Společnost Exentec je dodavatelem pro významné polovodičové společnosti po celém světě a poskytuje řešení pro snižování emisí plynů v místě použití (POU) pro nástroje pro depoziční, leptací a difuzní procesy.
Naše systémy patří mezi nejúčinnější a nejspolehlivější dostupné Epi scrubbery. Kombinujeme technologii vstupního zařízení s řídicí jednotkou založenou na PLC a automatickým plunžrem pro vstup plynu a vytváříme tak systém pro snižování emisí Epi s nízkými nároky na údržbu. Výsledkem tohoto výkonu je vyšší doba provozuschopnosti, větší stabilita procesu a vyšší bezpečnost. Naše systémy kombinují 2 rozprašovací komory a plněné kolony, čímž dosahují jedné z nejvyšších účinností v oboru.
Encompass
Tento první systém pro mokré spalování a mokré odstraňování emisíkombinuje dvě technologie mokrého odstraňování emisí (Wet + Burn/Wet) do jediné platformy, která umožňuje účinné odstraňování plynů rozpustných ve vodě před hořákem.
Cyklón
Systém společnosti Exentec pro mokrou ablaci Cyclone je naším vlajkovým modelem, který zahrnuje všechny pokročilé funkce, které podporují nulové prostoje procesních nástrojů.
Cyklon XL
Náš nejnovější velkokapacitní a vysoce účinný systém mokrého čištění Cyclone XL je vybaven tryskou s hrubým rozstřikem a vysokým průtokem, která pokrývá první čisticí komoru a odstraňuje objemné nečistoty. Strategické umístění zvyšuje účinnost, minimalizuje spotřebu vody a eliminuje tvorbu pěny.
Čisté prostory
Špičková řešení a komplexní služby
Vyvíjíme, vyrábíme a udržujeme spolehlivé produkty pro čisté prostory a výrobní prostředí pro mimořádně čistou řízenou atmosféru.
Miniaturní prostředí
Společnost Exentec je na trhu s bateriemi průkopníkem jedinečné modulární koncepce Mini Environment, která v sobě spojuje snížení spotřeby energie a technologická vylepšení.
Vzduchotechnické jednotky
Vzduchotechnické jednotky Exentec se vyznačují energeticky účinným designem. Náš výzkumný a vývojový tým pracuje s nejmodernějším vybavením a vždy přispívá nejnovějšími poznatky.
Kritické subsystémy a řízená prostředí
Systémy zásobování čistými médii pro citlivé výrobky
Zásobování chemikáliemi
Systémy pro míchání a distribuci velmi čistých chemikálií a kalů
Systémy pro míchání a distribuci velmi čistých chemikálií a kalů
Ampule a senzory
Vyrábíme snímače hladiny kapalin, pyroforické chemikálie a ampule, lahve a kanystry DOT 4B, které se hojně používají v polovodičovém, fotovoltaickém a bateriovém průmyslu.
Procesní výfuk
Stanovujeme průmyslový standard pro bezpečné a spolehlivé systémy odvodu korozivních výparů.