Společnost Exentec dodává lahve s velmi vysokou čistotou pro významné výrobce zařízení a chemikálií, které se široce používají v procesech CVD, ALD a Epi pro skladování chemických prekurzorů.
Jsme uznáváni špičkovými světovými zákazníky a spolupracujeme s předními společnostmi na vývoji pokročilých produktů pro předsádky. Kromě ampulí nabízíme vysokoteplotní snímače hladiny a řídicí boxy pro různé chemikálie a specializované procesy. Poskytujeme také komplexní služby renovace ampulí, které zajišťují nejvyšší standard bezpečnosti a výkonu. Náš proces renovace zahrnuje kontrolu, testování a opravy, jako je svařování, výměna součástí a opětovná certifikace podle norem DOT 4B.
Ve společnosti Exentec je kvalita naší prioritou v každé fázi. Od surovin až po konečnou dodávku prochází každá nádoba přísnými kontrolami, aby splňovala normy extrémní tolerance. Díky spolupráci s certifikovanými dodavateli zajišťuje společnost Exentec přesnost a neustálé zlepšování, aby splňovala požadavky průmyslu.
Ampule a bublinky
Společnost Exentec je odborníkem v oboru ampulí DOT 4B, dodáváme lahve s velmi vysokou čistotou, které jsou vyráběny v kontrolovaném prostředí, čištěny, testovány a baleny podle kritických norem každého zákazníka.
Snímače hladiny a ovládací skříňky
Ultrazvukové senzory a odečítací řídicí skříňky společnosti Exentec nabízejí jedinečné řešení pro měření diskrétních hladin kapalin v prostředí UHP s použitím elektrolyticky leštěných smáčených povrchů 316L.
Čisté prostory
Špičková řešení a komplexní služby
Vyvíjíme, vyrábíme a udržujeme spolehlivé produkty pro čisté prostory a výrobní prostředí pro mimořádně čistou řízenou atmosféru.
Miniaturní prostředí
Společnost Exentec je na trhu s bateriemi průkopníkem jedinečné modulární koncepce Mini Environment, která v sobě spojuje snížení spotřeby energie a technologická vylepšení.
Vzduchotechnické jednotky
Vzduchotechnické jednotky Exentec se vyznačují energeticky účinným designem. Náš výzkumný a vývojový tým pracuje s nejmodernějším vybavením a vždy přispívá nejnovějšími poznatky.
Kritické subsystémy a řízená prostředí
Systémy zásobování čistými médii pro citlivé výrobky
Zásobování chemikáliemi
Systémy pro míchání a distribuci velmi čistých chemikálií a kalů
Systémy pro míchání a distribuci velmi čistých chemikálií a kalů
Ampule a senzory
Vyrábíme snímače hladiny kapalin, pyroforické chemikálie a ampule, lahve a kanystry DOT 4B, které se hojně používají v polovodičovém, fotovoltaickém a bateriovém průmyslu.
Procesní výfuk
Stanovujeme průmyslový standard pro bezpečné a spolehlivé systémy odvodu korozivních výparů.
Snížení emisí plynu
Jsme vybraným dodavatelem pro významné polovodičové společnosti po celém světě a poskytujeme řešení pro snižování emisí plynů v místě použití (POU) pro nástroje pro depoziční, leptací a difuzní procesy.
Mokré lavičky
Specializujeme se na navrhování systémů pro přípravu povrchů, u kterých jsou požadavky na aplikaci a výkon zařízení v souladu.
Naše nástroje integrují procesní hardware, pokročilý řídicí software a automatizovanou robotiku a poskytují řešení na míru od manuálních jednoprocesních stolů až po plně automatizované systémy pro manipulaci s destičkami.Můžeme přizpůsobit nosiče substrátů a koncové efektory tak, aby vyhovovaly jedinečným požadavkům na zpracování.
Podporujeme širokou škálu substrátů a materiálů:
- destičky (100 mm - 300 mm)
- polovodičové materiály III-V
- Fotomasky
- Skleněné a křemenné držáky
- Zakázkové rozdělovače a speciální nosiče
Naši inženýři mohou také navrhnout vlastní koncové efektory a nosiče substrátů, aby splňovaly vaše specifické procesní a manipulační potřeby.
- Čištění, odstraňování rezistů, leptání, vyvolávání, odstraňování kovů, regenerace a sušení IPA
- Použitelné pro aplikace s kyselinami, zásadami a rozpouštědly
- Velikost lázně pro jednu nebo více kazet
- Konfigurovatelné a škálovatelné procesní vybavení.
