Het spectrum van Exentec gereedschap voor oppervlaktebereiding en natte werkbanken varieert van batch dompel- tot spray- of single-wafer applicatie natte werkbanken. Alle werkbanken kunnen geconfigureerd worden van manuele tot volledig geautomatiseerde multitasking systemen.
Onze werkbanken zijn ontworpen voor herhaalbaarheid en volume, met de nadruk op processen met twee of meer verwerkingstanks. Onze natte processtations zijn gebouwd volgens de huidige SEMI-normen en zijn beschikbaar in volledig geautomatiseerde, semi-geautomatiseerde en handmatige configuraties.
- FEOL, BEOL, verpakkingsmodules, geavanceerde verpakkingsmodules, MEMS patroonplateren, magnetische depositie, elektro-etsen en e-loze depositie
- Reinigen, weerstandstrips, etsen, ontwikkelen, metaal verwijderen, IPA-herstel en drogen
- Bruikbaar voor zuur-, base- en solventtoepassingen
- Badafmetingen met één of meerdere cassettes
- Silicium wafers van 100 mm tot 450 mm, III-V materialen, fotomaskers, glas en grote spruitstukken
- Aangepaste substraten
Wet Bench producten van Exentec
De Wet Bench producten van Exentec zijn ontworpen om oppervlakken van silicium wafers voor te bereiden, cleanroom productiestappen te ondersteunen, etsprocessen uit te voeren en grote fabricagecomponenten terug te brengen in een contaminatievrije toestand:
Aeris® geautomatiseerde natte bank
Aeris® geautomatiseerde natte bank
De Aeris® geautomatiseerde wet bench is speciaal ontworpen voor de strenge eisen van halfgeleideronderzoek en -ontwikkeling en combineert hoogwaardige verwerking met de flexibiliteit en veiligheid die moderne laboratoria vereisen.
منضدة CELERA® الرطبة اليدوية
منضدة CELERA® الرطبة اليدوية
CELERA® handmatige natte werktafels zijn ontworpen voor hoogwaardige natte verwerking op laboratoriumschaal en bieden modulariteit en een robuust ontwerp geïnspireerd op volledig geautomatiseerde systemen.
Modules voor chemische overdracht en afgifte
Modules voor chemische overdracht en afgifte
Onze configureerbare Chemical Transfer and Dispense Modules (CTDM) zijn ontworpen voor ultrazuivere chemische toediening, precisiedosering en veilige distributie naar productiemiddelen, waardoor ze ideaal zijn voor halfgeleiderfabricage, cleanroomomgevingen en andere hoogzuivere procestoepassingen.
Zuurkasten
Zuurkasten
Bescherm uw laboratoriumomgeving met de hoogwaardige zuurkasten van Exentec, die zijn ontworpen voor laboratoriumtoepassingen waarbij de insluiting van gevaarlijke dampen van cruciaal belang is.