System til levering af damp

System til levering af damp
Exentecs Vapor Delivery System er et kemisk dampdistributionssystem, der er designet til at maksimere effektiviteten og ydeevnen.
Exentecs Vapor Delivery System er en kompakt, selvstændig løsning til effektiv og præcis distribution af kemiske dampe. Det omfatter en boblebeholder i rustfrit stål, en integreret køler (ekstraudstyr) og en systemcontroller - alt sammen på en lille plads. Anlægs-, bæregas- og procestilslutninger kan konfigureres fra flere sider for fleksibel installation.
Oversigt over systemet:
- Bærergas bobler gennem flydende kemikalier i beholderen ved hjælp af en sparge-diffusor for høj dampmætning
- Aktiv lineær niveausensor opretholder det indstillede væskeniveau
- Temperaturkontrol via sonde og valgfri køler sikrer ensartet damplevering
Specifikationer for indkapsling:
- Størrelse: 16" B x 16" D x 74,25" H med 3" udstødning
- Holdbart 11-gauge stål med korrosionsbestandig belægning
- Svejset inderkabinet til kemisk indeslutning
- Lameller og bageste plenum til effektiv gasevakuering
- Separate zoner til elektriske, køle- og gaskomponenter
- Sikkerhedsfunktioner: Udstødningssensor, UL-sprinkler, brandhastighedssensor, døre med pakning
Tilgængelige muligheder:
- Boblestørrelser: 1, 5, 10 eller 20 liter
- Integreret køler
- Muligheder for genbrug: Manuelt eller fjernbetjent afløb, genvindingsledning
- Bærende gaspind: Valgfri trykmåler/transmitter, bypass, ESO-ventil
Exentecs UHP-boblerbeholdere understøtter højtydende damplevering i halvleder-, solcelle- og relaterede avancerede fremstillingsprocesser som ALD, PEALD, CVD og epitaxy.