Exentec er den foretrukne leverandør til store halvledervirksomheder over hele verden og leverer Point-of-Use (POU) gasreduktionsløsninger til deponerings-, æts- og diffusionsprocesværktøjer.
Vores systemer er nogle af de mest effektive og pålidelige Epi-skrubbere, der findes. Vi kombinerer indløbsenhedsteknologi med en PLC-baseret kontrolboks og et automatiseret gasindløbsstempel for at producere et Epi-reduktionssystem med lav vedligeholdelse. Denne ydeevne resulterer i højere oppetid, større processtabilitet og øget sikkerhed. Vores systemer kombinerer 2 sprøjtekamre og en pakket kolonne for at producere nogle af de højeste effektiviteter i branchen.
Encompass
Dette branchens første Wet-Burn-Wet-rensningssystemkombinerer to vådrensningsteknologier (Wet + Burn/Wet) i en enkelt platform, hvilket giver mulighed for effektiv fjernelse af vandopløselige gasser før brænderen.
Cyklon
Exentecs Cyclone-vådrensningssystem er vores flagskibsmodel, som indeholder alle de avancerede funktioner, der understøtter nul systemrelateret nedetid for procesværktøjet.
Cyklon XL
Vores nyeste højeffektive vådrensningssystem med høj kapacitet, Cyclone XL, har en dyse med groft sprøjt og højt flow, der dækker det første skrubbekammer og fjerner urenheder. Den strategiske placering øger effektiviteten, minimerer vandforbruget og eliminerer skum.
Renrum
Overlegne løsninger og omfattende tjenester
Vi udvikler, producerer og vedligeholder pålidelige renrumsprodukter og produktionsmiljøer til ultrarene, kontrollerede atmosfærer.
Mini-miljøer
På batterimarkedet er Exentec pioner inden for et unikt modulært minimiljøkoncept, der integrerer energireduktion og teknologiske forbedringer.
Luftbehandlingsenheder
Luftbehandlingsenheder fra Exentec er kendetegnet ved et energieffektivt design. Vores forsknings- og udviklingsteam arbejder med topmoderne udstyr og bidrager altid med den nyeste viden.
Kritiske undersystemer og kontrollerede miljøer
Systemer til forsyning af rene medier til følsomme produkter
Kemisk forsyning
Blandings- og distributionssystemer til kemikalier og gylle med ultrahøj renhed
Blandings- og distributionssystemer til kemikalier og gylle med ultrahøj renhed
Ampuller og sensorer
Vi fremstiller væskeniveausensorer, håndtering af pyrofore kemikalier og DOT 4B-ampuller, -cylindre og -beholdere, som er meget udbredt i halvleder-, solcelle- og batteriindustrien.
Procesudstødning
Vi sætter industristandarden for sikre og pålidelige udsugningssystemer til ætsende dampe