Koelwaterkasten
Koelwaterkasten
De kwaliteit van het proceskoelwater in halfgeleiderfabrieken is een belangrijk probleem
Fabrieks- en gereedschapsinstallaties vereisen een nauwkeurige koelwaterregeling
De oplossing van Exyte Technology is om de koelcircuits van fab en gereedschap te scheiden en Ultra Zuiver Water (UPW) te gebruiken in het circuit van het gereedschap. Deze scheiding maakt ook een betere controle van de koelwatertoevoer mogelijk op het gebied van temperatuurstabiliteit, deeltjesvervuiling en debiet, waardoor de prestaties en beschikbaarheid van het gereedschap toenemen.
Koelwaterkasten
De oplossing van Exentec is het scheiden van de koelcircuits van fab en gereedschap en het gebruik van ultrazuiver water (UPW) in het circuit van het gereedschap.
Nauwkeurige omgevingscontrolekamer
Exentec Precise Omgevingskamers bieden zeer lage toleranties voor temperatuur en vochtigheid, absolute reinheid wat betreft verontreiniging door gassen en deeltjes en afscherming van akoestische, trillende en elektromagnetische invloeden.
Precisie Klimaatbeheersingssystemen
Exentec levert precisieklimaatbeheersingssystemen voor de halfgeleiderindustrie en nanotechnologie en de productie van optische opslagmedia die een constant stabiele proces- en meetomgeving vereisen.
Dauwpuntcontrole oplossing
Exentec biedt systemen en oplossingen met verdringingsgassen voor de hoogste eisen op het gebied van reinheid, temperatuurstabiliteit en droogheid.
Ultrazuiver water conditionering
Nauwkeurige conditionering van vloeibare media in innovatieve productieomgevingen.