Chladicí vodní skříně
Chladicí vodní skříně
Kvalita chladicí vody dostupné v polovodičových továrnách je významným problémem.
Továrny a nástrojárny vyžadují přesnou regulaci chladicí vody
Řešením společnosti Exyte Technology je oddělení chladicích okruhů továrny a nástroje a použití ultračisté vody (UPW) v okruhu nástroje. Toto oddělení také umožňuje lepší kontrolu přívodu chladicí vody z hlediska teplotní stability, znečištění částicemi a průtoku, což zvyšuje výkon a dostupnost nástroje.
Chladicí vodní skříně
Řešením společnosti Exentec je oddělení chladicích okruhů továrny a nástroje a použití ultračisté vody (UPW) v okruhu nástroje.
Přesná komora pro kontrolu prostředí
Komory Exentec Precise Environmental Chambers poskytují velmi nízké tolerance teploty a vlhkosti, absolutní čistotu, pokud jde o plynnou kontaminaci a kontaminaci částicemi, a stínění akustických, vibračních a elektromagnetických vlivů.
Přesné systémy řízení klimatu
Společnost Exentec poskytuje systém přesné regulace klimatu pro polovodičový průmysl a nanotechnologie a výrobu optických paměťových médií, které vyžadují trvale stabilní procesní a měřicí prostředí.
Řešení pro kontrolu rosného bodu
Společnost Exentec nabízí systémy a řešení s vytěsňovacími plyny pro nejvyšší požadavky na čistotu, teplotní stabilitu a suchost.