Exentec levert hoogzuivere gastoevoersystemen - van losse componenten tot kant-en-klare oplossingen - op maat gemaakt voor laboratoria en productieomgevingen. Opties variëren van volledig automatische tot handmatige gaskasten, met geïntegreerde veiligheid, bewaking en hoogzuivere distributie voor maximale betrouwbaarheid en naleving.
Dankzij onze eigen productiecapaciteiten kunnen we complexe systemen snel en flexibel produceren, zelfs onder cleanroomcondities. Bij de assemblage onder cleanroomcondities of de productie van op maat gemaakte apparatuur is onze expertise in lastechnologie, procesregeling & automatiseringstechnologie en testen & kwaliteitscontrole naadloos met elkaar verweven.
Bulkgassystemen met hoge zuiverheid
Exentec's hoogzuivere bulkgassystemen bieden kant-en-klare of gespecialiseerde oplossingen voor veilige, efficiënte gastoevoer in industrieën zoals de halfgeleiderproductie. Van controlesystemen voor pijpleidingen tot zuiveringsskids, systemen zijn volledig aanpasbaar voor diverse soorten gas - waarbij veiligheid, productiviteit en levenscycluswaarde worden gemaximaliseerd.
Systemen voor hoogzuiver gas
Exentec's High Purity Spec Gas Systems hebben een volledig geïntegreerde PLC/HMI besturing met toegang op afstand en geautomatiseerde drukregeling voor een nauwkeurige, ononderbroken gasstroom. Ze zijn ontworpen voor compacte kasten, verminderen handmatige interventie met 30%, minimaliseren drukschommelingen en verhogen de veiligheid door volledige automatisering.
Gaskasten
De gaskasten van Exentec bieden flexibele configuraties en 99,999% uptime, met zowel standaard- als maatwerkoplossingen op maat van specifieke toepassingen. Tot de opties behoren handmatige tot volledig geautomatiseerde bediening, 1-3 cilinderopstellingen en geïntegreerde spoel-/procespanelen - allemaal ontworpen voor veiligheid, betrouwbaarheid en eenvoudige bediening.
Gasmengsystemen
De gasmengsystemen van Exentec bieden nauwkeurige, geautomatiseerde gasmenging tot 250 slpm, met real-time monitoring en ±0,3% nauwkeurigheid. Uitgerust met PLC-bediening, ingebouwde analyser en veiligheidsfuncties in een compacte behuizing die voldoet aan SEMI-F14, garandeert het betrouwbare prestaties voor veeleisende toepassingen.
Ventielverdeelkasten
De Valve Manifold Box (VMB) van Exentec maakt een veilige, betrouwbare gasdistributie mogelijk met maximaal 8 sticks, met handmatige tot volledig automatische bediening en optionele N₂-spoeling en vacuüm voor onderhoud. VMB's zijn beschikbaar in paneel- of uitlaatkastontwerpen en bieden geavanceerde veiligheidsfuncties, dubbele isolatie en aanpasbare accessoires voor toepassingen met inert of gevaarlijk gas.
Klepspruitstukpanelen
Het team van Exentec voor de levering van hoogzuivere media levert innovatieve en betrouwbare gaspanelen die ondersteund worden door een uitgebreide productie- en installatie-ervaring. Paneelopties omvatten automatische, handmatige, modulaire en purgeerconfiguraties, zoals Auto-Crossover Panels die zorgen voor een ononderbroken gasstroom door automatisch van cilinder te wisselen wanneer er één leeg is.
Klepspruitstukpanelen
Het team van Exentec voor de levering van hoogzuivere media levert innovatieve en betrouwbare gaspanelen die ondersteund worden door een uitgebreide productie- en installatie-ervaring. Paneelopties omvatten automatische, handmatige, modulaire en purgeerconfiguraties, zoals Auto-Crossover Panels die zorgen voor een ononderbroken gasstroom door automatisch van cilinder te wisselen wanneer er één leeg is.
Liquide systemen voor precursortoediening
Exentec's Liquide (precursor) Delivery System is een chemisch distributiesysteem ontworpen om efficiëntie en prestaties te maximaliseren. Het stand-alone systeem bevat redundante panelen met auto-crossover mogelijkheid voor een verhoogde uptime > 99,9%. De kleine voetafdruk met grote procescapaciteit is ontworpen om vloeibare chemicaliën te distribueren via een duwgas.
Regelaars voor gastoevoersystemen
Exentec biedt een veelzijdige reeks van controllers voor gastoevoersystemen, aanpasbaar aan specifieke gastypes, purgeerroutines en besturingsplatformen. De opties omvatten handmatige tot volledig geautomatiseerde VMB controllers (4- of 8-stick) met PLC's van Allen-Bradley of Siemens, evenals aangepaste en direct vervangende modellen zoals de AVMB4S en AVMB8S voor upgrades van oudere systemen.
Dampafgiftesysteem
Het Exentec dampafgiftesysteem is een compacte, hoogzuivere oplossing voor precieze chemische dampdistributie in geavanceerde productietoepassingen. Met een roestvrijstalen bubbler, optionele koeler en slimme besturing in een duurzame behuizing, zorgt het voor een consistente dampstroom, flexibele integratie en verbeterde veiligheid voor processen zoals ALD, CVD en epitaxie.
Aangepaste gastoevoercontainer
Exentec's "Plug & Process" gasbevoorradingscontainers zijn modulaire, geprefabriceerde systemen ontworpen voor snelle, kosteneffectieve inzet van ultrazuivere gasinfrastructuur. Ze zijn volledig aanpasbaar en geautomatiseerd en zijn voorzien van geïntegreerde veiligheids-, ventilatie- en regelsystemen, die ruimtebesparende, schaalbare oplossingen bieden met deskundige ondersteuning op lange termijn.
Installaties en machineaansluitingen
Onze eigen CAD-afdeling ontwikkelt en ontwerpt onderdelen en we produceren ze op onze gespecialiseerde productielocaties. Onze experts verwerken roestvrijstalen buizen in een breed scala aan kwaliteiten met behulp van orbitaal of handmatig lasprocessen. We gebruiken verbindingstechnieken zoals:
- VCR-technologie
- Buisverbinding
- Flens technologie
- Persfittingsystemen
- Kunststofverwerking (lassen, lijmen)
Cleanroom
Superieure oplossingen en uitgebreide services
Wij ontwikkelen, produceren en onderhouden betrouwbare cleanroomproducten en productieomgevingen voor ultracleane gecontroleerde atmosferen.
Mini-omgevingen
Op de batterijmarkt pioniert Exentec met een uniek modulair Mini Environment-concept, dat energiebesparing en technologische verbeteringen integreert.
Luchtbehandelingsunits
Luchtbehandelingsunits van Exentec onderscheiden zich door hun energie-efficiënte ontwerp. Ons onderzoeks- en ontwikkelingsteam werkt met ultramoderne apparatuur en brengt altijd de nieuwste kennis in.
Kritieke subsystemen en gecontroleerde omgevingen
Systemen voor de toevoer van zuivere media voor gevoelige producten
Chemische levering
Meng- en distributiesystemen voor ultrazuivere chemicaliën en slurry
Meng- en distributiesystemen voor ultrazuivere chemicaliën en slurry
Ampullen & Sensoren
We produceren vloeistofniveausensoren, manipulatie van pyrofore chemicaliën en DOT 4B ampullen, cilinders en bussen die veel worden gebruikt in de halfgeleider-, fotovoltaïsche en batterij-industrie.
Proces Uitlaat
Wij stellen de industrienorm voor veilige en betrouwbare afvoersystemen voor corrosieve dampen