Společnost Exentec je dodavatelem pro významné polovodičové společnosti po celém světě a poskytuje řešení pro snižování emisí plynů v místě použití (POU) pro nástroje pro depoziční, leptací a difuzní procesy.
Naše systémy patří mezi nejúčinnější a nejspolehlivější dostupné Epi scrubbery. Kombinujeme technologii vstupního zařízení s řídicí jednotkou založenou na PLC a automatickým plunžrem pro vstup plynu a vytváříme tak systém pro snižování emisí Epi s nízkými nároky na údržbu. Výsledkem tohoto výkonu je vyšší doba provozuschopnosti, větší stabilita procesu a vyšší bezpečnost. Naše systémy kombinují 2 rozprašovací komory a plněné kolony, čímž dosahují jedné z nejvyšších účinností v oboru.
Chcete-li si s námi promluvit o našich řešeních pro snižování emisí plynů: +1 408.573.0701
Encompass
Tento první systém pro mokré spalování a mokré odstraňování emisíkombinuje dvě technologie mokrého odstraňování emisí (Wet + Burn/Wet) do jediné platformy, která umožňuje účinné odstraňování plynů rozpustných ve vodě před hořákem.
Cyklón
Systém společnosti Exentec pro mokrou ablaci Cyclone je naším vlajkovým modelem, který zahrnuje všechny pokročilé funkce, které podporují nulové prostoje procesních nástrojů.
Cyklon XL
Náš nejnovější velkokapacitní a vysoce účinný systém mokrého čištění Cyclone XL je vybaven tryskou s hrubým rozstřikem a vysokým průtokem, která pokrývá první čisticí komoru a odstraňuje objemné nečistoty. Strategické umístění zvyšuje účinnost, minimalizuje spotřebu vody a eliminuje tvorbu pěny.
Čisté prostory
Špičková řešení a komplexní služby
Vyvíjíme, vyrábíme a udržujeme spolehlivé produkty pro čisté prostory a výrobní prostředí pro mimořádně čistou řízenou atmosféru.
Miniaturní prostředí
Společnost Exentec je na trhu s bateriemi průkopníkem jedinečné modulární koncepce Mini Environment, která v sobě spojuje snížení spotřeby energie a technologická vylepšení.
Vzduchotechnické jednotky
Vzduchotechnické jednotky Exentec se vyznačují energeticky účinným designem. Náš výzkumný a vývojový tým pracuje s nejmodernějším vybavením a vždy přispívá nejnovějšími poznatky.
Kritické subsystémy a řízená prostředí
Systémy zásobování čistými médii pro citlivé výrobky
Zásobování chemikáliemi
Systémy pro míchání a distribuci velmi čistých chemikálií a kalů
Systémy pro míchání a distribuci velmi čistých chemikálií a kalů
Ampule a senzory
Vyrábíme snímače hladiny kapalin, pyroforické chemikálie a ampule, lahve a kanystry DOT 4B, které se hojně používají v polovodičovém, fotovoltaickém a bateriovém průmyslu.
Procesní výfuk
Stanovujeme průmyslový standard pro bezpečné a spolehlivé systémy odvodu korozivních výparů.
Snížení emisí plynu
Jsme vybraným dodavatelem pro významné polovodičové společnosti po celém světě a poskytujeme řešení pro snižování emisí plynů v místě použití (POU) pro nástroje pro depoziční, leptací a difuzní procesy.
Mokré lavičky
Specializujeme se na navrhování systémů pro přípravu povrchů, u kterých jsou požadavky na aplikaci a výkon zařízení v souladu.
Naše nástroje integrují procesní hardware, pokročilý řídicí software a automatizovanou robotiku a poskytují řešení na míru od manuálních jednoprocesních stolů až po plně automatizované systémy pro manipulaci s destičkami.Můžeme přizpůsobit nosiče substrátů a koncové efektory tak, aby vyhovovaly jedinečným požadavkům na zpracování.
Podporujeme širokou škálu substrátů a materiálů:
- destičky (100 mm - 300 mm)
- polovodičové materiály III-V
- Fotomasky
- Skleněné a křemenné držáky
- Zakázkové rozdělovače a speciální nosiče
Naši inženýři mohou také navrhnout vlastní koncové efektory a nosiče substrátů, aby splňovaly vaše specifické procesní a manipulační potřeby.
- Čištění, odstraňování rezistů, leptání, vyvolávání, odstraňování kovů, regenerace a sušení IPA
- Použitelné pro aplikace s kyselinami, zásadami a rozpouštědly
- Velikost lázně pro jednu nebo více kazet
- Konfigurovatelné a škálovatelné procesní vybavení.
