Společnost Exentec dodává systémy pro dodávku vysoce čistých plynů - od jednotlivých komponent až po řešení na klíč - přizpůsobené pro laboratoře a výrobní prostředí. Nabídka sahá od plně automatických až po manuální plynové skříně s integrovanou bezpečností, monitorováním a distribucí vysoce čistých plynů pro maximální spolehlivost a shodu s předpisy.
Vlastní výrobní kapacity naší společnosti nám umožňují vyrábět komplexní systémy rychle a flexibilně, a to i v podmínkách čistých prostor. Při montáži v podmínkách čistých prostor nebo při výrobě zařízení na míru se naše odborné znalosti v oblasti svařovací techniky, řízení procesů a automatizační techniky a testování a kontroly kvality hladce prolínají.
Systémy s vysoce čistým volně loženým plynem
Systémy společnosti Exentec pro vysoce čistý plyn ve velkém nabízejí řešení na klíč nebo specializovaná řešení pro bezpečné a efektivní dodávky plynu v průmyslových odvětvích, jako je výroba polovodičů. Systémy jsou plně přizpůsobitelné pro různé typy plynů - od řízení potrubí až po čisticí skidy - a maximalizují bezpečnost, produktivitu a hodnotu životního cyklu.
Speciální plynové systémy s vysokou čistotou
Systémy Exentec High Purity Spec Gas jsou vybaveny plně integrovaným řízením PLC/HMI se vzdáleným přístupem a automatickou regulací tlaku pro přesný a nepřerušovaný průtok plynu. Jsou navrženy pro kompaktní skříně, snižují počet manuálních zásahů o 30 %, minimalizují kolísání tlaku a zvyšují bezpečnost díky plné automatizaci.
Plynové skříně
Plynové skříně společnosti Exentec nabízejí flexibilní konfigurace a 99,999% provozuschopnost, a to jak standardní, tak zakázková řešení přizpůsobená konkrétním aplikacím. Možnosti zahrnují manuální až plně automatizované řízení, nastavení 1-3 lahví a integrované panely pro čištění/proces - vše navrženo pro bezpečnost, spolehlivost a snadnou obsluhu.
Plynové směšovací systémy
Systémy Exentec Gas Blender poskytují přesné, automatizované míchání plynu až do rychlosti 250 slpm, s monitorováním v reálném čase a přesností ±0,3 %. Je vybaven řízením PLC, vestavěným analyzátorem a bezpečnostními funkcemi v kompaktní skříni vyhovující normě SEMI-F14 a zajišťuje spolehlivý výkon pro náročné aplikace.
Rozdělovače ventilů
Rozdělovač ventilů (VMB) společnosti Exentec umožňuje bezpečnou a spolehlivou distribuci plynu až s 8 tyčemi, s manuálním až plně automatickým ovládáním a volitelným proplachováním a podtlakem pro údržbu. VMB jsou k dispozici v provedení s panelem nebo výfukovou skříní a nabízejí pokročilé bezpečnostní funkce, dvojitou izolaci a přizpůsobitelné příslušenství pro aplikace s inertními nebo nebezpečnými plyny.
Panely rozdělovače ventilů
Tým společnosti Exentec, který dodává média s vysokou čistotou, dodává inovativní a spolehlivé plynové panely podpořené rozsáhlými zkušenostmi s výrobou a instalací. Mezi možnosti panelů patří automatické, manuální, modulární a proplachovací konfigurace - například panely Auto-Crossover, které zajišťují nepřerušovaný průtok plynu automatickým přepínáním lahví, když je jedna z nich vyčerpána.
Panely rozdělovače ventilů
Tým společnosti Exentec, který dodává média s vysokou čistotou, dodává inovativní a spolehlivé plynové panely podpořené rozsáhlými zkušenostmi s výrobou a instalací. Mezi možnosti panelů patří automatické, manuální, modulární a proplachovací konfigurace - například panely Auto-Crossover, které zajišťují nepřerušovaný průtok plynu automatickým přepínáním lahví, když je jedna z nich vyčerpána.
Systémy dodávání prekurzorů Liquide
Systém Liquide (prekurzor) společnosti Exentec je systém distribuce chemikálií navržený pro maximalizaci účinnosti a výkonu. Samostatný systém obsahuje redundantní panely s možností automatického křížení pro zvýšení provozuschopnosti > 99,9 %. Malý půdorys s velkou procesní kapacitou je určen k distribuci kapalných chemických látek prostřednictvím tlačného plynu.
