Exentec dostarcza systemy zasilania gazem o wysokiej czystości - od pojedynczych komponentów po gotowe rozwiązania - dostosowane do potrzeb laboratoriów i środowisk produkcyjnych. Dostępne opcje obejmują zarówno w pełni automatyczne, jak i ręczne szafy gazowe, ze zintegrowanymi funkcjami bezpieczeństwa, monitorowania i dystrybucji gazów o wysokiej czystości, zapewniającymi maksymalną niezawodność i zgodność z przepisami.
Własne moce produkcyjne naszej firmy pozwalają nam na szybką i elastyczną produkcję złożonych systemów, nawet w warunkach pomieszczeń czystych. Podczas montażu w warunkach pomieszczeń czystych lub produkcji niestandardowego sprzętu, nasza wiedza specjalistyczna w zakresie technologii spawania, sterowania procesami i automatyzacji oraz testowania i kontroli jakości jest płynnie powiązana.
Systemy gazu luzem o wysokiej czystości
Systemy Exentec do gazów luzem o wysokiej czystości oferują gotowe lub specjalistyczne rozwiązania do bezpiecznego i wydajnego dostarczania gazów w branżach takich jak produkcja półprzewodników. Od kontroli rurociągów po moduły oczyszczające, systemy są w pełni konfigurowalne dla różnych rodzajów gazu - maksymalizując bezpieczeństwo, wydajność i wartość cyklu życia.
Systemy gazów specjalnych o wysokiej czystości
Systemy gazowe Exentec Spec o wysokiej czystości charakteryzują się w pełni zintegrowanym sterowaniem PLC/HMI ze zdalnym dostępem i automatyczną regulacją ciśnienia w celu zapewnienia precyzyjnego, nieprzerwanego przepływu gazu. Zaprojektowane z myślą o kompaktowych szafach, redukują ręczną interwencję o 30%, minimalizują wahania ciśnienia i zwiększają bezpieczeństwo dzięki pełnej automatyzacji.
Szafki gazowe
Szafy gazowe Exentec oferują elastyczne konfiguracje i 99,999% czasu sprawności, zarówno ze standardowymi, jak i niestandardowymi rozwiązaniami dostosowanymi do konkretnych zastosowań. Dostępne opcje obejmują sterowanie od ręcznego do w pełni zautomatyzowanego, konfiguracje 1-3 butli oraz zintegrowane panele oczyszczania/procesu - wszystkie zaprojektowane z myślą o bezpieczeństwie, niezawodności i łatwej obsłudze.
Systemy mikserów gazowych
Systemy mieszania gazów Exentec zapewniają precyzyjne, zautomatyzowane mieszanie gazów do 250 slpm, z monitorowaniem w czasie rzeczywistym i dokładnością ±0,3%. Wyposażony w sterowanie PLC, wbudowany analizator i funkcje bezpieczeństwa w kompaktowej obudowie zgodnej z SEMI-F14, zapewnia niezawodną wydajność w wymagających zastosowaniach.
Skrzynki rozdzielaczy zaworów
Valve Manifold Box (VMB) firmy Exentec umożliwia bezpieczną, niezawodną dystrybucję gazu za pomocą maksymalnie 8 drążków, z ręcznym lub w pełni automatycznym sterowaniem oraz opcjonalnym oczyszczaniem N₂ i próżnią do konserwacji. Dostępne w wersji panelowej lub szafy wyciągowej, VMB oferują zaawansowane funkcje bezpieczeństwa, podwójną izolację i konfigurowalne akcesoria do zastosowań z gazami obojętnymi lub niebezpiecznymi.
Panele kolektora zaworów
Zespół Exentec zajmujący się dostawami mediów o wysokiej czystości dostarcza innowacyjne i niezawodne panele gazowe poparte rozległym doświadczeniem w produkcji i instalacji. Opcje paneli obejmują konfiguracje automatyczne, ręczne, modułowe i oczyszczające - takie jak panele Auto-Crossover, które zapewniają nieprzerwany przepływ gazu poprzez automatyczne przełączanie butli, gdy jedna z nich jest wyczerpana.
