Systemy gazu luzem o wysokiej czystości

Systemy gazu luzem o wysokiej czystości

Systemy Exentec do gazów luzem o wysokiej czystości oferują gotowe lub specjalistyczne rozwiązania do bezpiecznego i wydajnego dostarczania gazów w branżach takich jak produkcja półprzewodników. Od kontroli rurociągów po moduły oczyszczające, systemy są w pełni konfigurowalne dla różnych rodzajów gazu - maksymalizując bezpieczeństwo, produktywność i wartość cyklu życia.

Systemy gazów specjalnych o wysokiej czystości

Systemy gazów specjalnych o wysokiej czystości

Systemy gazowe Exentec Spec o wysokiej czystości charakteryzują się w pełni zintegrowanym sterowaniem PLC/HMI ze zdalnym dostępem i automatyczną regulacją ciśnienia w celu zapewnienia precyzyjnego, nieprzerwanego przepływu gazu. Zaprojektowane z myślą o kompaktowych szafach, redukują ręczną interwencję o 30%, minimalizują wahania ciśnienia i zwiększają bezpieczeństwo dzięki pełnej automatyzacji.

Szafki gazowe

Szafki gazowe

Szafy gazowe Exentec oferują elastyczne konfiguracje i 99,999% czasu sprawności, zarówno ze standardowymi, jak i niestandardowymi rozwiązaniami dostosowanymi do konkretnych zastosowań. Dostępne opcje obejmują sterowanie od ręcznego do w pełni zautomatyzowanego, konfiguracje 1-3 butli oraz zintegrowane panele oczyszczania/procesu - wszystkie zaprojektowane z myślą o bezpieczeństwie, niezawodności i łatwej obsłudze.

Systemy mikserów gazowych

Systemy mikserów gazowych

Systemy mieszania gazów Exentec zapewniają precyzyjne, zautomatyzowane mieszanie gazów do 250 slpm, z monitorowaniem w czasie rzeczywistym i dokładnością ±0,3%. Wyposażony w sterowanie PLC, wbudowany analizator i funkcje bezpieczeństwa w kompaktowej obudowie zgodnej z SEMI-F14, zapewnia niezawodną wydajność w wymagających zastosowaniach.

Skrzynki rozdzielaczy zaworów

Skrzynki rozdzielaczy zaworów

Valve Manifold Box (VMB) firmy Exentec umożliwia bezpieczną, niezawodną dystrybucję gazu za pomocą maksymalnie 8 drążków, z ręcznym lub w pełni automatycznym sterowaniem oraz opcjonalnym oczyszczaniem N₂ i próżnią do konserwacji. Dostępne w wersji panelowej lub szafy wyciągowej, VMB oferują zaawansowane funkcje bezpieczeństwa, podwójną izolację i konfigurowalne akcesoria do zastosowań z gazami obojętnymi lub niebezpiecznymi.

Panele kolektora zaworów

Panele kolektora zaworów

Zespół Exentec zajmujący się dostawami mediów o wysokiej czystości dostarcza innowacyjne i niezawodne panele gazowe poparte rozległym doświadczeniem w produkcji i instalacji. Opcje paneli obejmują konfiguracje automatyczne, ręczne, modułowe i oczyszczające - takie jak panele Auto-Crossover, które zapewniają nieprzerwany przepływ gazu poprzez automatyczne przełączanie butli, gdy jedna z nich jest wyczerpana.

Panele kolektora zaworów

Panele kolektora zaworów

Zespół Exentec zajmujący się dostawami mediów o wysokiej czystości dostarcza innowacyjne i niezawodne panele gazowe poparte rozległym doświadczeniem w produkcji i instalacji. Opcje paneli obejmują konfiguracje automatyczne, ręczne, modułowe i oczyszczające - takie jak panele Auto-Crossover, które zapewniają nieprzerwany przepływ gazu poprzez automatyczne przełączanie butli, gdy jedna z nich jest wyczerpana.

Systemy dostarczania prekursorów Liquide

Systemy dostarczania prekursorów Liquide

System dostarczania Liquide (prekursora) firmy Exentec to system dystrybucji chemikaliów zaprojektowany w celu maksymalizacji wydajności i wydajności. Samodzielny system obejmuje redundantne panele z możliwością automatycznego przełączania, co zapewnia wydłużony czas pracy > 99,9%. Niewielkie rozmiary i duża wydajność procesowa zostały zaprojektowane do dystrybucji ciekłych chemikaliów za pomocą gazu wypychającego.

Sterowniki systemu dostarczania gazu

Sterowniki systemu dostarczania gazu

Exentec oferuje wszechstronną gamę sterowników systemów dostarczania gazu, które można dostosować do określonych rodzajów gazu, procedur oczyszczania i platform sterowania. Dostępne opcje obejmują ręczne i w pełni zautomatyzowane sterowniki VMB (4- lub 8-krokowe) ze sterownikami PLC Allen-Bradley lub Siemens, a także modele niestandardowe i bezpośrednio zastępujące, takie jak AVMB4S i AVMB8S do modernizacji starszych systemów.

System dostarczania oparów

System dostarczania oparów

System dostarczania oparów Exentec to kompaktowe rozwiązanie o wysokiej czystości do precyzyjnej dystrybucji oparów chemicznych w zaawansowanych zastosowaniach produkcyjnych. Wyposażony w bełkotkę ze stali nierdzewnej, opcjonalny agregat chłodniczy i inteligentne sterowanie w trwałej obudowie, zapewnia stały przepływ pary, elastyczną integrację i zwiększone bezpieczeństwo w procesach takich jak ALD, CVD i epitaksja.

Niestandardowy pojemnik na gaz

Niestandardowy pojemnik na gaz

Kontenery gazowe Exentec "Plug & Process" to modułowe, prefabrykowane systemy zaprojektowane z myślą o szybkim i ekonomicznym wdrażaniu infrastruktury gazowej o ultra wysokiej czystości. W pełni konfigurowalne i zautomatyzowane, wyposażone są w zintegrowane systemy bezpieczeństwa, wentylacji i kontroli - zapewniając efektywne przestrzennie, skalowalne rozwiązania z długoterminowym wsparciem ekspertów.

Instalacje i połączenia maszynowe

Instalacje i połączenia maszynowe

Nasz wewnętrzny dział CAD opracowuje i projektuje komponenty, a następnie produkuje je w naszych wyspecjalizowanych zakładach produkcyjnych. Nasi eksperci przetwarzają rury ze stali nierdzewnej w szerokim zakresie jakości przy użyciu procesów spawania orbitalnego lub ręcznego. Stosujemy techniki łączenia obejmujące:

  • Technologia VCR
  • Łączenie rur
  • Technologia kołnierzy
  • Systemy montażu zaprasowywanego
  • Przetwarzanie tworzyw sztucznych (spawanie, klejenie)
Pomieszczenie czyste

Doskonałe rozwiązania i kompleksowe usługi

Mini środowiska
Centrale wentylacyjne
Krytyczne podsystemy i kontrolowane środowiska
Dostawa gazu
Dostawa chemikaliów

Systemy mieszania i dystrybucji chemikaliów i zawiesin o bardzo wysokiej czystości

Ampułki i czujniki
Proces wydechowy