S využitím naší jedinečné hodnoty v oblasti mokrého odstraňování emisí představila společnost Exentec první řadu tepelných produktů Encompass. Tento nástroj kombinuje dvě technologie v jedné platformě s využitím naší vlastní architektury Wet-Burn-Wet. Zákazníci si uvědomují, že předzpracování proudů procesních plynů pro abataci jim umožňuje maximalizovat dobu provozuschopnosti procesního nástroje a zároveň zachovat požadovanou účinnost míry destrukce (DRE). Kombinace technologií (Wet + Burn/Wet) do jediné platformy umožňuje účinné odstranění plynů rozpustných ve vodě před hořákem. Tím se snižují emise NOx odstraněním čpavku před hořákem a minimalizuje se tvorba částic v potrubí zařízení odstraněním prekurzorů v komoře pro snižování emisí před smáčením. Účinnost míry destrukce (DRE) je zachována bez nutnosti časté údržby. Revoluční konstrukce hořáku a předmáčecí čisticí komora prakticky eliminují údržbu hořáku a spotřební materiál. Díky aktivnímu potlačení zpětného záblesku a technologii mokré stěny hořáku je Encompass nejbezpečnějším nástrojem pro snižování emisí na trhu s nejnižšími celkovými náklady na vlastnictví.

• Nezávislé předčistící komory zabraňují mísení neslučitelných plynů.
• Technologie hoření mokrou stěnou "obklopuje" tepelnou zónu s recirkulující vodou a materiály odolnými proti korozi.
• Části komory jsou chráněny před korozí a je zabráněno tvorbě usazenin při odchodu do důchodu rutinní údržba hořáku
• Technologie vícezónového hořáku využívá existující procesní plyny, aniž by došlo ke zředění hlavního plamene ovlivňujícího DRE
• Skutečný provoz v "zeleném režimu" je možný díky digitálním cyklům zapínání a vypínání plamene a výslednému tepelnému profilu.

Příklady aplikačních výhod:

• W-CVD - depozity WOx vytvořené spalováním nitridu WF6 CVD
• 90% snížení NOx mokrým čištěním NH3 EPI
• Technologie proti zpětnému vzplanutí pro potlačení plamene a odlehčení tlaku
• Nejnižších celkových nákladů na vlastnictví je dosaženo eliminací rutinní údržby a spotřebního materiálu.
• Nejvyšší návratnost čistých aktiv a celková účinnost zařízení je dosažena vynikající dobou provozuschopnosti a dostupnosti