Expertise in menging en flowbeheer
Centraal in onze technologie staat onze kennis van het nauwkeurig mengen van slurry en het gecontroleerd verdelen ervan. De systemen leveren reproduceerbare slurry‑mengsels en behouden stabiele flow‑eigenschappen naar elk gebruikspunt. Hierdoor blijven materiaaleigenschappen consistent, wordt verspilling beperkt en neemt de beschikbaarheid van CMP‑tools toe.
Met een uitgebreid patentportfolio en tientallen jaren technische ervaring biedt Exentec systemen die aansluiten op de complexiteit van moderne CMP‑processen. Door proceskennis, geavanceerde automatisering en voortdurende R&D‑inspanningen ontwikkelen we oplossingen die geschikt zijn voor de eisen van vandaag én schaalbaar zijn voor toekomstige behoeften.
Voordelen van Exentec slurry‑systemen
- Schaalbare systemen met 1 tot 8+ doseerkanalen en variabele make‑uprates
- Stabiele drukregeling met minimale fluctuaties tijdens mengen en distributie
- Onderhoud mogelijk zonder procesonderbreking
- Gebruiksvriendelijke interface met realtime monitoring
- Spoelen en reinigen van tanks zonder de procesloop te verstoren
MEGA® — Slurry‑systemen van Exentec
De MEGA®‑serie wordt breed ingezet in technisch veeleisende sectoren en omvat:
- MEGA® mengsystemen
MEGA® communicatie‑ en regelsystemen
MEGA® distributiesystemen
MEGA® filtratiesystemen
MEGA® meetsystemen
MEGA® multifunctionele systemen
MEGA® transfersystemen
MEGA Mengsystemen
MEGA Mengsystemen
De MEGA®-mengsystemen zijn ontworpen voor totale betrouwbaarheid en herhaalbaarheid en bieden geautomatiseerde besturing, intelligente bewaking en aanpasbare tankcapaciteiten.
MEGA® communicatie- en besturingssystemen
MEGA® communicatie- en besturingssystemen
MegaLink 2 is ontworpen voor zowel standalone als SCADA-geïntegreerde omgevingen en maakt nauwkeurige bewaking en besturing van distributieprocessen op fabrieksniveau mogelijk.
MEGA® Distributiesystemen
MEGA® Distributiesystemen
MEGA® distributiesystemen zijn geavanceerde, schaalbare oplossingen voor gemengde slurrylevering in halfgeleider- en CMP-toepassingen.
MEGA Mengsystemen
MEGA Mengsystemen
De MEGA®-mengsystemen zijn ontworpen voor totale betrouwbaarheid en herhaalbaarheid en bieden geautomatiseerde besturing, intelligente bewaking en aanpasbare tankcapaciteiten.