Bulkgassystemer med høj renhed

Bulkgassystemer med høj renhed

Exentecs bulkgassystemer med høj renhed tilbyder nøglefærdige eller specialiserede løsninger til sikker og effektiv gaslevering på tværs af industrier som f.eks. halvlederproduktion. Systemerne kan tilpasses fuldt ud til forskellige gastyper - fra rørledningskontrol til rensning - og maksimerer sikkerhed, produktivitet og livscyklusværdi.

Specifikke gassystemer med høj renhed

Specifikke gassystemer med høj renhed

Exentecs High Purity Spec Gas Systems har fuldt integreret PLC/HMI-kontrol med fjernadgang og automatiseret trykregulering til præcis, uafbrudt gasstrøm. De er designet til kompakte kabinetter og reducerer manuel indgriben med 30 %, minimerer tryksvingninger og øger sikkerheden gennem fuld automatisering.

Gasskabe

Gasskabe

Exentecs gaskabinetter tilbyder fleksible konfigurationer og 99,999 % oppetid med både standard- og specialløsninger, der er skræddersyet til specifikke anvendelser. Valgmulighederne omfatter manuel til fuldautomatisk styring, opsætning af 1-3 flasker og integrerede rensnings-/procespaneler - alt sammen designet til sikkerhed, pålidelighed og nem betjening.

Gasblender-systemer

Gasblender-systemer

Exentecs gasblandersystemer giver præcis, automatiseret gasblanding op til 250 slpm med realtidsovervågning og ±0,3 % nøjagtighed. Udstyret med PLC-styring, indbygget analysator og sikkerhedsfunktioner i et kompakt, SEMI-F14-kompatibelt kabinet sikrer det pålidelig ydeevne til krævende anvendelser.

Ventilmanifold-bokse

Ventilmanifold-bokse

Exentecs Valve Manifold Box (VMB) muliggør sikker, pålidelig gasdistribution med op til 8 sticks, med manuel til fuldautomatisk styring og valgfri N₂-rensning og vakuum til vedligeholdelse. VMB'er fås i panel- eller udsugningsskabs-design og tilbyder avancerede sikkerhedsfunktioner, dobbelt isolering og tilbehør, der kan tilpasses til applikationer med inerte eller farlige gasser.

Paneler til ventilmanifold

Paneler til ventilmanifold

Exentecs team af leverandører af højrenhedsmedier leverer innovative og pålidelige gaspaneler, der understøttes af omfattende produktions- og installationserfaring. Panelmulighederne omfatter automatiske, manuelle, modulære og udrensningskonfigurationer - såsom Auto-Crossover-paneler, der sikrer uafbrudt gasflow ved automatisk at skifte cylinder, når den ene er opbrugt.

Paneler til ventilmanifold

Paneler til ventilmanifold

Exentecs team af leverandører af højrenhedsmedier leverer innovative og pålidelige gaspaneler, der understøttes af omfattende produktions- og installationserfaring. Panelmulighederne omfatter automatiske, manuelle, modulære og udrensningskonfigurationer - såsom Auto-Crossover-paneler, der sikrer uafbrudt gasflow ved automatisk at skifte cylinder, når den ene er opbrugt.

Liquide systemer til levering af prækursorer

Liquide systemer til levering af prækursorer

Exentecs Liquide (precursor) Delivery System er et kemikaliedistributionssystem, der er designet til at maksimere effektivitet og ydeevne. Det selvstændige system omfatter redundante paneler med automatisk crossover-funktion for øget oppetid > 99,9 %. Det lille fodaftryk med stor proceskapacitet er designet til at distribuere flydende kemikalier via en trykgas.

Controllere til gasleveringssystemer

Controllere til gasleveringssystemer

Exentec tilbyder et alsidigt udvalg af controllere til gasleveringssystemer, der kan tilpasses til specifikke gastyper, rensningsrutiner og kontrolplatforme. Valgmulighederne omfatter manuelle til fuldautomatiske VMB-controllere (4- eller 8-stick) med Allen-Bradley eller Siemens PLC'er samt tilpassede og direkte erstatningsmodeller som AVMB4S og AVMB8S til opgradering af ældre systemer.

System til levering af damp

System til levering af damp

Exentecs Vapor Delivery System er en kompakt løsning med høj renhed til præcis distribution af kemiske dampe i avancerede produktionsapplikationer. Med en bobler i rustfrit stål, valgfri køler og smart styring i et holdbart kabinet sikrer det ensartet dampflow, fleksibel integration og forbedret sikkerhed til processer som ALD, CVD og epitaxy.

Tilpasset gasforsyningsbeholder

Tilpasset gasforsyningsbeholder

Exentecs "Plug & Process"-gasforsyningscontainere er modulære, præfabrikerede systemer, der er designet til hurtig og omkostningseffektiv udrulning af infrastruktur til ultrahøj ren gas. De kan tilpasses og automatiseres fuldt ud og har integrerede sikkerheds-, ventilations- og kontrolsystemer, der giver pladsbesparende, skalerbare løsninger med ekspertstøtte på lang sigt.

Installationer og maskintilslutninger

Installationer og maskintilslutninger

Vores interne CAD-afdeling udvikler og designer komponenter, og vi fremstiller dem på vores specialiserede produktionssteder. Vores eksperter bearbejder rør af rustfrit stål i en lang række kvaliteter ved hjælp af orbitale eller manuelle svejseprocesser. Vi bruger sammenføjningsteknikker som f.eks:

  • VCR-teknologi
  • Rørfitting
  • Flange-teknologi
  • Pressfitting-systemer
  • Plastforarbejdning (svejsning, limning)
Renrum

Overlegne løsninger og omfattende tjenester

Mini-miljøer
Luftbehandlingsenheder
Kritiske undersystemer og kontrollerede miljøer
Gasforsyning
Kemisk forsyning

Blandings- og distributionssystemer til kemikalier og gylle med ultrahøj renhed

Ampuller og sensorer
Procesudstødning