Ved at udnytte vores unikke værditilbud inden for vådrensning har Exentec introduceret Encompass, vores første termiske produktlinje. Dette værktøj kombinerer to teknologier i én platform ved hjælp af vores egenudviklede Wet-Burn-Wet-arkitektur. Kunderne anerkender, at forbehandling af gasstrømme fra rensningsprocessen giver dem mulighed for at maksimere procesværktøjets oppetid og samtidig opretholde den ønskede destruktionseffektivitet (DRE). Kombinationen af teknologier (Wet + Burn/Wet) i en enkelt platform giver mulighed for effektiv fjernelse af vandopløselige gasser før brænderen. Dette sænker NOx ved at fjerne ammoniak før brænderen og minimerer partikeldannelse i anlæggenes kanaler ved at fjerne forstadier i det forvædede rensekammer. Destruktionseffektiviteten (DRE) opretholdes uden hyppig vedligeholdelse. Det revolutionerende brænderdesign og det forvædede skrubbekammer eliminerer stort set vedligeholdelse af brænderen og forbrugsstoffer. Med aktiv undertrykkelse af tilbageslag og vådvægsbrænderteknologi er Encompass det sikreste rensningsværktøj på markedet med de laveste samlede ejeromkostninger.

• Uafhængige pre-scrub-kamre forhindrer blanding af inkompatible gasser
• Vådvægsbrænderteknologi "omslutter" den termiske zone med recirkuleret vand og korrosionsbestandige materialer
• Kammerdelene er beskyttet mod korrosion, og aflejringer forhindres i at blive dannet, så brænderen ikke skal vedligeholdes rutinemæssigt.
• Multizone-brænderteknologi udnytter eksisterende procesgasser uden at fortynde hovedflammen, der påvirker DRE
• Ægte "grøn drift" kan opnås ved hjælp af digitale tænd- og sluk-cyklusser for flammen og den resulterende termiske profil

Eksempler på anvendelsesfordele:

• W-CVD - WOx-aflejringer skabt ved afbrænding af WF6 CVD-nitrid
• 90 % reduktion af NOx ved vådvaskning af NH3 EPI
• Anti-back flash-teknologi til flammedæmpning og trykaflastning
• Laveste samlede ejeromkostninger opnås ved at eliminere rutinemæssig vedligeholdelse og forbrugsvarer
• Højeste afkast på nettoaktiver og samlet udstyrseffektivitet opnås ved overlegen oppetid og tilgængelighed