Panele kolektora zaworów
Zespół Exentec zajmujący się dostawami mediów o wysokiej czystości dostarcza innowacyjne i niezawodne panele gazowe poparte rozległym doświadczeniem w produkcji i instalacji. Opcje paneli obejmują konfiguracje automatyczne, ręczne, modułowe i oczyszczające - takie jak panele Auto-Crossover, które zapewniają nieprzerwany przepływ gazu poprzez automatyczne przełączanie butli, gdy jedna z nich jest wyczerpana.
Systemy dostarczania prekursorów Liquide
System dostarczania Liquide (prekursora) firmy Exentec to system dystrybucji chemikaliów zaprojektowany w celu maksymalizacji wydajności i wydajności. Samodzielny system obejmuje redundantne panele z możliwością automatycznego przełączania, co zapewnia wydłużony czas pracy > 99,9%. Niewielkie rozmiary i duża wydajność procesowa zostały zaprojektowane do dystrybucji ciekłych chemikaliów za pomocą gazu wypychającego.
Sterowniki systemu dostarczania gazu
Exentec oferuje wszechstronną gamę sterowników systemów dostarczania gazu, które można dostosować do określonych rodzajów gazu, procedur oczyszczania i platform sterowania. Dostępne opcje obejmują ręczne i w pełni zautomatyzowane sterowniki VMB (4- lub 8-krokowe) ze sterownikami PLC Allen-Bradley lub Siemens, a także modele niestandardowe i bezpośrednio zastępujące, takie jak AVMB4S i AVMB8S do modernizacji starszych systemów.
System dostarczania oparów
System dostarczania oparów Exentec to kompaktowe rozwiązanie o wysokiej czystości do precyzyjnej dystrybucji oparów chemicznych w zaawansowanych zastosowaniach produkcyjnych. Wyposażony w bełkotkę ze stali nierdzewnej, opcjonalny agregat chłodniczy i inteligentne sterowanie w trwałej obudowie, zapewnia stały przepływ pary, elastyczną integrację i zwiększone bezpieczeństwo w procesach takich jak ALD, CVD i epitaksja.
Niestandardowy pojemnik na gaz
Kontenery gazowe Exentec "Plug & Process" to modułowe, prefabrykowane systemy zaprojektowane z myślą o szybkim i ekonomicznym wdrażaniu infrastruktury gazowej o ultra wysokiej czystości. W pełni konfigurowalne i zautomatyzowane, wyposażone są w zintegrowane systemy bezpieczeństwa, wentylacji i kontroli - zapewniając efektywne przestrzennie, skalowalne rozwiązania z długoterminowym wsparciem ekspertów.
Instalacje i połączenia maszynowe
Nasz wewnętrzny dział CAD opracowuje i projektuje komponenty, a następnie produkuje je w naszych wyspecjalizowanych zakładach produkcyjnych. Nasi eksperci przetwarzają rury ze stali nierdzewnej w szerokim zakresie jakości przy użyciu procesów spawania orbitalnego lub ręcznego. Stosujemy techniki łączenia obejmujące:
- Technologia VCR
- Łączenie rur
- Technologia kołnierzy
- Systemy montażu zaprasowywanego
- Przetwarzanie tworzyw sztucznych (spawanie, klejenie)
Pomieszczenie czyste
Doskonałe rozwiązania i kompleksowe usługi
Opracowujemy, produkujemy i utrzymujemy niezawodne produkty do pomieszczeń czystych i środowisk produkcyjnych dla ultra czystej kontrolowanej atmosfery.
Mini środowiska
Na rynku akumulatorów Exentec jest pionierem unikalnej modułowej koncepcji Mini Environment, łączącej redukcję energii i ulepszenia technologiczne.
Centrale wentylacyjne
Centrale wentylacyjne Exentec wyróżniają się energooszczędną konstrukcją. Nasz zespół badawczo-rozwojowy pracuje z najnowocześniejszym sprzętem i zawsze wnosi najnowszą wiedzę.