Řídicí jednotky systému dodávky plynu
Společnost Exentec nabízí všestrannou řadu regulátorů systémů dodávek plynů, které lze přizpůsobit konkrétním typům plynů, postupům proplachování a řídicím platformám. Mezi možnosti patří manuální až plně automatizované řídicí jednotky VMB (čtyř- nebo osmistupňové) s PLC Allen-Bradley nebo Siemens, jakož i zakázkové a přímo náhradní modely, jako jsou AVMB4S a AVMB8S pro modernizaci starších systémů.
Systém dodávání výparů
Systém Exentec Vapor Delivery System je kompaktní řešení s vysokou čistotou pro přesnou distribuci chemických par v pokročilých výrobních aplikacích. Je vybaven bublinami z nerezové oceli, volitelným chladičem a inteligentním ovládáním v odolném krytu a zajišťuje konzistentní tok par, flexibilní integraci a zvýšenou bezpečnost pro procesy, jako je ALD, CVD a epitaxe.
Přizpůsobený kontejner na přívod plynu
Zásobníky plynu "Plug & Process" společnosti Exentec jsou modulární, prefabrikované systémy určené pro rychlé a nákladově efektivní zavedení infrastruktury pro plyn s velmi vysokou čistotou. Jsou plně přizpůsobitelné a automatizované, mají integrované bezpečnostní, ventilační a řídicí systémy a poskytují prostorově úsporná, škálovatelná řešení s odbornou dlouhodobou podporou.
Instalace a připojení strojů
Naše vlastní oddělení CAD vyvíjí a navrhuje komponenty a vyrábí je v našich specializovaných výrobních závodech. Naši odborníci zpracovávají trubky z nerezové oceli v široké škále kvalit pomocí orbitálního nebo ručního svařování. Používáme spojovací techniky, včetně:
- VCR technologie
- Tvarování trubek
- Technologie přírub
- Systémy lisovaného spojování
- Zpracování plastů (svařování, lepení)
Čisté prostory
Špičková řešení a komplexní služby
Vyvíjíme, vyrábíme a udržujeme spolehlivé produkty pro čisté prostory a výrobní prostředí pro mimořádně čistou řízenou atmosféru.
Miniaturní prostředí
Společnost Exentec je na trhu s bateriemi průkopníkem jedinečné modulární koncepce Mini Environment, která v sobě spojuje snížení spotřeby energie a technologická vylepšení.
Vzduchotechnické jednotky
Vzduchotechnické jednotky Exentec se vyznačují energeticky účinným designem. Náš výzkumný a vývojový tým pracuje s nejmodernějším vybavením a vždy přispívá nejnovějšími poznatky.
Kritické subsystémy a řízená prostředí
Systémy zásobování čistými médii pro citlivé výrobky
Zásobování chemikáliemi
Systémy pro míchání a distribuci velmi čistých chemikálií a kalů
Systémy pro míchání a distribuci velmi čistých chemikálií a kalů
Ampule a senzory
Vyrábíme snímače hladiny kapalin, pyroforické chemikálie a ampule, lahve a kanystry DOT 4B, které se hojně používají v polovodičovém, fotovoltaickém a bateriovém průmyslu.
Procesní výfuk
Stanovujeme průmyslový standard pro bezpečné a spolehlivé systémy odvodu korozivních výparů.
Snížení emisí plynu
Jsme vybraným dodavatelem pro významné polovodičové společnosti po celém světě a poskytujeme řešení pro snižování emisí plynů v místě použití (POU) pro nástroje pro depoziční, leptací a difuzní procesy.
Mokré lavičky
Specializujeme se na navrhování systémů pro přípravu povrchů, u kterých jsou požadavky na aplikaci a výkon zařízení v souladu.
Naše nástroje integrují procesní hardware, pokročilý řídicí software a automatizovanou robotiku a poskytují řešení na míru od manuálních jednoprocesních stolů až po plně automatizované systémy pro manipulaci s destičkami.Můžeme přizpůsobit nosiče substrátů a koncové efektory tak, aby vyhovovaly jedinečným požadavkům na zpracování.
Podporujeme širokou škálu substrátů a materiálů:
- destičky (100 mm - 300 mm)
- polovodičové materiály III-V
- Fotomasky
- Skleněné a křemenné držáky
- Zakázkové rozdělovače a speciální nosiče
Naši inženýři mohou také navrhnout vlastní koncové efektory a nosiče substrátů, aby splňovaly vaše specifické procesní a manipulační potřeby.
- Čištění, odstraňování rezistů, leptání, vyvolávání, odstraňování kovů, regenerace a sušení IPA
- Použitelné pro aplikace s kyselinami, zásadami a rozpouštědly
- Velikost lázně pro jednu nebo více kazet
- Konfigurovatelné a škálovatelné procesní vybavení.
