Dampafgiftesysteem

Het Exentec Vapor Delivery System is een distributiesysteem voor chemische dampen dat is ontworpen om de efficiëntie en prestaties te maximaliseren.

Het Exentec dampafgiftesysteem is een compacte, autonome oplossing voor efficiënte en precieze chemische dampdistributie. Het omvat een roestvrijstalen borrelvat, een optionele geïntegreerde koeler en een systeemcontroller - alles op een klein oppervlak. De aansluitingen voor faciliteit, transportgas en proces kunnen aan meerdere zijden worden geconfigureerd voor een flexibele installatie.

Systeemoverzicht:

Draaggas borrelt door vloeibare chemicaliën in het vat met behulp van een sparge diffuser voor hoge dampverzadiging
Actieve lineaire niveausensor handhaaft het ingestelde vloeistofniveau
Temperatuurregeling via sonde en optionele koeler zorgt voor consistente damptoevoer

Specificaties behuizing:

Afmetingen: 16" B x 16" D x 74,25" H met 3" uitlaat
Duurzaam 11-gauge staal met corrosiebestendige coating
Gelaste binnenbehuizing voor chemische insluiting
Lamellen en achterste plenum voor effectieve gasafvoer
Aparte zones voor elektrische, koeler- en gascomponenten
Veiligheidsfuncties: Uitlaatgassensor, UL-sprinkler, stijgvluchtsensor, deuren met pakkingen

Beschikbare opties:

Maat Bubbler: 1, 5, 10 of 20 liter
Geïntegreerde koeling
Terugwinningsopties: Handmatige of externe afvoer, terugvoerleiding
Draaggas stick: Optionele manometer/transmitter, bypass, ESO-ventiel

De UHP-bubblervaten van Exentec ondersteunen hoge-prestatie damplevering in halfgeleider-, zonne-energie- en verwante geavanceerde productieprocessen zoals ALD, PEALD, CVD en epitaxy.

Bulkgassystemen met hoge zuiverheid

Wij bieden onze klanten een betrouwbare bron van hoogwaardige apparatuur voor gassystemen en een breed scala aan producten en diensten.

Systemen voor hoogzuiver gas

We maken gebruik van onze bouwcapaciteit en programmeerexpertise om baanbrekende spec gasleveringssystemen te ontwikkelen.

Gaskasten

Een breed scala aan kasten, regelaars en panelen kan worden geconfigureerd tot een systeem dat aan uw behoeften voldoet.

Gasmengsystemen

De Exentec Gas Blender is een gasmengsysteem met gesloten regelkring, gecombineerd met een ingebouwde analyser.

Ventielverdeelkasten

De Exentec Valve Manifold Box (VMB) biedt veilige en betrouwbare distributiepunten voor een gassysteem.

Klepspruitstukpanelen

Het team van Exentec voor de levering van hoogzuivere media heeft uitgebreide ervaring met de productie en installatie van hoogzuivere gaspanelen en apparatuur.

Speciale bulkgassystemen

Het BSGS (Bulk Specialty Gas System) is een geavanceerd distributiesysteem dat is ontworpen voor een veilige, automatische levering van speciale gassen in bulk.

Liquide systemen voor precursortoediening

Exentec's Liquide (precursor) Delivery System is een chemisch distributiesysteem ontworpen om efficiëntie en prestaties te maximaliseren.

Regelaars voor gastoevoersystemen

De beschikbare opties voor onze reeks controllers worden steeds specifieker naarmate de behoeften en eisen van de eindgebruiker veranderen.

Dampafgiftesysteem

Exentec's Vapor Delivery System is een chemisch dampdistributiesysteem ontworpen om efficiëntie en prestaties te maximaliseren.

Aangepaste gastoevoercontainer

Exentecs complete oplossingen in de technische/veiligheidscontainer zijn ideaal voor een variabele en flexibele gastoevoer.

Installaties en machineaansluitingen

We ondersteunen u graag als competente partner voor installaties en aansluitingen van productiemachines op uw productie- of onderzoekslocatie.