Dampafgiftesysteem

Dampafgiftesysteem
Het Exentec Vapor Delivery System is een distributiesysteem voor chemische dampen dat is ontworpen om de efficiëntie en prestaties te maximaliseren.
Het Exentec dampafgiftesysteem is een compacte, autonome oplossing voor efficiënte en precieze chemische dampdistributie. Het omvat een roestvrijstalen borrelvat, een optionele geïntegreerde koeler en een systeemcontroller - alles op een klein oppervlak. De aansluitingen voor faciliteit, transportgas en proces kunnen aan meerdere zijden worden geconfigureerd voor een flexibele installatie.
Systeemoverzicht:
- Draaggas borrelt door vloeibare chemicaliën in het vat met behulp van een sparge diffuser voor hoge dampverzadiging
- Actieve lineaire niveausensor handhaaft het ingestelde vloeistofniveau
- Temperatuurregeling via sonde en optionele koeler zorgt voor consistente damptoevoer
Specificaties behuizing:
- Afmetingen: 16" B x 16" D x 74,25" H met 3" uitlaat
- Duurzaam 11-gauge staal met corrosiebestendige coating
- Gelaste binnenbehuizing voor chemische insluiting
- Lamellen en achterste plenum voor effectieve gasafvoer
- Aparte zones voor elektrische, koeler- en gascomponenten
- Veiligheidsfuncties: Uitlaatgassensor, UL-sprinkler, stijgvluchtsensor, deuren met pakkingen
Beschikbare opties:
- Maat Bubbler: 1, 5, 10 of 20 liter
- Geïntegreerde koeling
- Terugwinningsopties: Handmatige of externe afvoer, terugvoerleiding
- Draaggas stick: Optionele manometer/transmitter, bypass, ESO-ventiel
De UHP-bubblervaten van Exentec ondersteunen hoge-prestatie damplevering in halfgeleider-, zonne-energie- en verwante geavanceerde productieprocessen zoals ALD, PEALD, CVD en epitaxy.