Náš tým má zkušenosti s širokou škálou aplikačních potřeb, včetně práce v oblasti FEOL, BEOL, pokročilých obalů, pokovování MEMS vzorů, magnetického nanášení, elektroleptání a nanášení bez E. Máme také k dispozici standardní uspořádání lázní pro mokré procesy pro mnoho aplikací, jako např:
- leptání za mokra - leptání křemíku (KOH), leptání nitridů, leptání pufrovaných oxidů, leptání fotorezistů a leptání zlata/platiny.
- Konfigurace pro odstraňování kovů - NMP a DMSO
- Čištění destiček - Podpora pro lázně HF, Piranha, SC1, SC2.
Naše procesní nástroje lze konfigurovat s kompletní řadou podpůrných systémů pro zvýšení automatizace, bezpečnosti a správy chemikálií:
- Systémy pro manipulaci s chemikáliemi
- Vozíky pro dávkování, odebírání a skladování chemikálií
- Palubní nádoby pro sběr odpadu
- Výtahové stanice pro neutralizaci odpadu
- Hardware pro optimalizaci procesů
- Oběhová čerpadla s řízenou teplotou (WHRV)
- Ohřev: až 5115 BTU/hod.
- Chlazení: až 2550 BTU/hod.
- Recirkulační vany pro konzistentní teplotu a průtok
- Křemenné nádrže pro chemickou odolnost
- Rychlé vyplachovací zařízení (QDR)
- Ponorný, kaskádový a stříkací režim
Naše systémy pro přípravu povrchů jsou škálovatelné a připravené pro integraci do čistých prostor, výzkumných a vývojových laboratoří a velkosériových výrobních závodů. Ať už pracujete se standardními substráty, nebo s unikátními materiály, náš tým vám dodá procesně připravenou platformu na míru vašim potřebám.
Kalové systémy
Naše nástroje integrují procesní hardware, pokročilý řídicí software a automatizovanou robotiku a poskytují řešení na míru od manuálních jednoprocesních stolů až po plně automatizované systémy pro manipulaci s destičkami.Dokážeme přizpůsobit nosiče substrátů a koncové efektory tak, aby vyhovovaly jedinečným požadavkům na zpracování.
Podporujeme širokou škálu substrátů a materiálů:
- destičky (100 mm - 300 mm)
- polovodičové materiály III-V
- Fotomasky
- Skleněné a křemenné držáky
- Zakázkové rozdělovače a speciální nosiče
Naši inženýři mohou také navrhnout vlastní koncové efektory a nosiče substrátů, aby splňovaly vaše specifické procesní a manipulační potřeby.
- Čištění, odstraňování rezistů, leptání, vyvolávání, odstraňování kovů, regenerace a sušení IPA
- Použitelné pro aplikace s kyselinami, zásadami a rozpouštědly
- Velikost lázně pro jednu nebo více kazet
- Konfigurovatelné a škálovatelné procesní vybavení.
Náš tým má zkušenosti s širokou škálou aplikačních potřeb, včetně práce v oblasti FEOL, BEOL, pokročilých obalů, pokovování MEMS vzorů, magnetického nanášení, elektroleptání a nanášení bez E. Máme také k dispozici standardní uspořádání lázní pro mokré procesy pro mnoho aplikací, jako např:
- leptání za mokra - leptání křemíku (KOH), leptání nitridů, leptání pufrovaných oxidů, leptání fotorezistů a leptání zlata/platiny.
- Konfigurace pro odstraňování kovů - NMP a DMSO
- Čištění destiček - Podpora pro lázně HF, Piranha, SC1, SC2.
Naše procesní nástroje lze konfigurovat s kompletní řadou podpůrných systémů pro zvýšení automatizace, bezpečnosti a správy chemikálií:
- Systémy pro manipulaci s chemikáliemi
- Vozíky pro dávkování, odebírání a skladování chemikálií
- Palubní nádoby pro sběr odpadu
- Výtahové stanice pro neutralizaci odpadu
- Hardware pro optimalizaci procesů
- Oběhová čerpadla s řízenou teplotou (WHRV)
- Ohřev: až 5115 BTU/hod.
- Chlazení: až 2550 BTU/hod.
- Recirkulační vany pro konzistentní teplotu a průtok
- Křemenné nádrže pro chemickou odolnost
- Rychlé vyplachovací zařízení (QDR)
- Ponorný, kaskádový a stříkací režim
Naše systémy pro přípravu povrchů jsou škálovatelné a připravené pro integraci do čistých prostor, výzkumných a vývojových laboratoří a velkosériových výrobních závodů. Ať už pracujete se standardními substráty, nebo s unikátními materiály, náš tým vám dodá procesně připravenou platformu na míru vašim potřebám.