Náš tým má zkušenosti s širokou škálou aplikačních potřeb, včetně práce v oblasti FEOL, BEOL, pokročilých obalů, pokovování MEMS vzorů, magnetického nanášení, elektroleptání a nanášení bez E. Máme také k dispozici standardní uspořádání lázní pro mokré procesy pro mnoho aplikací, jako např:
- leptání za mokra - leptání křemíku (KOH), leptání nitridů, leptání pufrovaných oxidů, leptání fotorezistů a leptání zlata/platiny.
- Konfigurace pro odstraňování kovů - NMP a DMSO
- Čištění destiček - Podpora pro lázně HF, Piranha, SC1, SC2.
Naše procesní nástroje lze konfigurovat s kompletní řadou podpůrných systémů pro zvýšení automatizace, bezpečnosti a správy chemikálií:
- Systémy pro manipulaci s chemikáliemi
- Vozíky pro dávkování, odebírání a skladování chemikálií
- Palubní nádoby pro sběr odpadu
- Výtahové stanice pro neutralizaci odpadu
- Hardware pro optimalizaci procesů
- Oběhová čerpadla s řízenou teplotou (WHRV)
- Ohřev: až 5115 BTU/hod.
- Chlazení: až 2550 BTU/hod.
- Recirkulační vany pro konzistentní teplotu a průtok
- Křemenné nádrže pro chemickou odolnost
- Rychlé vyplachovací zařízení (QDR)
- Ponorný, kaskádový a stříkací režim
Naše systémy pro přípravu povrchů jsou škálovatelné a připravené pro integraci do čistých prostor, výzkumných a vývojových laboratoří a velkosériových výrobních závodů. Ať už pracujete se standardními substráty, nebo s unikátními materiály, náš tým vám dodá procesně připravenou platformu na míru vašim potřebám.
Kalové systémy
Naše nástroje integrují procesní hardware, pokročilý řídicí software a automatizovanou robotiku a poskytují řešení na míru od manuálních jednoprocesních stolů až po plně automatizované systémy pro manipulaci s destičkami.Dokážeme přizpůsobit nosiče substrátů a koncové efektory tak, aby vyhovovaly jedinečným požadavkům na zpracování.
Podporujeme širokou škálu substrátů a materiálů:
- destičky (100 mm - 300 mm)
- polovodičové materiály III-V
- Fotomasky
- Skleněné a křemenné držáky
- Zakázkové rozdělovače a speciální nosiče
Naši inženýři mohou také navrhnout vlastní koncové efektory a nosiče substrátů, aby splňovaly vaše specifické procesní a manipulační potřeby.
- Čištění, odstraňování rezistů, leptání, vyvolávání, odstraňování kovů, regenerace a sušení IPA
- Použitelné pro aplikace s kyselinami, zásadami a rozpouštědly
- Velikost lázně pro jednu nebo více kazet
- Konfigurovatelné a škálovatelné procesní vybavení.
Náš tým má zkušenosti s širokou škálou aplikačních potřeb, včetně práce v oblasti FEOL, BEOL, pokročilých obalů, pokovování MEMS vzorů, magnetického nanášení, elektroleptání a nanášení bez E. Máme také k dispozici standardní uspořádání lázní pro mokré procesy pro mnoho aplikací, jako např:
- leptání za mokra - leptání křemíku (KOH), leptání nitridů, leptání pufrovaných oxidů, leptání fotorezistů a leptání zlata/platiny.
- Konfigurace pro odstraňování kovů - NMP a DMSO
- Čištění destiček - Podpora pro lázně HF, Piranha, SC1, SC2.
Naše procesní nástroje lze konfigurovat s kompletní řadou podpůrných systémů pro zvýšení automatizace, bezpečnosti a správy chemikálií:
- Systémy pro manipulaci s chemikáliemi
- Vozíky pro dávkování, odebírání a skladování chemikálií
- Palubní nádoby pro sběr odpadu
- Výtahové stanice pro neutralizaci odpadu
- Hardware pro optimalizaci procesů
- Oběhová čerpadla s řízenou teplotou (WHRV)
- Ohřev: až 5115 BTU/hod.
- Chlazení: až 2550 BTU/hod.
- Recirkulační vany pro konzistentní teplotu a průtok
- Křemenné nádrže pro chemickou odolnost
- Rychlé vyplachovací zařízení (QDR)
- Ponorný, kaskádový a stříkací režim
Naše systémy pro přípravu povrchů jsou škálovatelné a připravené pro integraci do čistých prostor, výzkumných a vývojových laboratoří a velkosériových výrobních závodů. Ať už pracujete se standardními substráty, nebo s unikátními materiály, náš tým vám dodá procesně připravenou platformu na míru vašim potřebám.