Spektrum narzędzi Exentec do przygotowania powierzchni i stanowisk mokrych rozciąga się od zanurzania wsadowego po natryskiwanie lub stanowiska mokre do aplikacji pojedynczych wafli. Wszystkie stanowiska mokre można skonfigurować od ręcznych do w pełni zautomatyzowanych systemów wielozadaniowych.
Nasze stanowiska mokre są zaprojektowane z myślą o powtarzalności i objętości, z naciskiem na procesy z dwoma lub więcej zbiornikami do obróbki. Zbudowane zgodnie z aktualnymi standardami SEMI, nasze stacje do procesów mokrych są dostępne w konfiguracjach w pełni zautomatyzowanych, półautomatycznych i ręcznych.
- FEOL, BEOL, moduły opakowaniowe, moduły opakowaniowe Advance, powlekanie wzorów MEMS, osadzanie magnetyczne, elektrotrawienie i osadzanie bezelektrodowe.
- Czyszczenie, paski oporowe, trawienie, rozwijanie, usuwanie metalu, odzyskiwanie IPA i suszenie
- Możliwość zastosowania w aplikacjach kwasowych, zasadowych i rozpuszczalnikowych
- Pojedyncze lub wielokasetowe rozmiary wanien
- Wafle krzemowe od 100 mm do 450 mm, materiały III-V, fotomaski, szkło i duże kolektory
- Niestandardowe podłoża
Produkty Exentec do ławek mokrych
Produkty Exentec Wet Bench zostały zaprojektowane do przygotowywania powierzchni wafli krzemowych, wspierania etapów produkcji w pomieszczeniach czystych, wykonywania procesów trawienia i przywracania dużych elementów produkcyjnych do stanu wolnego od zanieczyszczeń:
Zautomatyzowane stanowisko do pracy na mokro Aeris
Zautomatyzowane stanowisko do pracy na mokro Aeris
Zautomatyzowane stanowisko Aeris® zostało zaprojektowane specjalnie z myślą o rygorystycznych wymaganiach związanych z badaniami i rozwojem półprzewodników, łącząc wysoką wydajność przetwarzania z elastycznością i bezpieczeństwem, których wymagają nowoczesne laboratoria.
منضدة CELERA® الرطبة اليدوية
منضدة CELERA® الرطبة اليدوية
Ręczne stanowiska mokre CELERA® zostały zaprojektowane z myślą o wysokowydajnym przetwarzaniu na mokro w skali laboratoryjnej, oferując modułowość i solidną konstrukcję inspirowaną w pełni zautomatyzowanymi systemami.
Moduły transferu i dozowania chemikaliów
Moduły transferu i dozowania chemikaliów
Nasze konfigurowalne moduły transferu i dozowania chemikaliów (CTDM) są zaprojektowane do dostarczania ultraczystych chemikaliów, precyzyjnego dozowania i bezpiecznej dystrybucji do narzędzi produkcyjnych - dzięki czemu idealnie nadają się do produkcji półprzewodników, środowisk czystych i innych zastosowań procesowych o wysokiej czystości.
Wyciągi oparów
Wyciągi oparów
Chroń swoje środowisko laboratoryjne dzięki wysokowydajnym okapom Exentec, zaprojektowanym do zastosowań laboratoryjnych, w których ochrona przed niebezpiecznymi oparami ma kluczowe znaczenie.