Krytyczne podsystemy i kontrolowane środowiska
Systemy dostarczania czystych mediów dla wrażliwych produktów
Dostawa chemikaliów
Systemy mieszania i dystrybucji chemikaliów i zawiesin o bardzo wysokiej czystości
Systemy mieszania i dystrybucji chemikaliów i zawiesin o bardzo wysokiej czystości
Ampułki i czujniki
Produkujemy czujniki poziomu cieczy, piroforyczne środki chemiczne oraz ampułki, cylindry i kanistry DOT 4B szeroko stosowane w przemyśle półprzewodnikowym, fotowoltaicznym i akumulatorowym.
Proces wydechowy
Wyznaczamy standardy branżowe w zakresie bezpiecznych i niezawodnych systemów odprowadzania oparów korozyjnych
Ograniczenie emisji gazu
Jesteśmy dostawcą wybieranym przez główne firmy półprzewodnikowe na całym świecie, dostarczając rozwiązania do redukcji gazów w punktach użycia (POU) dla narzędzi do osadzania, wytrawiania i dyfuzji.
Rozwiązania biofarmaceutyczne
Wspieramy wszystkie krytyczne etapy produkcji biofarmaceutycznej
Mokre ławki
Specjalizujemy się w projektowaniu systemów przygotowania powierzchni, w których wymagania aplikacji i wydajność sprzętu są idealnie dopasowane
Nasze narzędzia integrują sprzęt procesowy, zaawansowane oprogramowanie sterujące i zautomatyzowaną robotykę, aby dostarczać niestandardowe rozwiązania, od ręcznych pojedynczych stanowisk procesowych po w pełni zautomatyzowane systemy obsługi płytek. Możemy dostosować nośniki substratów i efektory końcowe, aby spełnić unikalne wymagania przetwarzania.
Obsługujemy szeroką gamę podłoży i materiałów:
- Wafle (100 mm - 300 mm)
- Materiały półprzewodnikowe III-V
- Fotomaski
- Mocowania szklane i kwarcowe
- Niestandardowe rozdzielacze i specjalne nośniki
Nasi inżynierowie mogą również zaprojektować niestandardowe efektory końcowe i nośniki substratów, aby spełnić określone potrzeby związane z procesem i obsługą.
- Czyszczenie, paski oporowe, trawienie, wywoływanie, usuwanie metalu, odzyskiwanie IPA i suszenie
- Możliwość zastosowania w aplikacjach kwasowych, zasadowych i rozpuszczalnikowych
- Pojedyncze lub wielokasetowe rozmiary wanien
- Konfigurowalny i skalowalny sprzęt procesowy.
Nasz zespół ma doświadczenie w szerokim zakresie zastosowań, w tym w FEOL, BEOL, Advanced Packaging, MEMS Pattern Plating, Magnetic Deposition, Electro-Etch i E-less Deposition. Dysponujemy również standardowymi układami kąpieli do procesów mokrych dla wielu zastosowań, takich jak:
- Trawienie na mokro - trawienie krzemu (KOH), trawienie azotków, buforowane trawienie tlenków, paski fotorezystu i trawienie złota/platyny.
- Metal Lift-Off - konfiguracje NMP i DMSO
- Wafer Clean - wsparcie dla kąpieli HF, Piranha, SC1, SC2
Nasze narzędzia procesowe można skonfigurować z pełną gamą systemów wsparcia w celu zwiększenia automatyzacji, bezpieczeństwa i zarządzania chemikaliami:
- Systemy obsługi chemikaliów
- Wózki na chemikalia do dozowania, usuwania i przechowywania
- Wbudowane karnistry do zbierania odpadów
- Stacje podnoszenia do neutralizacji odpadów
- Sprzęt do optymalizacji procesów
- Cyrkulatory z regulacją temperatury (WHRV)
- Ogrzewanie: do 5115 BTU/godz.
