DRYOON®

DRYOON®

Mini Environments - Suche powietrze wyłącznie w miejscu użytkowania to klucz do sukcesu.

Wiedza specjalistyczna

Wiedza specjalistyczna

Sprawdzona wiedza Exentec i zrozumienie procesu produkcji baterii przyczyniają się do indywidualnego projektowania naszej modułowej koncepcji DRYOON®.

Pomieszczenie czyste

Doskonałe rozwiązania i kompleksowe usługi

Mini środowiska

Centrale wentylacyjne

Krytyczne podsystemy i kontrolowane środowiska

Dostawa gazu

Dostawa chemikaliów

Systemy mieszania i dystrybucji chemikaliów i zawiesin o bardzo wysokiej czystości

Ampułki i czujniki

Proces wydechowy

Exentec Gas Abatement Technology image - formerly Airgard

Ograniczenie emisji gazu

Rozwiązania biofarmaceutyczne

Mokre ławki

Specjalizujemy się w projektowaniu systemów przygotowania powierzchni, w których wymagania aplikacji i wydajność sprzętu są idealnie dopasowane

Nasze narzędzia integrują sprzęt procesowy, zaawansowane oprogramowanie sterujące i zautomatyzowaną robotykę, aby dostarczać niestandardowe rozwiązania, od ręcznych pojedynczych stanowisk procesowych po w pełni zautomatyzowane systemy obsługi płytek. Możemy dostosować nośniki substratów i efektory końcowe, aby spełnić unikalne wymagania przetwarzania.

Obsługujemy szeroką gamę podłoży i materiałów:

  • Wafle (100 mm - 300 mm)
  • Materiały półprzewodnikowe III-V
  • Fotomaski
  • Mocowania szklane i kwarcowe
  • Niestandardowe rozdzielacze i specjalne nośniki

Nasi inżynierowie mogą również zaprojektować niestandardowe efektory końcowe i nośniki substratów, aby spełnić określone potrzeby związane z procesem i obsługą.

  • Czyszczenie, paski oporowe, trawienie, wywoływanie, usuwanie metalu, odzyskiwanie IPA i suszenie
  • Możliwość zastosowania w aplikacjach kwasowych, zasadowych i rozpuszczalnikowych
  • Pojedyncze lub wielokasetowe rozmiary wanien
  • Konfigurowalny i skalowalny sprzęt procesowy.

Nasz zespół ma doświadczenie w szerokim zakresie zastosowań, w tym w FEOL, BEOL, Advanced Packaging, MEMS Pattern Plating, Magnetic Deposition, Electro-Etch i E-less Deposition. Dysponujemy również standardowymi układami kąpieli do procesów mokrych dla wielu zastosowań, takich jak:

  • Trawienie na mokro - trawienie krzemu (KOH), trawienie azotków, buforowane trawienie tlenków, paski fotorezystu i trawienie złota/platyny.
  • Metal Lift-Off - konfiguracje NMP i DMSO
  • Wafer Clean - wsparcie dla kąpieli HF, Piranha, SC1, SC2


Nasze narzędzia procesowe można skonfigurować z pełną gamą systemów wsparcia w celu zwiększenia automatyzacji, bezpieczeństwa i zarządzania chemikaliami:

  • Systemy obsługi chemikaliów
  • Wózki na chemikalia do dozowania, usuwania i przechowywania
  • Wbudowane karnistry do zbierania odpadów
  • Stacje podnoszenia do neutralizacji odpadów
  • Sprzęt do optymalizacji procesów
  • Cyrkulatory z regulacją temperatury (WHRV)
  • Ogrzewanie: do 5115 BTU/godz.
  • Chłodzenie: do 2550 BTU/godz.
  • Wanny recyrkulacyjne zapewniające stałą temperaturę i przepływ
  • Zbiorniki kwarcowe zapewniające odporność chemiczną
  • Płukarki Quick Dump (QDR)
  • Tryby zanurzeniowy, kaskadowy i natryskowy

Nasze systemy przygotowania powierzchni są skalowalne i gotowe do integracji z pomieszczeniami czystymi, laboratoriami badawczo-rozwojowymi i wysokonakładowymi fabrykami. Niezależnie od tego, czy pracujesz ze standardowymi podłożami, czy unikalnymi materiałami, nasz zespół może dostarczyć gotową do procesu platformę dostosowaną do Twoich potrzeb.

Systemy szlamowe

Nasze narzędzia integrują sprzęt procesowy, zaawansowane oprogramowanie sterujące i zautomatyzowaną robotykę, aby dostarczać niestandardowe rozwiązania, od ręcznych pojedynczych stanowisk procesowych po w pełni zautomatyzowane systemy obsługi płytek. Możemy dostosować nośniki substratów i efektory końcowe, aby spełnić unikalne wymagania przetwarzania.

Obsługujemy szeroką gamę podłoży i materiałów:

  • Wafle (100 mm - 300 mm)
  • Materiały półprzewodnikowe III-V
  • Fotomaski
  • Mocowania szklane i kwarcowe
  • Niestandardowe rozdzielacze i specjalne nośniki

Nasi inżynierowie mogą również zaprojektować niestandardowe efektory końcowe i nośniki substratów, aby spełnić określone potrzeby związane z procesem i obsługą.

  • Czyszczenie, paski oporowe, trawienie, wywoływanie, usuwanie metalu, odzyskiwanie IPA i suszenie
  • Możliwość zastosowania w aplikacjach kwasowych, zasadowych i rozpuszczalnikowych
  • Pojedyncze lub wielokasetowe rozmiary wanien
  • Konfigurowalny i skalowalny sprzęt procesowy.

Nasz zespół ma doświadczenie w szerokim zakresie zastosowań, w tym w FEOL, BEOL, Advanced Packaging, MEMS Pattern Plating, Magnetic Deposition, Electro-Etch i E-less Deposition. Dysponujemy również standardowymi układami kąpieli do procesów mokrych dla wielu zastosowań, takich jak:

  • Trawienie na mokro - trawienie krzemu (KOH), trawienie azotków, buforowane trawienie tlenków, paski fotorezystu i trawienie złota/platyny.
  • Metal Lift-Off - konfiguracje NMP i DMSO
  • Wafer Clean - obsługa kąpieli HF, Piranha, SC1, SC2


Nasze narzędzia procesowe można skonfigurować z pełną gamą systemów wsparcia w celu zwiększenia automatyzacji, bezpieczeństwa i zarządzania chemikaliami:

  • Systemy obsługi chemikaliów
  • Wózki na chemikalia do dozowania, usuwania i przechowywania
  • Wbudowane karnistry do zbierania odpadów
  • Stacje podnoszenia do neutralizacji odpadów
  • Sprzęt do optymalizacji procesów
  • Cyrkulatory z regulacją temperatury (WHRV)
  • Ogrzewanie: do 5115 BTU/godz.
  • Chłodzenie: do 2550 BTU/godz.
  • Wanny recyrkulacyjne zapewniające stałą temperaturę i przepływ
  • Zbiorniki kwarcowe zapewniające odporność chemiczną
  • Płukarki Quick Dump (QDR)
  • Tryby zanurzeniowy, kaskadowy i natryskowy

Nasze systemy przygotowania powierzchni są skalowalne i gotowe do integracji z pomieszczeniami czystymi, laboratoriami badawczo-rozwojowymi i wysokonakładowymi fabrykami. Niezależnie od tego, czy pracujesz ze standardowymi podłożami, czy unikalnymi materiałami, nasz zespół może dostarczyć gotową do procesu platformę dostosowaną do Twoich potrzeb.