro chemickou odolnost
- Rychlé vyplachovací zařízení (QDR)
- Ponorný, kaskádový a stříkací režim
Naše systémy pro přípravu povrchů jsou škálovatelné a připravené pro integraci do čistých prostor, výzkumných a vývojových laboratoří a velkosériových výrobních závodů. Ať už pracujete se standardními substráty, nebo s unikátními materiály, náš tým vám dodá procesně připravenou platformu na míru vašim potřebám.