
Expertise in menging en flowbeheer
Centraal in onze technologie staat onze kennis van het nauwkeurig mengen van slurry en het gecontroleerd verdelen ervan. De systemen leveren reproduceerbare slurry‑mengsels en behouden stabiele flow‑eigenschappen naar elk gebruikspunt. Hierdoor blijven materiaaleigenschappen consistent, wordt verspilling beperkt en neemt de beschikbaarheid van CMP‑tools toe.
Met een uitgebreid patentportfolio en tientallen jaren technische ervaring biedt Exentec systemen die aansluiten op de complexiteit van moderne CMP‑processen. Door proceskennis, geavanceerde automatisering en voortdurende R&D‑inspanningen ontwikkelen we oplossingen die geschikt zijn voor de eisen van vandaag én schaalbaar zijn voor toekomstige behoeften.
Voordelen van Exentec slurry‑systemen
- Schaalbare systemen met 1 tot 8+ doseerkanalen en variabele make‑uprates
- Stabiele drukregeling met minimale fluctuaties tijdens mengen en distributie
- Onderhoud mogelijk zonder procesonderbreking
- Gebruiksvriendelijke interface met realtime monitoring
- Spoelen en reinigen van tanks zonder de procesloop te verstoren

MEGA® — Slurry‑systemen van Exentec
De MEGA®‑serie wordt breed ingezet in technisch veeleisende sectoren en omvat:
- MEGA® mengsystemen
MEGA® communicatie‑ en regelsystemen
MEGA® distributiesystemen
MEGA® filtratiesystemen
MEGA® meetsystemen
MEGA® multifunctionele systemen
MEGA® transfersystemen


