Exentec specjalizuje się w systemach chemicznych i gazowych o ultra wysokiej czystości dla przemysłu półprzewodników. Nasze portfolio obejmuje urządzenia do mieszania i dostarczania dla szerokiego zakresu zastosowań w wodnych chemikaliach i zawiesinach CMP.
Ponadto zapewniamy wymagane usługi wsparcia w terenie, sterowanie, integrację i wiedzę techniczną, aby spełnić rygorystyczne potrzeby w zakresie kontroli procesów półprzewodnikowych.
Nasze niezawodne systemy oferują:
- Zaawansowane, oparte na metrologii sterowanie procesem w pętli zamkniętej
- Zautomatyzowaną kontrolę jakości chemikaliów i zawiesin
- Elastyczne, skalowalne i precyzyjne systemy dostarczania i mieszania
- Zwiększoną kontrolę procesu poprzez kontrolę stężenia i ciśnienia mieszanki
- Płynna integracja z systemem SCADA z pełną obsługą I&C
- Optymalna przestrzeń
- Maksymalny czas sprawności
Systemy chemiczne o wysokiej czystości
Exentec oferuje sprzęt, usługi wsparcia w terenie i wiedzę techniczną, aby spełnić różne potrzeby w zakresie dostarczania płynów o wysokiej czystości, mieszania chemikaliów i najnowocześniejszych systemów zawiesin CMP do produkcji półprzewodników i innych zaawansowanych technologicznie branż.
Rozładunek chemikaliów
Zapewnienie ciągłego transferu chemikaliów z głównych zbiorników do produkcyjnych zbiorników dystrybucyjnych z redundancją systemu i/lub komponentów w celu maksymalizacji czasu sprawności produkcji.
Dystrybucja chemikaliów
Nasze systemy dystrybucji chemikaliów usprawniają procesy, optymalizują przestrzeń, minimalizują przestoje i wydłużają żywotność produktów, obniżając całkowity koszt posiadania.
Mieszanie w linii
Opatentowana przez Exentec technologia mieszania chemikaliów na żądanie w linii produkcyjnej i dostarczania rozwiązań chemicznych uwzględnia dynamiczne zmiany natężenia przepływu na żądanie przez użytkowników końcowych lub punkty użytkowania, przy jednoczesnym zachowaniu dokładności mieszania.
Generacja chemiczna
Dzięki zintegrowanej technologii wytwarzania chemikaliów NH4OHfirmy Exentec na miejscu, fabryki półprzewodników mogą znacznie obniżyć ogólne koszty dostaw chemikaliów, poprawić jakość, zwiększyć odporność na zakłócenia w łańcuchu dostaw i poprawić zrównoważony rozwój ekologiczny.
Mieszanie i dostarczanie zawiesiny CMP
Usunięcie kosztownych, pracochłonnych pomiarów offline i ręcznych regulacji procesu. Exentec z powodzeniem opracował wbudowaną technologię sterowania, która pozwala na sterowanie w pętli zamkniętej specyficznym dla klienta rozwiązaniem zawiesiny CMP do półprzewodników w operacjach mieszania i dystrybucji.
Pomieszczenie czyste
Doskonałe rozwiązania i kompleksowe usługi
Opracowujemy, produkujemy i utrzymujemy niezawodne produkty do pomieszczeń czystych i środowisk produkcyjnych dla ultra czystej kontrolowanej atmosfery.
Mini środowiska
Na rynku akumulatorów Exentec jest pionierem unikalnej modułowej koncepcji Mini Environment, łączącej redukcję energii i ulepszenia technologiczne.
Centrale wentylacyjne
Centrale wentylacyjne Exentec wyróżniają się energooszczędną konstrukcją. Nasz zespół badawczo-rozwojowy pracuje z najnowocześniejszym sprzętem i zawsze wnosi najnowszą wiedzę.
