System dostarczania oparów

System dostarczania oparów
Vapor Delivery System firmy Exentec to chemiczny system dystrybucji oparów zaprojektowany w celu maksymalizacji wydajności i osiągów
System dostarczania oparów Exentec to kompaktowe, samodzielne rozwiązanie do wydajnej i precyzyjnej dystrybucji oparów chemicznych. Obejmuje on zbiornik bąbelkowy ze stali nierdzewnej, opcjonalny zintegrowany agregat chłodniczy i sterownik systemu - a wszystko to na niewielkiej powierzchni. Przyłącza instalacji, gazu nośnego i procesowe mogą być konfigurowane z wielu stron w celu zapewnienia elastycznej instalacji.
Przegląd systemu:
- Gaz nośny przepływa przez ciekłą substancję chemiczną w zbiorniku za pomocą dyfuzora, zapewniając wysokie nasycenie parą.
- Aktywny liniowy czujnik poziomu utrzymuje zadany poziom cieczy
- Kontrola temperatury za pomocą sondy i opcjonalnego agregatu chłodniczego zapewnia stałe dostarczanie pary
Specyfikacja obudowy:
- Rozmiar: 16" W x 16" D x 74,25" H z 3" otworem wylotowym
- Wytrzymała stal o grubości 11 mm z powłoką odporną na korozję
- Spawana obudowa wewnętrzna zapewniająca izolację chemiczną
- Żaluzje i tylna przestrzeń dla skutecznego odprowadzania gazu
- Oddzielne strefy dla komponentów elektrycznych, chłodniczych i gazowych
- Funkcje bezpieczeństwa: Czujnik wydechu, tryskacz UL, czujnik pożarowy, uszczelnione drzwi
Dostępne opcje:
- Rozmiary bąbelków: 1, 5, 10 lub 20 litrów
- Zintegrowany agregat chłodniczy
- Opcje odzyskiwania: Ręczny lub zdalny spust, przewód odzyskiwania
- Pałąk gazu nośnego: Opcjonalny manometr/przekaźnik, obejście, zawór ESO
Zbiorniki bąbelkowe UHP firmy Exentec wspierają wysokowydajne dostarczanie oparów w półprzewodnikach, energii słonecznej i powiązanych zaawansowanych procesach produkcyjnych, takich jak ALD, PEALD, CVD i epitaksja.