CMP mengmest mengen en leveren
CMP mengmest mengen en leveren
Afschaffing van dure arbeidsintensieve offline metrologieën en handmatige procesaanpassingen
Halfgeleiderfabrieken hebben steeds strakkere boven- en ondergrenzen (UCL / LCL) voor een aantal kritische procesparameters. Deze parameters zijn onder andere concentratiespecifieke gerelateerde functies en vele andere die verband houden met het mengen en distribueren van CMP-slurry van een bepaalde kritische chemische actie.
Om dit te bereiken is er grote vooruitgang geboekt op het gebied van metrologie, variërend in gebieden en principes; maar tegenwoordig zijn veel van deze metingen slechts offline metingen of verificaties, die worden gebruikt om te voldoen aan de vereiste precisie en nauwkeurigheid voor deze controlegrenzen.
Om de noodzaak voor offline instrumenten te elimineren, heeft Exentec een bewezen praktijk van chemische mechanische polijstkarakterisering, waarbij het mogelijk is om verschillende meetapparaten, of combinaties van deze apparaten, te gebruiken om de beste in-line metrologie aangedreven controle met het hoogste precisieniveau te bereiken.
Exentec kan deze combinatie van instrumenten gebruiken om real-time online resultaten te bereiken, waarvan bewezen is dat ze de niveaus van vele offline methodes evenaren of overtreffen.
Voordelen
- Hogere mengnauwkeurigheid en real-time controle
- Maximale uptime
- Volledig geautomatiseerd systeem
- Lage eigendomskosten
- Flexibele en gebruiksvriendelijke HMI
- Systeem- en/of componentredundantie voor maximale productie-uptime
- Automatisch spoelen van het systeem
- Ruimtebesparende ontwerpen
- Volledige mengselconfiguratie en -manipulatie
Hoogzuivere chemische systemen
We bieden apparatuur, veldondersteuningsservice en technische expertise om te voldoen aan verschillende toepassingsbehoeften van zeer zuivere vloeistoftoevoer, chemische menging en ultramoderne CMP-slurrysystemen voor de productie van halfgeleiders en andere hightechindustrieën.
Chemische ontlading
Het Exentec Titan™ transfer- en aflaadsysteem transporteert automatisch een waterige chemische stof van de aflaadkast van de tankwagen naar de hoofddistributietanks.
Chemische distributie
Exentec biedt apparatuur, ondersteunende service en technische expertise om te voldoen aan de toepassingsbehoeften bij het ontwerpen en produceren van distributie systemen voor chemicaliën met hoge en lage zuiverheid.
In-line mengen
Exentec's gepatenteerde on-demand in-line technologie voor het mengen van chemicaliën en het leveren van chemische oplossingen kan on-demand dynamische veranderingen in debiet door eindgebruikers of gebruikspunten verwerken, terwijl de nauwkeurigheid van het mengsel behouden blijft.
Chemische generatie
Exentec's NH4OHon-site chemicaliëngeneratietechnologie helpt halfgeleiderfabrieken om hun totale kosten voor chemicaliënvoorziening aanzienlijk te verlagen, de veerkracht te verbeteren en ecologische duurzaamheid te verhogen.