Systém dodávání výparů
Systém dodávání výparů
Systém Exentec Vapor Delivery System je systém distribuce chemických par navržený pro maximalizaci účinnosti a výkonu.
Systém Exentec Vapor Delivery System je kompaktní samostatné řešení pro efektivní a přesnou distribuci chemických par. Zahrnuje nádobu s bublinami z nerezové oceli, volitelný integrovaný chladicí systém a řídicí jednotku systému - to vše na malé ploše. Připojení zařízení, nosného plynu a procesu lze konfigurovat z více stran pro flexibilní instalaci.
Přehled systému:
- Nosný plyn probublává kapalnou chemikálií v nádobě pomocí výtokového difuzoru pro vysoké nasycení parami.
- Aktivní lineární snímač hladiny udržuje nastavenou hladinu kapaliny.
- Řízení teploty pomocí sondy a volitelného chladicího zařízení zajišťuje konzistentní dodávku páry.
Specifikace krytu:
- Velikost: 16" Šířka x hloubka 16" x výška 74,25" s 3" výfukem
- Odolná ocel o síle 11 mm s antikorozní povrchovou úpravou
- Svařovaný vnitřní kryt pro zadržení chemikálií
- Žaluzie a zadní plénum pro účinný odvod plynů
- Oddělené zóny pro elektrické, chladicí a plynové komponenty
- Bezpečnostní prvky: Senzor výfuku, UL sprinkler, požární čidlo, těsnění dveří.
Dostupné volitelné příslušenství:
- Velikosti bublinek: 1, 5, 10 nebo 20 litrů.
- Integrovaný chladicí box
- Možnosti regenerace: Ruční nebo dálkové vypouštění, regenerační linka
- Plynová tyč: Volitelný tlakoměr/vysílač, bypass, ventil ESO
Bublinkové nádoby UHP společnosti Exentec podporují vysoce výkonné dodávání par v polovodičových, solárních a příbuzných pokročilých výrobních procesech, jako jsou ALD, PEALD, CVD a epitaxe.
Systémy s vysoce čistým volně loženým plynem
Našim zákazníkům nabízíme spolehlivý zdroj vysoce kvalitního vybavení plynových systémů a širokou škálu produktů a služeb.
Speciální plynové systémy s vysokou čistotou
Využíváme naše stavební kapacity a odborné znalosti v oblasti programování k vývoji systémů pro dodávku speciálních plynů, které mění pravidla hry.
Plynové skříně
Širokou škálu skříní, ovladačů a panelů lze nakonfigurovat do systému navrženého podle vašich potřeb.
Plynové směšovací systémy
Směšovač plynů Exentec je systém směšování plynů s uzavřenou smyčkou, založený na řízení, kombinovaný s vestavěným analyzátorem.
Rozdělovače ventilů
Rozdělovač ventilů Exentec (VMB) poskytuje bezpečné a spolehlivé rozvody pro plynový systém.
Panely rozdělovače ventilů
Tým společnosti Exentec pro dodávky vysoce čistých médií má rozsáhlé zkušenosti s výrobou a instalací panelů a zařízení pro vysoce čisté plyny.
Speciální plynové systémy
Systém BSGS (Bulk Specialty Gas System) je nejmodernější distribuční systém určený pro bezpečné a automatické dodávky speciálních plynů ve velkém.
Systémy dodávání prekurzorů Liquide
Systém Liquide (prekurzor) společnosti Exentec je systém distribuce chemikálií navržený pro maximalizaci účinnosti a výkonu.
Řídicí jednotky systému dodávky plynu
Dostupné možnosti naší řady řídicích jednotek jsou stále specifičtější s tím, jak se mění potřeby a požadavky koncového uživatele.
Systém dodávání výparů
Systém Exentec Vapor Delivery System je systém distribuce chemických par navržený pro maximalizaci účinnosti a výkonu.
Přizpůsobený kontejner na přívod plynu
Kompletní řešení společnosti Exentec v technicko-bezpečnostním kontejneru jsou ideální pro variabilní a flexibilní dodávky plynu.
Instalace a připojení strojů
Rádi vás podpoříme jako kompetentní partner při instalaci a připojení výrobních strojů ve vašem výrobním nebo výzkumném závodě.