Cyklón XL je vybaven tryskou s hrubým rozstřikem a vysokým průtokem, která pokrývá první komoru pro odstraňování nečistot a odstraňuje objemné nečistoty. Strategické umístění zvyšuje účinnost, minimalizuje spotřebu vody a eliminuje tvorbu pěny.

Přínosné vlastnosti

• Vysoká průtočná kapacita: Průtoková kapacita: až 5000 ml bez ztráty účinnosti - více než 5krát vyšší než u většiny systémů POU.
• Zařízení pro přívod plynu: Zařízení pro přívod okolního nebo vysokoteplotního plynu minimalizují míru omezení a automatický píst pro přívod plynu odstraňuje omezení bez přerušení procesu.
• Sloupec s plášti: Konečná úprava. Balení nevyžaduje žádnou údržbu ani výměnu
• Druhá a třetí redukční komora: Jedenáct vysokorychlostních trysek s jemným rozprašováním zajišťuje účinné odstranění nečistot.
• První komora pro odstraňování nečistot: Hrubý nástřik, vysokoprůtokové trysky pokrývají komoru a odstraňují objemné nečistoty.
• Přívod čerstvé vody: Strategické umístění zvyšuje účinnost, minimalizuje spotřebu vody a eliminuje tvorbu pěny. Tři stupně průtoku odpovídající parametrům procesu
• Čerpadlo: Čerpadlo: odolné proti korozi, s vysokým výkonem a dlouhou životností. Recirkuluje 25 GPM
• Geometrie jímky: Jedinečné umístění vstupu čerpadla, vypouštění a vstupu čerstvé vody zabraňuje tvorbě pěny, usazenin a minimalizuje spotřebu vody.
• Malá plocha: 47,2 × 53,35 palce

Typy vstupů

• Vyhřívané/CVD: Kombinace vnitřně vyhřívané, teflonem vyložené a izolované konstrukce přívodu s naším automatickým pístem může snížit náklady spojené se systémem na nulu.
• Poly Etch CVD vstup: Vysoce účinná redukce plynu s patentovaným zařízením pro vstup plynu, které minimalizuje omezení.
• Vysokoteplotní přívod: Pro vysokoteplotní proud plynu až do teploty 220 ºC.
• Epitaxial Inlet: Speciální zařízení pro vstup plynu od společnosti Exentec, které minimalizuje omezení na vstupu, a automatizovaný píst pro vstup plynu, který prodlužuje interval praktické údržby na každých 6 měsíců
  

Konfigurace vstupu

• Standardní epitaxní: Pouze 1 port pro epitaxiální a cyklonový systém, 2palcový PVC násuvný otvor.
• Standardní 1 až 4 porty bez vyhřívání Cyclone. Standardně jsou přívody z 1,5palcového PVC s násuvným uložením, ale lze je upravit tak, aby obsahovaly přírubové adaptéry KF 40 vyztužené SS.
• Standard XL: pouze 2 porty, pouze nevyhřívané, KF 80, SS
• Standardní 1 až 4 porty, vyhřívané, Cyclone 1,5palcová SS příruba KF 40