Krytyczne podsystemy i kontrolowane środowiska
Systemy dostarczania czystych mediów dla wrażliwych produktów
Dostawa chemikaliów
Systemy mieszania i dystrybucji chemikaliów i zawiesin o bardzo wysokiej czystości
Systemy mieszania i dystrybucji chemikaliów i zawiesin o bardzo wysokiej czystości
Ampułki i czujniki
Produkujemy czujniki poziomu cieczy, piroforyczne środki chemiczne oraz ampułki, cylindry i kanistry DOT 4B szeroko stosowane w przemyśle półprzewodnikowym, fotowoltaicznym i akumulatorowym.
Proces wydechowy
Wyznaczamy standardy branżowe w zakresie bezpiecznych i niezawodnych systemów odprowadzania oparów korozyjnych
Ograniczenie emisji gazu
Jesteśmy dostawcą wybieranym przez główne firmy półprzewodnikowe na całym świecie, dostarczając rozwiązania do redukcji gazów w punktach użycia (POU) dla narzędzi do osadzania, wytrawiania i dyfuzji.
Rozwiązania biofarmaceutyczne
Wspieramy wszystkie krytyczne etapy produkcji biofarmaceutycznej
Mokre ławki
Specjalizujemy się w projektowaniu systemów przygotowania powierzchni, w których wymagania aplikacji i wydajność sprzętu są idealnie dopasowane
Nasze narzędzia integrują sprzęt procesowy, zaawansowane oprogramowanie sterujące i zautomatyzowaną robotykę, aby dostarczać niestandardowe rozwiązania, od ręcznych pojedynczych stanowisk procesowych po w pełni zautomatyzowane systemy obsługi płytek. Możemy dostosować nośniki substratów i efektory końcowe, aby spełnić unikalne wymagania przetwarzania.
Obsługujemy szeroką gamę podłoży i materiałów:
- Wafle (100 mm - 300 mm)
- Materiały półprzewodnikowe III-V
- Fotomaski
- Mocowania szklane i kwarcowe
- Niestandardowe rozdzielacze i specjalne nośniki
Nasi inżynierowie mogą również zaprojektować niestandardowe efektory końcowe i nośniki substratów, aby spełnić określone potrzeby związane z procesem i obsługą.
- Czyszczenie, paski oporowe, trawienie, wywoływanie, usuwanie metalu, odzyskiwanie IPA i suszenie
- Możliwość zastosowania w aplikacjach kwasowych, zasadowych i rozpuszczalnikowych
- Pojedyncze lub wielokasetowe rozmiary wanien
- Konfigurowalny i skalowalny sprzęt procesowy.
Nasz zespół ma doświadczenie w szerokim zakresie zastosowań, w tym w FEOL, BEOL, Advanced Packaging, MEMS Pattern Plating, Magnetic Deposition, Electro-Etch i E-less Deposition. Dysponujemy również standardowymi układami kąpieli do procesów mokrych dla wielu zastosowań, takich jak:
- Trawienie na mokro - trawienie krzemu (KOH), trawienie azotków, buforowane trawienie tlenków, paski fotorezystu i trawienie złota/platyny.
- Metal Lift-Off - konfiguracje NMP i DMSO
- Wafer Clean - wsparcie dla kąpieli HF, Piranha, SC1, SC2
Nasze narzędzia procesowe można skonfigurować z pełną gamą systemów wsparcia w celu zwiększenia automatyzacji, bezpieczeństwa i zarządzania chemikaliami:
- Systemy obsługi chemikaliów
- Wózki na chemikalia do dozowania, usuwania i przechowywania
- Wbudowane karnistry do zbierania odpadów
- Stacje podnoszenia do neutralizacji odpadów
- Sprzęt do optymalizacji procesów
- Cyrkulatory z regulacją temperatury (WHRV)
- Ogrzewanie: do 5115 BTU/godz.
- Chłodzenie: do 2550 BTU/godz.
