Precisie Klimaatbeheersingssystemen
Precisie Klimaatbeheersingssystemen
Exentec levert precisieklimaatbeheersingssystemen voor de halfgeleiderindustrie en nanotechnologie en de productie van optische opslagmedia die een constant stabiele proces- en meetomgeving vereisen.
Het juiste klimaat garandeert kwaliteit en verlaagt het uitvalpercentage tijdens de productie. Beslissende parameters zijn de zeer nauwkeurige stabilisatie van temperatuur en vochtigheid en de garantie dat de lucht schoon is wat betreft deeltjes en chemische verontreiniging.
Koelwaterkasten
De oplossing van Exentec is het scheiden van de koelcircuits van fab en gereedschap en het gebruik van ultrazuiver water (UPW) in het circuit van het gereedschap.
Nauwkeurige omgevingscontrolekamer
Exentec Precise Omgevingskamers bieden zeer lage toleranties voor temperatuur en vochtigheid, absolute reinheid wat betreft verontreiniging door gassen en deeltjes en afscherming van akoestische, trillende en elektromagnetische invloeden.
Precisie Klimaatbeheersingssystemen
Exentec levert precisieklimaatbeheersingssystemen voor de halfgeleiderindustrie en nanotechnologie en de productie van optische opslagmedia die een constant stabiele proces- en meetomgeving vereisen.
Dauwpuntcontrole oplossing
Exentec biedt systemen en oplossingen met verdringingsgassen voor de hoogste eisen op het gebied van reinheid, temperatuurstabiliteit en droogheid.
Ultrazuiver water conditionering
Nauwkeurige conditionering van vloeibare media in innovatieve productieomgevingen.