Míchání a dodávka kalů CMP
Míchání a dodávka kalů CMP
Odstranění nákladných metrologií náročných na pracovní sílu v režimu offline a ruční úpravy procesů.
Polovodičové továrny mají stále přísnější horní a dolní regulační meze (UCL / LCL) pro řadu kritických procesních parametrů. Tyto parametry zahrnují specifické funkce související s koncentrací a mnoho dalších, které souvisejí s operacemi míchání a distribuce suspenze CMP dané kritické chemické činnosti.
K dosažení tohoto cíle došlo k významnému pokroku v metrologii, která se liší oblastmi a principy; mnohé z nich však dnes představují pouze offline měření nebo ověřování, která se používají ke splnění požadované přesnosti a správnosti pro tyto kontrolní meze.
Aby se eliminovala potřeba offline přístrojů, má společnost Exentec osvědčenou praxi chemicko-mechanické charakterizace leštění, kde je možné použít různá metrologická zařízení nebo kombinace těchto zařízení, aby se dosáhlo nejlepší in-line metrologicky řízené kontroly ve své třídě s nejvyšší úrovní přesnosti.
Společnost Exentec dokáže pomocí tohoto koncertu přístrojů dosáhnout v reálném čase on-line výsledků, které prokazatelně dosahují nebo překračují úrovně pozorované mnoha off-line metodami.
Výhody
- Vyšší přesnost směsi a kontrola v reálném čase
- Maximální doba provozu
- Plně automatizovaný systém
- Nízké náklady na vlastnictví
- Flexibilní a uživatelsky přívětivé rozhraní HMI
- Redundance systému a/nebo komponent pro maximalizaci provozuschopnosti výroby
- Automatizované proplachování systému
- Prostorově úsporné provedení
- Úplná konfigurace a manipulace se směsí
Chemické systémy s vysokou čistotou
Nabízíme zařízení, služby provozní podpory a technické znalosti pro splnění různých aplikačních potřeb v oblasti dodávek vysoce čistých kapalin, míchání chemikálií a nejmodernějších kalových systémů CMP pro výrobu polovodičů a další high-tech odvětví.
Vyložení chemických látek
Systém Exentec Titan™ Transfer and Offload System automaticky přenáší vodné chemikálie z vykládací skříně cisterny do hlavních distribučních nádrží.
Distribuce chemických látek
Společnost Exentec nabízí zařízení, podpůrné služby a technické znalosti, které splňují potřeby aplikací při navrhování a výrobě systémů pro distribuci chemikálií s vysokou i nízkou čistotou.
Směšování na lince
Patentovaná technologie in-line míchání chemikálií a dodávání chemických roztoků na vyžádání společnosti Exentec dokáže na vyžádání přizpůsobit dynamické změny průtoku koncovými uživateli nebo místy použití při zachování přesnosti míchání.
Chemická výroba
Technologie společnosti Exentec pro výrobu NH4OHna místě pomáhá výrobnám polovodičů výrazně snížit celkové náklady na dodávky chemikálií, zvýšit odolnost a ekologickou udržitelnost.