- Chłodzenie: do 2550 BTU/godz.
- Wanny recyrkulacyjne zapewniające stałą temperaturę i przepływ
- Zbiorniki kwarcowe zapewniające odporność chemiczną
- Płukarki Quick Dump (QDR)
- Tryby zanurzeniowy, kaskadowy i natryskowy
Nasze systemy przygotowania powierzchni są skalowalne i gotowe do integracji z pomieszczeniami czystymi, laboratoriami badawczo-rozwojowymi i wysokonakładowymi fabrykami. Niezależnie od tego, czy pracujesz ze standardowymi podłożami, czy unikalnymi materiałami, nasz zespół może dostarczyć gotową do procesu platformę dostosowaną do Twoich potrzeb.
Systemy szlamowe
Nasze narzędzia integrują sprzęt procesowy, zaawansowane oprogramowanie sterujące i zautomatyzowaną robotykę, aby dostarczać niestandardowe rozwiązania, od ręcznych pojedynczych stanowisk procesowych po w pełni zautomatyzowane systemy obsługi płytek. Możemy dostosować nośniki substratów i efektory końcowe, aby spełnić unikalne wymagania przetwarzania.
Obsługujemy szeroką gamę podłoży i materiałów:
- Wafle (100 mm - 300 mm)
- Materiały półprzewodnikowe III-V
- Fotomaski
- Mocowania szklane i kwarcowe
- Niestandardowe rozdzielacze i specjalne nośniki
Nasi inżynierowie mogą również zaprojektować niestandardowe efektory końcowe i nośniki substratów, aby spełnić określone potrzeby związane z procesem i obsługą.
- Czyszczenie, paski oporowe, trawienie, wywoływanie, usuwanie metalu, odzyskiwanie IPA i suszenie
- Możliwość zastosowania w aplikacjach kwasowych, zasadowych i rozpuszczalnikowych
- Pojedyncze lub wielokasetowe rozmiary wanien
- Konfigurowalny i skalowalny sprzęt procesowy.
Nasz zespół ma doświadczenie w szerokim zakresie zastosowań, w tym w FEOL, BEOL, Advanced Packaging, MEMS Pattern Plating, Magnetic Deposition, Electro-Etch i E-less Deposition. Dysponujemy również standardowymi układami kąpieli do procesów mokrych dla wielu zastosowań, takich jak:
- Trawienie na mokro - trawienie krzemu (KOH), trawienie azotków, buforowane trawienie tlenków, paski fotorezystu i trawienie złota/platyny.
- Metal Lift-Off - konfiguracje NMP i DMSO
- Wafer Clean - obsługa kąpieli HF, Piranha, SC1, SC2
Nasze narzędzia procesowe można skonfigurować z pełną gamą systemów wsparcia w celu zwiększenia automatyzacji, bezpieczeństwa i zarządzania chemikaliami:
- Systemy obsługi chemikaliów
- Wózki na chemikalia do dozowania, usuwania i przechowywania
- Wbudowane karnistry do zbierania odpadów
- Stacje podnoszenia do neutralizacji odpadów
- Sprzęt do optymalizacji procesów
- Cyrkulatory z regulacją temperatury (WHRV)
- Ogrzewanie: do 5115 BTU/godz.
- Chłodzenie: do 2550 BTU/godz.
- Wanny recyrkulacyjne zapewniające stałą temperaturę i przepływ
- Zbiorniki kwarcowe zapewniające odporność chemiczną
- Płukarki Quick Dump (QDR)
- Tryby zanurzeniowy, kaskadowy i natryskowy
Nasze systemy przygotowania powierzchni są skalowalne i gotowe do integracji z pomieszczeniami czystymi, laboratoriami badawczo-rozwojowymi i wysokonakładowymi fabrykami. Niezależnie od tego, czy pracujesz ze standardowymi podłożami, czy unikalnymi materiałami, nasz zespół może dostarczyć gotową do procesu platformę dostosowaną do Twoich potrzeb.