Spektret af Exentecs overfladebehandlingsværktøjer og vådbænke spænder fra batch-nedsænkning til spray- eller single-wafer-vådbænke. Alle vådbænke kan konfigureres fra manuelle til fuldautomatiske multitasking-systemer.
Vores vådbænke er designet til repeterbarhed og volumen, med vægt på processer med to eller flere behandlingstanke. Vores vådprocesstationer er bygget efter gældende SEMI-standarder og fås i fuldautomatiske, halvautomatiske og manuelle konfigurationer.
- FEOL, BEOL, emballagemoduler, avancerede emballagemoduler, MEMS Pattern Plating, magnetisk deponering, elektro-ætsning og E-less deponering
- Rengøring, resist strips, ætsning, udvikling, metal lift-off, IPA recovery og tørring
- Kan bruges til syre-, base- og opløsningsmiddelapplikationer
- Badstørrelser med én eller flere kassetter
- Siliciumwafere fra 100 mm til 450 mm, III-V-materialer, fotomasker, glas og store manifolds
- Tilpassede substrater
Vådbænk-produkter fra Exentec
Exentecs Wet Bench-produkter er udviklet til at forberede overflader på siliciumwafere, understøtte produktionstrin i renrum, udføre ætsningsprocesser og bringe store fabrikationskomponenter tilbage til en forureningsfri tilstand:
Aeris® automatiseret vådbænk
Aeris® automatiseret vådbænk
Aeris® automatiserede vådbænk er udviklet specielt til de strenge krav inden for halvlederforskning og -udvikling og kombinerer højtydende behandling med den fleksibilitet og sikkerhed, som moderne laboratorier kræver.
منضدة CELERA® الرطبة اليدوية
منضدة CELERA® الرطبة اليدوية
CELERA® manuelle vådbænke er konstrueret til at levere højtydende vådbehandling i laboratorieskala og tilbyder modularitet og robust design inspireret af fuldautomatiske systemer.
Moduler til overførsel og udlevering af kemikalier
Moduler til overførsel og udlevering af kemikalier
Vores konfigurerbare Chemical Transfer and Dispense Modules (CTDM) er konstrueret til levering af ultrarene kemikalier, præcisionsdosering og sikker distribution til produktionsværktøjer, hvilket gør dem ideelle til halvlederfremstilling, renrumsmiljøer og andre procesanvendelser med høj renhed.
Stinkskabe
Stinkskabe
Beskyt dit laboratoriemiljø med Exentecs højtydende stinkskabe, der er konstrueret til laboratorieopgaver, hvor inddæmning af farlige dampe er afgørende.