System dostarczania oparów

Vapor Delivery System firmy Exentec to chemiczny system dystrybucji oparów zaprojektowany w celu maksymalizacji wydajności i osiągów

System dostarczania oparów Exentec to kompaktowe, samodzielne rozwiązanie do wydajnej i precyzyjnej dystrybucji oparów chemicznych. Obejmuje on zbiornik bąbelkowy ze stali nierdzewnej, opcjonalny zintegrowany agregat chłodniczy i sterownik systemu - a wszystko to na niewielkiej powierzchni. Przyłącza instalacji, gazu nośnego i procesowe mogą być konfigurowane z wielu stron w celu zapewnienia elastycznej instalacji.

Przegląd systemu:

Gaz nośny przepływa przez ciekłą substancję chemiczną w zbiorniku za pomocą dyfuzora, zapewniając wysokie nasycenie parą.
Aktywny liniowy czujnik poziomu utrzymuje zadany poziom cieczy
Kontrola temperatury za pomocą sondy i opcjonalnego agregatu chłodniczego zapewnia stałe dostarczanie pary

Specyfikacja obudowy:

Rozmiar: 16" W x 16" D x 74,25" H z 3" otworem wylotowym
Wytrzymała stal o grubości 11 mm z powłoką odporną na korozję
Spawana obudowa wewnętrzna zapewniająca izolację chemiczną
Żaluzje i tylna przestrzeń dla skutecznego odprowadzania gazu
Oddzielne strefy dla komponentów elektrycznych, chłodniczych i gazowych
Funkcje bezpieczeństwa: Czujnik wydechu, tryskacz UL, czujnik pożarowy, uszczelnione drzwi

Dostępne opcje:

Rozmiary bąbelków: 1, 5, 10 lub 20 litrów
Zintegrowany agregat chłodniczy
Opcje odzyskiwania: Ręczny lub zdalny spust, przewód odzyskiwania
Pałąk gazu nośnego: Opcjonalny manometr/przekaźnik, obejście, zawór ESO

Zbiorniki bąbelkowe UHP firmy Exentec wspierają wysokowydajne dostarczanie oparów w półprzewodnikach, energii słonecznej i powiązanych zaawansowanych procesach produkcyjnych, takich jak ALD, PEALD, CVD i epitaksja.

Systemy gazu luzem o wysokiej czystości

Oferujemy naszym klientom niezawodne źródło wysokiej jakości sprzętu do systemów gazowych oraz szeroką gamę produktów i usług.

Systemy gazów specjalnych o wysokiej czystości

Wykorzystujemy nasze możliwości konstrukcyjne i wiedzę programistyczną do opracowywania przełomowych systemów dostarczania gazu.

Szafki gazowe

Szeroka gama szafek, sterowników i paneli może zostać skonfigurowana w system dostosowany do potrzeb użytkownika.

Systemy mikserów gazowych

Exentec Gas Blender to oparty na sterowaniu system mieszania gazów w zamkniętej pętli połączony z wbudowanym analizatorem.

Skrzynki rozdzielaczy zaworów

Skrzynka zaworowa Exentec (VMB) zapewnia bezpieczne i niezawodne punkty dystrybucji dla systemu gazowego.

Panele kolektora zaworów

Zespół Exentec zajmujący się dostawami mediów o wysokiej czystości ma bogate doświadczenie w produkcji i instalacji paneli i urządzeń do gazów o wysokiej czystości.

Systemy gazów specjalnych luzem

Bulk Specialty Gas System (BSGS) to najnowocześniejszy system dystrybucji przeznaczony do bezpiecznego, automatycznego dostarczania gazów specjalnych luzem.

Systemy dostarczania prekursorów Liquide

System dostarczania Liquide (prekursora) firmy Exentec to system dystrybucji chemikaliów zaprojektowany w celu maksymalizacji wydajności i wydajności.

Sterowniki systemu dostarczania gazu

Dostępne opcje dla naszej rodziny kontrolerów zwiększają swoją specyfikę wraz ze zmieniającymi się potrzebami i wymaganiami użytkownika końcowego.

System dostarczania oparów

Vapor Delivery System firmy Exentec to chemiczny system dystrybucji oparów zaprojektowany w celu maksymalizacji wydajności i osiągów.

Niestandardowy pojemnik na gaz

Kompletne rozwiązania Exentec w kontenerze technicznym/bezpieczeństwa są idealne do zmiennych i elastycznych dostaw gazu.

Instalacje i połączenia maszynowe

Chętnie wesprzemy Cię jako kompetentny partner w zakresie instalacji i podłączeń maszyn produkcyjnych w Twoim zakładzie produkcyjnym lub badawczym.