Systémy s vysoce čistým volně loženým plynem

Systémy s vysoce čistým volně loženým plynem

Systémy společnosti Exentec pro vysoce čistý plyn ve velkém nabízejí řešení na klíč nebo specializovaná řešení pro bezpečné a efektivní dodávky plynu v průmyslových odvětvích, jako je výroba polovodičů. Systémy jsou plně přizpůsobitelné pro různé typy plynů - od řízení potrubí až po čisticí skidy - a maximalizují bezpečnost, produktivitu a hodnotu životního cyklu.

Speciální plynové systémy s vysokou čistotou

Speciální plynové systémy s vysokou čistotou

Systémy Exentec High Purity Spec Gas jsou vybaveny plně integrovaným řízením PLC/HMI se vzdáleným přístupem a automatickou regulací tlaku pro přesný a nepřerušovaný průtok plynu. Jsou navrženy pro kompaktní skříně, snižují počet manuálních zásahů o 30 %, minimalizují kolísání tlaku a zvyšují bezpečnost díky plné automatizaci.

Plynové skříně

Plynové skříně

Plynové skříně společnosti Exentec nabízejí flexibilní konfigurace a 99,999% provozuschopnost, a to jak standardní, tak zakázková řešení přizpůsobená konkrétním aplikacím. Možnosti zahrnují manuální až plně automatizované řízení, nastavení 1-3 lahví a integrované panely pro čištění/proces - vše navrženo pro bezpečnost, spolehlivost a snadnou obsluhu.

Plynové směšovací systémy

Plynové směšovací systémy

Systémy Exentec Gas Blender poskytují přesné, automatizované míchání plynu až do rychlosti 250 slpm, s monitorováním v reálném čase a přesností ±0,3 %. Je vybaven řízením PLC, vestavěným analyzátorem a bezpečnostními funkcemi v kompaktní skříni vyhovující normě SEMI-F14 a zajišťuje spolehlivý výkon pro náročné aplikace.

Rozdělovače ventilů

Rozdělovače ventilů

Rozdělovač ventilů (VMB) společnosti Exentec umožňuje bezpečnou a spolehlivou distribuci plynu až s 8 tyčemi, s manuálním až plně automatickým ovládáním a volitelným proplachováním a podtlakem pro údržbu. VMB jsou k dispozici v provedení s panelem nebo výfukovou skříní a nabízejí pokročilé bezpečnostní funkce, dvojitou izolaci a přizpůsobitelné příslušenství pro aplikace s inertními nebo nebezpečnými plyny.

Panely rozdělovače ventilů

Panely rozdělovače ventilů

Tým společnosti Exentec, který dodává média s vysokou čistotou, dodává inovativní a spolehlivé plynové panely podpořené rozsáhlými zkušenostmi s výrobou a instalací. Mezi možnosti panelů patří automatické, manuální, modulární a proplachovací konfigurace - například panely Auto-Crossover, které zajišťují nepřerušovaný průtok plynu automatickým přepínáním lahví, když je jedna z nich vyčerpána.

Panely rozdělovače ventilů

Panely rozdělovače ventilů

Tým společnosti Exentec, který dodává média s vysokou čistotou, dodává inovativní a spolehlivé plynové panely podpořené rozsáhlými zkušenostmi s výrobou a instalací. Mezi možnosti panelů patří automatické, manuální, modulární a proplachovací konfigurace - například panely Auto-Crossover, které zajišťují nepřerušovaný průtok plynu automatickým přepínáním lahví, když je jedna z nich vyčerpána.

Systémy dodávání prekurzorů Liquide

Systémy dodávání prekurzorů Liquide

Systém Liquide (prekurzor) společnosti Exentec je systém distribuce chemikálií navržený pro maximalizaci účinnosti a výkonu. Samostatný systém obsahuje redundantní panely s možností automatického křížení pro zvýšení provozuschopnosti > 99,9 %. Malý půdorys s velkou procesní kapacitou je určen k distribuci kapalných chemických látek prostřednictvím tlačného plynu.

Řídicí jednotky systému dodávky plynu

Řídicí jednotky systému dodávky plynu

Společnost Exentec nabízí všestrannou řadu regulátorů systémů dodávek plynů, které lze přizpůsobit konkrétním typům plynů, postupům proplachování a řídicím platformám. Mezi možnosti patří manuální až plně automatizované řídicí jednotky VMB (čtyř- nebo osmistupňové) s PLC Allen-Bradley nebo Siemens, jakož i zakázkové a přímo náhradní modely, jako jsou AVMB4S a AVMB8S pro modernizaci starších systémů.

Systém dodávání výparů

Systém dodávání výparů

Systém Exentec Vapor Delivery System je kompaktní řešení s vysokou čistotou pro přesnou distribuci chemických par v pokročilých výrobních aplikacích. Díky bublinkovači z nerezové oceli, volitelnému chladiči a inteligentnímu ovládání v odolném krytu zajišťuje konzistentní tok par, flexibilní integraci a zvýšenou bezpečnost pro procesy, jako je ALD, CVD a epitaxe.

Přizpůsobený kontejner na přívod plynu

Přizpůsobený kontejner na přívod plynu

Zásobníky plynu "Plug & Process" společnosti Exentec jsou modulární, prefabrikované systémy určené pro rychlé a nákladově efektivní zavedení infrastruktury pro plyn s velmi vysokou čistotou. Jsou plně přizpůsobitelné a automatizované, mají integrované bezpečnostní, ventilační a řídicí systémy a poskytují prostorově úsporná, škálovatelná řešení s odbornou dlouhodobou podporou.

Instalace a připojení strojů

Instalace a připojení strojů

Naše vlastní oddělení CAD vyvíjí a navrhuje komponenty a vyrábí je v našich specializovaných výrobních závodech. Naši odborníci zpracovávají trubky z nerezové oceli v široké škále kvalit pomocí orbitálního nebo ručního svařování. Používáme spojovací techniky, včetně:

  • VCR technologie
  • Tvarování trubek
  • Technologie přírub
  • Systémy lisovaného spojování
  • Zpracování plastů (svařování, lepení)
Čisté prostory

Špičková řešení a komplexní služby

Miniaturní prostředí
Vzduchotechnické jednotky
Stěžejní subsystémy a řízená prostředí
Zásobování plynem
Zásobování chemikáliemi

Systémy pro míchání a distribuci velmi čistých chemikálií a kalů

Ampule a senzory
Průmyslový odsávací systém