Spektrum nástrojů pro přípravu povrchu a mokrých stolů Exentec sahá od ponorných dávek až po mokré stoly pro stříkání nebo nanášení na jednu destičku. Všechny mokré lavice lze konfigurovat od manuálních až po plně automatizované víceúčelové systémy.
Naše mokré stolice jsou navrženy s ohledem na opakovatelnost a objem s důrazem na procesy se dvěma nebo více zpracovatelskými nádržemi. Naše stanice pro mokré procesy, vyrobené podle platných norem SEMI, jsou k dispozici v plně automatizovaných, poloautomatizovaných a manuálních konfiguracích.
- FEOL, BEOL, obalové moduly, moduly Advance Packaging, pokovování vzorů MEMS, magnetické nanášení, elektroleptání a nanášení bez použití E.
- Čištění, rezistové proužky, leptání, vyvolávání, odstraňování kovů, regenerace a sušení IPA.
- Použití pro aplikace s kyselinami, zásadami a rozpouštědly.
- Velikost lázně pro jednu nebo více kazet
- Křemíkové destičky od 100 mm do 450 mm, materiály III-V, fotomasky, sklo a velké rozdělovače
- Substráty na míru
Produkty pro mokré lavice od společnosti Exentec
Produkty společnosti Exentec pro mokré pracoviště jsou určeny k přípravě povrchů křemíkových destiček, podpoře výrobních kroků v čistých prostorách, provádění leptacích procesů a navracení velkých výrobních komponent do stavu bez kontaminantů:
Automatická mokrá lavice Aeris®
Automatická mokrá lavice Aeris®
Automatizovaný mokrý stůl Aeris® je navržen speciálně pro náročné požadavky výzkumu a vývoje polovodičů a kombinuje vysoce výkonné zpracování s flexibilitou a bezpečností, které moderní laboratoře vyžadují.
منضدة CELERA® الرطبة اليدوية
منضدة CELERA® الرطبة اليدوية
Ruční mokré stolice CELERA® jsou navrženy tak, aby poskytovaly vysoce výkonné mokré zpracování v laboratorním měřítku, a nabízejí modularitu a robustní konstrukci inspirovanou plně automatizovanými systémy.
Moduly pro přenos a dávkování chemikálií
Moduly pro přenos a dávkování chemikálií
Naše konfigurovatelné moduly pro přenos a dávkování chemikálií (CTDM ) jsou navrženy pro dodávku velmi čistých chemikálií, přesné dávkování a bezpečnou distribuci do výrobních nástrojů, což je ideální pro výrobu polovodičů, čisté prostory a další procesní aplikace s vysokou čistotou.
Odsavače par
Odsavače par
Chraňte své laboratorní prostředí s vysoce výkonnými digestořemi Exentec, které jsou určeny pro laboratorní aplikace, kde je kriticky důležité zadržet nebezpečné výpary.