Systemy slurry

Specjalizacja w precyzyjnym mieszaniu i kontroli przepływu

Nasza technologia opiera się na wiedzy dotyczącej precyzyjnego mieszania slurry oraz jego kontrolowanej dystrybucji. Systemy zapewniają powtarzalne mieszanki i utrzymują stabilne parametry przepływu do każdego punktu odbioru. W efekcie uzyskuje się przewidywalne właściwości materiałowe, mniejsze zużycie chemikaliów oraz większą dostępność narzędzi CMP.

Dzięki rozbudowanemu portfolio patentów i wieloletniemu doświadczeniu inżynieryjnemu Exentec tworzy rozwiązania dostosowane do złożoności współczesnych procesów CMP. Połączenie wiedzy procesowej, zaawansowanej automatyzacji i ciągłych inwestycji w badania pozwala budować systemy, które odpowiadają na obecne potrzeby i skalują się wraz z przyszłymi wymaganiami produkcyjnymi.

Zalety systemów slurry Exentec

• Skalowalne systemy z 1–8+ kanałami dozowania oraz zmiennymi szybkościami make‑up
• Stabilna kontrola ciśnienia z minimalnymi wahaniami podczas mieszania i dystrybucji
• Serwisowanie pojedynczych stacji bez zatrzymywania produkcji
• Intuicyjny interfejs z monitorowaniem w czasie rzeczywistym
• Płukanie i czyszczenie zbiorników bez przerywania pracy pętli procesowej