Náš tým má zkušenosti s širokou škálou aplikačních potřeb, včetně práce v oblasti FEOL, BEOL, pokročilých obalů, pokovování MEMS vzorů, magnetického nanášení, elektroleptání a nanášení bez E. Máme také k dispozici standardní uspořádání lázní pro mokré procesy pro mnoho aplikací, jako např:
- leptání za mokra - leptání křemíku (KOH), leptání nitridů, leptání pufrovaných oxidů, leptání fotorezistů a leptání zlata/platiny.
- Konfigurace pro odstraňování kovů - NMP a DMSO
- Čištění destiček - Podpora pro lázně HF, Piranha, SC1, SC2.
Naše procesní nástroje lze konfigurovat s kompletní řadou podpůrných systémů pro zvýšení automatizace, bezpečnosti a správy chemikálií:
- Systémy pro manipulaci s chemikáliemi
- Vozíky pro dávkování, odebírání a skladování chemikálií
- Palubní nádoby pro sběr odpadu
- Výtahové stanice pro neutralizaci odpadu
- Hardware pro optimalizaci procesů
- Oběhová čerpadla s řízenou teplotou (WHRV)
- Ohřev: až 5115 BTU/hod.
- Chlazení: až 2550 BTU/hod.
- Recirkulační vany pro konzistentní teplotu a průtok
- Křemenné nádrže pro chemickou odolnost
- Rychlé vyplachovací zařízení (QDR)
- Ponorný, kaskádový a stříkací režim
Naše systémy pro přípravu povrchů jsou škálovatelné a připravené pro integraci do čistých prostor, výzkumných a vývojových laboratoří a velkosériových výrobních závodů. Ať už pracujete se standardními substráty, nebo s unikátními materiály, náš tým vám dodá procesně připravenou platformu na míru vašim potřebám.
Kalové systémy
Naše nástroje integrují procesní hardware, pokročilý řídicí software a automatizovanou robotiku a poskytují řešení na míru od manuálních jednoprocesních stolů až po plně automatizované systémy pro manipulaci s destičkami.Dokážeme přizpůsobit nosiče substrátů a koncové efektory tak, aby vyhovovaly jedinečným požadavkům na zpracování.
Podporujeme širokou škálu substrátů a materiálů:
- destičky (100 mm - 300 mm)
- polovodičové materiály III-V
- Fotomasky
- Skleněné a křemenné držáky
- Zakázkové rozdělovače a speciální nosiče
Naši inženýři mohou také navrhnout vlastní koncové efektory a nosiče substrátů, aby splňovaly vaše specifické procesní a manipulační potřeby.
- Čištění, odstraňování rezistů, leptání, vyvolávání, odstraňování kovů, regenerace a sušení IPA
- Použitelné pro aplikace s kyselinami, zásadami a rozpouštědly
- Velikost lázně pro jednu nebo více kazet
- Konfigurovatelné a škálovatelné procesní vybavení.
Náš tým má zkušenosti s širokou škálou aplikačních potřeb, včetně práce v oblasti FEOL, BEOL, pokročilých obalů, pokovování MEMS vzorů, magnetického nanášení, elektroleptání a nanášení bez E. Máme také k dispozici standardní uspořádání lázní pro mokré procesy pro mnoho aplikací, jako např:
- leptání za mokra - leptání křemíku (KOH), leptání nitridů, leptání pufrovaných oxidů, leptání fotorezistů a leptání zlata/platiny.
- Konfigurace pro odstraňování kovů - NMP a DMSO
- Čištění destiček - Podpora pro lázně HF, Piranha, SC1, SC2.
Naše procesní nástroje lze konfigurovat s kompletní řadou podpůrných systémů pro zvýšení automatizace, bezpečnosti a správy chemikálií:
- Systémy pro manipulaci s chemikáliemi
- Vozíky pro dávkování, odebírání a skladování chemikálií
- Palubní nádoby pro sběr odpadu
- Výtahové stanice pro neutralizaci odpadu
- Hardware pro optimalizaci procesů
- Oběhová čerpadla s řízenou teplotou (WHRV)
- Ohřev: až 5115 BTU/hod.
- Chlazení: až 2550 BTU/hod.
- Recirkulační vany pro konzistentní teplotu a průtok
- Křemenné nádrže pro chemickou odolnost
- Rychlé vyplachovací zařízení (QDR)
- Ponorný, kaskádový a stříkací režim
Naše systémy pro přípravu povrchů jsou škálovatelné a připravené pro integraci do čistých prostor, výzkumných a vývojových laboratoří a velkosériových výrobních závodů. Ať už pracujete se standardními substráty, nebo s unikátními materiály, náš tým vám dodá procesně připravenou platformu na míru vašim potřebám.