Dauwpuntcontrole Oplossing

Dauwpuntcontrole oplossing

Exentec biedt systemen en oplossingen met verdringingsgassen voor de hoogste eisen op het gebied van reinheid, temperatuurstabiliteit en droogheid.

Systeemoplossing voor dauwpuntcontrole

Bepaalde productieprocessen vereisen meer dan absolute zuiverheid en stabiele procesparameters. Dit geldt met name voor optische toepassingen waarbij extra storende invloeden zoals zuurstof en water uit de lucht moeten worden verwijderd om optimale beelden te garanderen.

Ongewenste gassen en water worden vervangen, bijvoorbeeld door droog stikstofgas. Exyte Technology biedt systemen en oplossingen met verdringingsgassen voor de hoogste eisen op het gebied van reinheid, temperatuurstabiliteit en droogheid.

Extreem droge procesomgeving (- 35 °C)
"zuurstofvrije" procesomgeving
Stabiele en reproduceerbare procesklimatisering

Constructief ontwerp

Typische toepassing: vochtgevoelige productieprocessen
Behoeften van de klant: Zeer droge en zuurstofvrije omgevingsomstandigheden
Debiet: 3.600 m³/h
Temperatuur proceslucht: 20 °C
Temperatuurstabiliteit: ± 1K
Dauwpunt systeem: - 35 °C
Vochtigheid: 1,3 % r.H.
Restzuurstof: < 0,8 %

Koelwaterkasten

De oplossing van Exentec is het scheiden van de koelcircuits van fab en gereedschap en het gebruik van ultrazuiver water (UPW) in het circuit van het gereedschap.

Nauwkeurige omgevingscontrolekamer

Exentec Precise Omgevingskamers bieden zeer lage toleranties voor temperatuur en vochtigheid, absolute reinheid wat betreft verontreiniging door gassen en deeltjes en afscherming van akoestische, trillende en elektromagnetische invloeden.

Precisie Klimaatbeheersingssystemen

Exentec levert precisieklimaatbeheersingssystemen voor de halfgeleiderindustrie en nanotechnologie en de productie van optische opslagmedia die een constant stabiele proces- en meetomgeving vereisen.

Exentec biedt systemen en oplossingen met verdringingsgassen voor de hoogste eisen op het gebied van reinheid, temperatuurstabiliteit en droogheid.

Ultrazuiver water conditionering

Nauwkeurige conditionering van vloeibare media in innovatieve productieomgevingen.