Præcis slurryblanding og kontrolleret distribution

Exentec udvikler slurry‑systemer og procesudstyr, der er konstrueret til at levere stabile, gentagelige og præcise slurry‑blandinger. Vores løsninger understøtter både mindre pilotlinjer og højt kapacitetsniveau i fuldskala produktion.

 

Kernen i vores teknologi er viden om nøjagtig blanding og styring af slurry‑flow. Systemerne opretholder ensartede flowparametre til hvert forbrugssted, hvilket bidrager til stabile materialegenskaber, mindre spild og højere oppetid på CMP‑værktøjer.
Med et bredt patentgrundlag og mange års teknisk erfaring udvikler vi systemer, der kan håndtere de krav, moderne CMP‑processer stiller. Gennem solid procesindsigt, avanceret automatisering og løbende udvikling kan vores løsninger tilpasses både nuværende og fremtidige behov.

 

Fordele ved Exentec slurry‑systemer

  • Skalerbare systemer med 1 til 8+ doseringskanaler og variable make‑up‑hastigheder
  • Stabilt trykstyringsdesign med minimale udsving under blanding og distribution
  • Isoleret serviceadgang, så vedligehold kan udføres uden at stoppe produktionen
  • Brugervenligt interface med live overvågning og justerbare indstillinger
  • Skylning og rensning af tanke uden afbrydelse af procestilførsel
     
 
MEGA® – slurry‑systemer fra Exentec

MEGA® – slurry‑systemer fra Exentec

MEGA®‑serien er udbredt i teknisk krævende brancher og omfatter:
  • MEGA® blandingssystemer
  • MEGA® kommunikations- og kontrolsystemer
  • MEGA® distributionssystemer
  • MEGA® filtreringssystemer
  • MEGA® metrologisystemer
  • MEGA® multifunktionssystemer
  • MEGA® transfersystemer
MEGA Blending Systems
MEGA Blending Systems

MEGA® Blending Systems er designet til total pålidelighed og repeterbarhed og tilbyder automatiseret kontrol, intelligent overvågning og tilpassede tankkapaciteter.

MEGA® kommunikations- og kontrolsystemer
MEGA® kommunikations- og kontrolsystemer

MegaLink 2 er designet til både standalone- og SCADA-integrerede miljøer og muliggør præcis overvågning og styring af distributionsprocesser på fabriksniveau.

MEGA® Distributionssystemer
MEGA® Distributionssystemer

MEGA® Distribution Systems er avancerede, skalerbare løsninger til levering af blandet slam i halvleder- og CMP-applikationer.

MEGA Blending Systems
MEGA Blending Systems

MEGA® Blending Systems er designet til total pålidelighed og repeterbarhed og tilbyder automatiseret kontrol, intelligent overvågning og tilpassede tankkapaciteter.