Systém Exentec Vapor Delivery System je kompaktní samostatné řešení pro efektivní a přesnou distribuci chemických par. Zahrnuje nádobu s bublinami z nerezové oceli, volitelný integrovaný chladicí systém a řídicí jednotku systému - to vše na malé ploše. Připojení zařízení, nosného plynu a procesu lze konfigurovat z více stran pro flexibilní instalaci.

Přehled systému:

• Nosný plyn probublává kapalnou chemikálií v nádobě pomocí výtokového difuzoru pro vysoké nasycení parami.
• Aktivní lineární snímač hladiny udržuje nastavenou hladinu kapaliny.
• Řízení teploty pomocí sondy a volitelného chladicího zařízení zajišťuje konzistentní dodávku páry.

Specifikace krytu:

• Velikost: 16" Šířka x hloubka 16" x výška 74,25" s 3" výfukem
• Odolná ocel o síle 11 mm s antikorozní povrchovou úpravou
• Svařovaný vnitřní kryt pro zadržení chemikálií
• Žaluzie a zadní plénum pro účinný odvod plynů
• Oddělené zóny pro elektrické, chladicí a plynové komponenty
• Bezpečnostní prvky: Senzor výfuku, UL sprinkler, požární čidlo, těsnění dveří.

Dostupné volitelné příslušenství:

• Velikosti bublinek: 1, 5, 10 nebo 20 litrů.
• Integrovaný chladicí box
• Možnosti regenerace: Ruční nebo dálkové vypouštění, regenerační linka
• Plynová tyč: Volitelný tlakoměr/vysílač, bypass, ventil ESO

Bublinkové nádoby UHP společnosti Exentec podporují vysoce výkonné dodávání par v polovodičových, solárních a příbuzných pokročilých výrobních procesech, jako jsou ALD, PEALD, CVD a epitaxe.