Exentec is gespecialiseerd in ultrazuivere chemische en gassystemen voor de halfgeleiderindustrie. Ons portfolio omvat meng- en leveringsapparatuur voor een breed scala aan toepassingen in waterige chemicaliën en CMP-slurries.
Daarnaast leveren we de vereiste veldondersteuningsdiensten, besturing, integratie en technische expertise om te voldoen aan de strenge eisen voor procesbesturing in de halfgeleiderindustrie.
Onze betrouwbare systemen bieden:
- Geavanceerde metrologiegestuurde procesbesturing met gesloten regelkring
- Geautomatiseerde kwaliteitscontrole van chemicaliën en slurry
- Flexibele, schaalbare en nauwkeurige toeleverings- en mengsystemen
- Verbeterde procesregeling via mengselconcentratie en drukregeling
- Naadloze integratie in SCADA met volledige I&C-ondersteuning
- Optimaal vloeroppervlak
- Maximale uptime
Hoogzuivere chemische systemen
Exentec biedt apparatuur, veldondersteuning en technische expertise om te voldoen aan verschillende toepassingsbehoeften van hoogzuivere vloeistoftoevoer, chemische menging en ultramoderne CMP-slurrysystemen voor halfgeleiderfabricage en andere hightech industrieën.
Chemische ontlading
Zorgen voor een continue overdracht van chemicaliën van de hoofdtanks naar de productiedistributietanks met systeem- en/of componentredundantie om de productie-uptime te maximaliseren.
Chemische distributie
Onze chemische distributiesystemen verbeteren processen, optimaliseren het vloeroppervlak, minimaliseren stilstand en verlengen de levensduur van producten, waardoor de totale eigendomskosten dalen.
In-line mengen
Exentec's gepatenteerde on-demand in-line technologie voor het mengen en leveren van chemische oplossingen houdt rekening met on-demand dynamische veranderingen in debieten door eindgebruikers of gebruikspunten, terwijl de nauwkeurigheid van het mengsel behouden blijft.
Chemische generatie
Met Exentec's geïntegreerde NH4OHon-site chemicaliëngeneratietechnologie kunnen halfgeleiderfabrieken hun totale kosten voor chemicaliënvoorziening aanzienlijk verlagen, de kwaliteit verhogen, de veerkracht tegen onderbrekingen in de toeleveringsketen versterken en de ecologische duurzaamheid verbeteren.
CMP mengmest mengen en leveren
Afschaffing van dure arbeidsintensieve offline meettechnieken en handmatige procesaanpassingen. Exentec heeft met succes onboard besturingstechnologie ontwikkeld die closed-loop besturing mogelijk maakt van een klantspecifieke halfgeleider CMP slurry oplossing in meng- en distributieprocessen.
Cleanroom
Superieure oplossingen en uitgebreide services
Wij ontwikkelen, produceren en onderhouden betrouwbare cleanroomproducten en productieomgevingen voor ultracleane gecontroleerde atmosferen.
Mini-omgevingen
Op de batterijmarkt pioniert Exentec met een uniek modulair Mini Environment-concept, dat energiebesparing en technologische verbeteringen integreert.
Luchtbehandelingsunits
Luchtbehandelingsunits van Exentec onderscheiden zich door hun energie-efficiënte ontwerp. Ons onderzoeks- en ontwikkelingsteam werkt met ultramoderne apparatuur en brengt altijd de nieuwste kennis in.
Kritieke subsystemen en gecontroleerde omgevingen
Systemen voor de toevoer van zuivere media voor gevoelige producten
Chemische levering
Meng- en distributiesystemen voor ultrazuivere chemicaliën en slurries
Meng- en distributiesystemen voor ultrazuivere chemicaliën en slurries
Ampullen en sensoren
We produceren vloeistofniveausensoren, manipulatie van pyrofore chemicaliën en DOT 4B ampullen, cilinders en bussen die veel worden gebruikt in de halfgeleider-, fotovoltaïsche en batterij-industrie.
Proces Uitlaat
Wij stellen de industrienorm voor veilige en betrouwbare afvoersystemen voor corrosieve dampen
Gasvermindering
We zijn de voorkeursleverancier van grote halfgeleiderbedrijven over de hele wereld en leveren Point-of-Use (POU) gasreductieoplossingen voor depositie-, ets- en diffusieprocessen.
Biofarmaceutische oplossingen
We ondersteunen alle cruciale stappen van de biofarmaceutische productie
Natte banken
Wij zijn gespecialiseerd in het ontwerpen van oppervlaktevoorbereidingssystemen waarbij de toepassingseisen en de prestaties van de apparatuur naadloos op elkaar aansluiten.
Onze tools integreren proceshardware, geavanceerde besturingssoftware en geautomatiseerde robotica om oplossingen op maat te leveren, van handmatige werktafels voor enkelvoudige processen tot volledig geautomatiseerde waferhandlingsystemen. We kunnen substraatdragers en eindeffectoren aanpassen aan unieke verwerkingsvereisten.
