Mieszanie i dostarczanie zawiesiny CMP
Mieszanie i dostarczanie zawiesiny CMP
Usunięcie kosztownych, pracochłonnych metrologii offline i ręcznego dostosowywania procesów.
Fabryki półprzewodników mają coraz bardziej rygorystyczne górne i dolne limity kontrolne (UCL / LCL) dla wielu krytycznych parametrów procesu. Parametry te obejmują funkcje związane z określonym stężeniem i wiele innych związanych z mieszaniem i dystrybucją zawiesiny CMP o danym krytycznym działaniu chemicznym.
Aby to osiągnąć, poczyniono znaczne postępy w metrologii, różniące się pod względem obszarów i zasad; ale wiele z nich to obecnie tylko pomiary lub weryfikacje offline, które są wykorzystywane do spełnienia wymaganej precyzji i dokładności dla tych limitów kontrolnych.
Aby wyeliminować potrzebę stosowania przyrządów offline, Exentec stosuje sprawdzoną praktykę charakterystyki chemicznego polerowania mechanicznego, w której możliwe jest stosowanie różnych urządzeń metrologicznych lub ich kombinacji, aby uzyskać najlepszą w swojej klasie kontrolę opartą na metrologii in-line o najwyższym poziomie precyzji.
Exentec może wykorzystać ten koncert instrumentów do uzyskania wyników online w czasie rzeczywistym, które, jak udowodniono, spełniają lub przewyższają poziomy obserwowane w wielu metodach offline.
Zalety
- Większa dokładność mieszania i kontrola w czasie rzeczywistym
- Maksymalny czas sprawności
- W pełni zautomatyzowany system
- Niski koszt posiadania
- Elastyczny i przyjazny dla użytkownika interfejs HMI
- Redundancja systemu i/lub komponentów w celu maksymalizacji czasu sprawności produkcji
- Zautomatyzowane płukanie systemu
- Konstrukcja zapewniająca oszczędność miejsca
- Pełna konfiguracja i manipulacja mieszankami
Systemy chemiczne o wysokiej czystości
Oferujemy sprzęt, usługi wsparcia w terenie i wiedzę techniczną, aby sprostać różnym potrzebom w zakresie dostarczania płynów o wysokiej czystości, mieszania chemikaliów i najnowocześniejszych systemów zawiesin CMP do produkcji półprzewodników i innych zaawansowanych technologicznie branż.
Rozładunek chemikaliów
System transferu i rozładunku Exentec Titan™ automatycznie przenosi wodne substancje chemiczne z szafy rozładunkowej cysterny do głównych zbiorników dystrybucyjnych.
Dystrybucja chemikaliów
Exentec oferuje sprzęt, usługi wsparcia i wiedzę techniczną, aby spełnić potrzeby aplikacji w zakresie projektowania i produkcji systemów dystrybucji chemikaliów o wysokiej i niskiej czystości.
In-Line Blending
Opatentowana przez Exentec technologia mieszania chemikaliów na żądanie w linii produkcyjnej i dostarczania rozwiązań chemicznych może uwzględniać dynamiczne zmiany natężenia przepływu na żądanie przez użytkowników końcowych lub punkty użytkowania, przy jednoczesnym zachowaniu dokładności mieszania.
Generacja chemiczna
Technologia wytwarzania chemikaliów NH4OHfirmy Exentec na miejscu pomaga fabrykom półprzewodników znacznie obniżyć ogólne koszty dostaw chemikaliów, poprawić odporność i zwiększyć zrównoważony rozwój ekologiczny.