Dampleveringssystem | Produkter │ Exentec

System til levering af damp

Exentecs Vapor Delivery System er et kemisk dampdistributionssystem, der er designet til at maksimere effektiviteten og ydeevnen.

Exentecs Vapor Delivery System er en kompakt, selvstændig løsning til effektiv og præcis distribution af kemiske dampe. Det omfatter en boblebeholder i rustfrit stål, en integreret køler (ekstraudstyr) og en systemcontroller - alt sammen på en lille plads. Anlægs-, bæregas- og procestilslutninger kan konfigureres fra flere sider for fleksibel installation.

Oversigt over systemet:

Bærergas bobler gennem flydende kemikalier i beholderen ved hjælp af en sparge-diffusor for høj dampmætning
Aktiv lineær niveausensor opretholder det indstillede væskeniveau
Temperaturkontrol via sonde og valgfri køler sikrer ensartet damplevering

Specifikationer for indkapsling:

Størrelse: 16" B x 16" D x 74,25" H med 3" udstødning
Holdbart 11-gauge stål med korrosionsbestandig belægning
Svejset inderkabinet til kemisk indeslutning
Lameller og bageste plenum til effektiv gasevakuering
Separate zoner til elektriske, køle- og gaskomponenter
Sikkerhedsfunktioner: Udstødningssensor, UL-sprinkler, brandhastighedssensor, døre med pakning

Tilgængelige muligheder:

Boblestørrelser: 1, 5, 10 eller 20 liter
Integreret køler
Muligheder for genbrug: Manuelt eller fjernbetjent afløb, genvindingsledning
Bærende gaspind: Valgfri trykmåler/transmitter, bypass, ESO-ventil

Exentecs UHP-boblerbeholdere understøtter højtydende damplevering i halvleder-, solcelle- og relaterede avancerede fremstillingsprocesser som ALD, PEALD, CVD og epitaxy.

Bulkgassystemer med høj renhed

Vi tilbyder vores kunder en pålidelig kilde til gassystemudstyr af høj kvalitet og en bred vifte af produkter og tjenester.

Specifikke gassystemer med høj renhed

Vi udnytter vores byggekapacitet og programmeringsekspertise til at udvikle banebrydende systemer til levering af spec-gas.

Gasskabe

Et bredt udvalg af skabe, controllere og paneler kan konfigureres til et system, der er konstrueret til at matche dine behov.

Gasblender-systemer

Exentec Gas Blender er et kontrolbaseret gasblandingssystem med lukket kredsløb kombineret med en indbygget analysator.

Ventilmanifold-bokse

Exentec Valve Manifold Box (VMB) giver sikre og pålidelige fordelingspunkter til et gassystem.

Paneler til ventilmanifold

Exentecs team af leverandører af højrenhedsmedier har stor erfaring med at fremstille og installere paneler og udstyr til højrenhedsgas.

Systemer til specialgas i bulk

Bulk Specialty Gas System (BSGS) er et topmoderne distributionssystem, der er designet til sikker, automatisk levering af specialgasser i bulk.

Liquide systemer til levering af prækursorer

Exentecs Liquide (precursor) Delivery System er et kemikaliedistributionssystem, der er designet til at maksimere effektivitet og ydeevne.

Controllere til gasleveringssystemer

De tilgængelige muligheder for vores familie af controllere bliver mere og mere specifikke i takt med, at slutbrugerens behov og krav ændrer sig.

System til levering af damp

Exentecs Vapor Delivery System er et kemisk dampfordelingssystem, der er designet til at maksimere effektiviteten og ydeevnen.

Tilpasset gasforsyningsbeholder

Exentecs komplette løsninger i teknik-/sikkerhedsbeholderen er ideelle til en variabel og fleksibel gasforsyning.

Installationer og maskintilslutninger

Vi støtter dig gerne som en kompetent partner i forbindelse med installationer og tilslutninger af produktionsmaskiner på dit produktions- eller forskningssted.