Přesná komora pro kontrolu prostředí
Přesná komora pro kontrolu prostředí
Komory Exentec Precise Environmental Chambers poskytují velmi nízké tolerance teploty a vlhkosti, absolutní čistotu, pokud jde o plynnou kontaminaci a kontaminaci částicemi, a stínění akustických, vibračních a elektromagnetických vlivů.
Zařízení pro pokročilé technologie
Inovace, citlivé výrobní procesy, zvyšující se standardy kvality a rychlý pokrok ve výzkumu a vývoji představují stálé a rostoucí výzvy pro výrobní a vývojová prostředí v polovodičovém a optickém průmyslu, stejně jako pro nanotechnologie a mikromechaniku.
Velmi nízké teplotní a vlhkostní tolerance, absolutní čistota s ohledem na plynné znečištění a znečištění částicemi, jakož i odstínění akustických, vibračních a elektromagnetických vlivů na procesy zákazníka jsou klíčovými faktory pro optimální výrobní procesy. Naše řešení: systém MEC (Modular Environmental Chamber).
- Stabilní a reprodukovatelné procesní prostředí
- Usazování pevných částic a chemických kontaminantů
- Přesné řízení teploty
- Akustické stínění
Technické údaje
Výkonnostní parametry
- Objemový průtok vzduchu: 2,95 m³/h
- Teplota vzduchu: 22 °C
- Teplotní stabilita: ± 5 mK až ± 1 mK
- Vlhkost: 33 % r.v.
- Stabilita vlhkosti: ± 0,3 % r.v.
- Akustické stínění: pro 100 < f < 5000 Hz: -15 dB
- Magnetické stínění pro 10 < f < 200 Hz: -30 dB