We ondersteunen een breed scala aan substraten en materialen:
- Wafers (100mm - 300mm)
- III-V halfgeleidermaterialen
- Fotomask
- Glazen en kwartsinrichtingen
- Aangepaste verdeelstukken en speciale dragers
Onze ingenieurs kunnen ook aangepaste eindeffectors en substraatdragers ontwerpen om te voldoen aan uw specifieke proces- en behandelingsbehoeften.
- Reinigen, weerstandstrips, etsen, ontwikkelen, metaal verwijderen, IPA-herstel en drogen
- Bruikbaar voor zuur-, base- en solventtoepassingen
- Badafmetingen voor één of meerdere cassettes
- Configureerbare en schaalbare procesapparatuur.
Ons team heeft ervaring met een breed scala aan toepassingen, waaronder FEOL, BEOL, Advanced Packaging, MEMS Pattern Plating, Magnetic Deposition, Electro-Etch en E-less Deposition. We hebben ook standaard badindelingen voor natte processen beschikbaar voor vele toepassingen, zoals:
- Nat etsen - Silicium (KOH) etsen, nitride etsen, gebufferde oxide etsen, fotoresistestrook en goud/platina etsen.
- Metaal verwijderen - NMP- en DMSO-configuraties
- Wafer clean - Ondersteuning voor HF-, Piranha-, SC1- en SC2-baden.
Onze procesgereedschappen kunnen worden geconfigureerd met een complete reeks ondersteuningssystemen om automatisering, veiligheid en chemicaliënbeheer te verbeteren:
- Systemen voor chemische verwerking
- Chemicaliënkarren voor afgifte, verwijdering en opslag
- Flessen aan boord voor afvalverzameling
- Liftstations voor afvalneutralisatie
- Hardware voor procesoptimalisatie
- Temperatuurgeregelde circulatiepompen (WHRV)
- Verwarming: tot 5115 BTU/uur
- Koeling: tot 2550 BTU/uur
- Recirculatiebaden voor consistente temperatuur en debiet
- Kwartsbaden voor chemische weerstand
- Snelkiepspoelers (QDR)
- Modi voor onderdompeling, cascade en sproeien
Onze oppervlaktevoorbereidingssystemen zijn schaalbaar en klaar voor integratie in cleanrooms, R&D labs en hoog-volume fabs. Of u nu werkt met standaardsubstraten of unieke materialen, ons team kan een procesklaar platform leveren dat is afgestemd op uw behoeften.
Mengmestsystemen
Onze tools integreren proceshardware, geavanceerde besturingssoftware en geautomatiseerde robotica om oplossingen op maat te leveren, van handmatige werktafels voor enkelvoudige processen tot volledig geautomatiseerde waferhandlingsystemen. We kunnen substraatdragers en eindeffectoren aanpassen aan unieke verwerkingsvereisten.
We ondersteunen een breed scala aan substraten en materialen:
- Wafers (100mm - 300mm)
- III-V halfgeleidermaterialen
- Fotomask
- Glazen en kwartsinrichtingen
- Aangepaste verdeelstukken en speciale dragers
Onze ingenieurs kunnen ook aangepaste eindeffectors en substraatdragers ontwerpen om te voldoen aan uw specifieke proces- en behandelingsbehoeften.
- Reinigen, strippen van resistieve materialen, etsen, ontwikkelen, metaal verwijderen, IPA-herstel en drogen
- Bruikbaar voor zuur-, base- en solventtoepassingen
- Badafmetingen voor één of meerdere cassettes
- Configureerbare en schaalbare procesapparatuur.
Ons team heeft ervaring met een breed scala aan toepassingen, waaronder FEOL, BEOL, Advanced Packaging, MEMS Pattern Plating, Magnetic Deposition, Electro-Etch en E-less Deposition. We hebben ook standaard badindelingen voor natte processen beschikbaar voor vele toepassingen, zoals:
- Nat etsen - Silicium (KOH) etsen, nitride etsen, gebufferde oxide etsen, fotoresistestrook en goud/platina etsen.
- Metaal verwijderen - NMP- en DMSO-configuraties
- Wafer clean - Ondersteuning voor HF-, Piranha-, SC1- en SC2-baden
Onze procesgereedschappen kunnen worden geconfigureerd met een complete reeks ondersteuningssystemen om automatisering, veiligheid en chemicaliënbeheer te verbeteren:
- Systemen voor chemische verwerking
- Chemicaliënkarren voor afgifte, verwijdering en opslag
- Flessen aan boord voor afvalverzameling
- Liftstations voor afvalneutralisatie
- Hardware voor procesoptimalisatie
- Temperatuurgeregelde circulatiepompen (WHRV)
- Verwarming: tot 5115 BTU/uur
- Koeling: tot 2550 BTU/uur
- Recirculatiebaden voor consistente temperatuur en debiet
- Kwartsbaden voor chemische weerstand
- Snelkiepspoelers (QDR)
- Modi voor onderdompeling, cascade en sproeien
Onze oppervlaktevoorbereidingssystemen zijn schaalbaar en klaar voor integratie in cleanrooms, R&D labs en hoog-volume fabs. Of u nu werkt met standaardsubstraten of unieke materialen, ons team kan een procesklaar platform leveren dat is afgestemd op uw behoeften.