- Wanny recyrkulacyjne zapewniające stałą temperaturę i przepływ
- Zbiorniki kwarcowe zapewniające odporność chemiczną
- Płukarki Quick Dump (QDR)
- Tryby zanurzeniowy, kaskadowy i natryskowy
Nasze systemy przygotowania powierzchni są skalowalne i gotowe do integracji z pomieszczeniami czystymi, laboratoriami badawczo-rozwojowymi i wysokonakładowymi fabrykami. Niezależnie od tego, czy pracujesz ze standardowymi podłożami, czy unikalnymi materiałami, nasz zespół może dostarczyć gotową do procesu platformę dostosowaną do Twoich potrzeb.
Systemy szlamowe
Nasze narzędzia integrują sprzęt procesowy, zaawansowane oprogramowanie sterujące i zautomatyzowaną robotykę, aby dostarczać niestandardowe rozwiązania, od ręcznych pojedynczych stanowisk procesowych po w pełni zautomatyzowane systemy obsługi płytek. Możemy dostosować nośniki substratów i efektory końcowe, aby spełnić unikalne wymagania przetwarzania.
Obsługujemy szeroką gamę podłoży i materiałów:
- Wafle (100 mm - 300 mm)
- Materiały półprzewodnikowe III-V
- Fotomaski
- Mocowania szklane i kwarcowe
- Niestandardowe rozdzielacze i specjalne nośniki
Nasi inżynierowie mogą również zaprojektować niestandardowe efektory końcowe i nośniki substratów, aby spełnić określone potrzeby związane z procesem i obsługą.
- Czyszczenie, paski oporowe, trawienie, wywoływanie, usuwanie metalu, odzyskiwanie IPA i suszenie
- Możliwość zastosowania w aplikacjach kwasowych, zasadowych i rozpuszczalnikowych
- Pojedyncze lub wielokasetowe rozmiary wanien
- Konfigurowalny i skalowalny sprzęt procesowy.
Nasz zespół ma doświadczenie w szerokim zakresie zastosowań, w tym w FEOL, BEOL, Advanced Packaging, MEMS Pattern Plating, Magnetic Deposition, Electro-Etch i E-less Deposition. Dysponujemy również standardowymi układami kąpieli do procesów mokrych dla wielu zastosowań, takich jak:
- Trawienie na mokro - trawienie krzemu (KOH), trawienie azotków, buforowane trawienie tlenków, paski fotorezystu i trawienie złota/platyny.
- Metal Lift-Off - konfiguracje NMP i DMSO
- Wafer Clean - obsługa kąpieli HF, Piranha, SC1, SC2
Nasze narzędzia procesowe można skonfigurować z pełną gamą systemów wsparcia w celu zwiększenia automatyzacji, bezpieczeństwa i zarządzania chemikaliami:
- Systemy obsługi chemikaliów
- Wózki na chemikalia do dozowania, usuwania i przechowywania
- Wbudowane karnistry do zbierania odpadów
- Stacje podnoszenia do neutralizacji odpadów
- Sprzęt do optymalizacji procesów
- Cyrkulatory z regulacją temperatury (WHRV)
- Ogrzewanie: do 5115 BTU/godz.
- Chłodzenie: do 2550 BTU/godz.
- Wanny recyrkulacyjne zapewniające stałą temperaturę i przepływ
- Zbiorniki kwarcowe zapewniające odporność chemiczną
- Płukarki Quick Dump (QDR)
- Tryby zanurzeniowy, kaskadowy i natryskowy
Nasze systemy przygotowania powierzchni są skalowalne i gotowe do integracji z pomieszczeniami czystymi, laboratoriami badawczo-rozwojowymi i wysokonakładowymi fabrykami. Niezależnie od tego, czy pracujesz ze standardowymi podłożami, czy unikalnymi materiałami, nasz zespół może dostarczyć gotową do procesu platformę dostosowaną do Twoich potrzeb.