Cyclone er Exentecs førende vådrensningssystem og indeholder alle de avancerede funktioner, der gør det muligt for Exentec at hævde, at der ikke er nogen systemrelateret nedetid for procesværktøjet.

Fordelagtige funktioner

• Eduktorkegle: Holder udstødningsledningen ved et let negativt tryk (et nominelt træk på 1-2 tommer vand)
• Enheder til gasindtag: Specialiserede gasindløbsenheder minimerer begrænsningshastigheden, og automatisk gasindløbsstempel fjerner begrænsninger uden procesafbrydelser
• Pakket søjle: Den sidste finpudsning. Pakning kræver ingen vedligeholdelse eller udskiftning
• Andet skrubbekammer: Fem fine sprays og højhastighedsdyser sikrer effektiv fjernelse af urenheder
• Første skrubbekammer: Grov spray, dyse med høj gennemstrømning belægger kammeret og fjerner større urenheder
• Tilførsel af ferskvand: Strategisk placering øger effektiviteten, minimerer vandforbruget og eliminerer skum
• Pumpe: Korrosionsbestandig, høj ydelse og lang levetid. Recirkulerer 25GPM
• Kummens geometri: Unikke placeringer af pumpeindgang, afløb og ferskvandsindgang forhindrer skumdannelse og sedimentering og minimerer vandforbruget.
• Lille fodaftryk: 24,5 cm x 32,5 cm

Indløbstyper

• Opvarmet/CVD: Ved at kombinere et internt opvarmet, teflonforet og isoleret indløbsdesign med vores automatiserede stempel kan du reducere din systemrelaterede nedetid til nul.
• Poly Etch CVD Inlet: Meget effektiv gasreduktion med patenterede gasindløbsenheder, der minimerer begrænsninger
• Højtemperaturindløb: Til gasstrømme med høj temperatur op til 220ºC
• Epitaksialt indløb: Exentec-specialiseret gasindløbsenhed, der minimerer indløbsrestriktioner, og et automatiseret gasindløbsstempel, der forlænger det praktiske vedligeholdelsesinterval til hver 6. måned.
  

Konfigurationer af indløb

• Standard epitaksial: Kun 1 port til Epitaxial og Cyclone, 2 tommer PVC-slip fit
• Standard 1-til-4-port ikke-opvarmet cyklon. 1,5 tommer PVC-indløb med glidemontering er standard, men kan ændres til at omfatte SS-forstærkede KF 40-flangeadaptere.
• Standard XL: Kun 2 porte, kun uopvarmet, KF 80, SS
• Standard 1 til 4 porte opvarmet, Cyclone 1,5 tommer SS KF 40 flange