Veel industriële processen vereisen water van een duidelijk gedefinieerde kwaliteit en zuiverheid. Dit geldt in het bijzonder voor farmaceutische productieprocessen, maar ook voor veel andere industrieën. Met waterzuiveringssystemen van Exentec kunnen verschillende zuiverheidsniveaus worden gerealiseerd - zelfs "water voor injectie" van de hoogste kwaliteit.

De systemen kunnen op verzoek worden geïntegreerd in de bestaande infrastructuur of worden gebruikt als een stand-alone oplossing. In elk geval worden ze ontworpen door ervaren Exentec-specialisten in overeenstemming met de geldende industriële normen, specificaties en voorschriften. Naast de integratie van generatorsystemen produceert Exentec ook complete leiding- en distributiesystemen inclusief alle componenten en sensortechnologie, naar keuze in roestvrij staal of kunststof.

Samen met de klant ontwikkelt Exentec systemen en oplossingen om UPW te genereren en te conditioneren met een precisie van ± 0,25 mK. Deze producten zijn de voorwaarde voor de succesvolle toepassing van immersietechnologie in lithografische processen.

Om kleinere structuren te genereren met dezelfde golflengte kan de optische dichtheid van het medium tussen objectief en wafer worden veranderd met behulp van water. Omdat de optische dichtheid extreem gevoelig is voor chemische onzuiverheden en temperatuurveranderingen, vereist het gebruikte ultrazuivere water (UPW) een extreem hoge temperatuurstabiliteit om stabiele beeldkwaliteit te bereiken.

Eigenschappen

• Genereren van ultrazuiver water
• Controle over verontreinigende deeltjes
• Uiterst nauwkeurige temperatuurregeling