تتخصص Exentec في الأنظمة الكيميائية والغازية فائقة النقاء لصناعة أشباه الموصلات. تشمل محفظتنا معدات المزج والتوصيل لمجموعة واسعة من التطبيقات في المواد الكيميائية المائية وملاط معالجة أشباه الموصلات.
بالإضافة إلى ذلك، نوفر خدمات الدعم الميداني المطلوبة، والضوابط، والتكامل، والخبرة الفنية لتلبية احتياجات التحكم الصارم في عملية أشباه الموصلات.
توفر أنظمتنا الموثوقة:
- تحكم متقدم في العمليات ذات الحلقة المغلقة القائمة على المقاييس المتقدمة
- التحكم الآلي في جودة المواد الكيميائية والطين
- أنظمة توصيل ومزج مرنة وقابلة للتطوير ودقيقة
- زيادة التحكم في العملية من خلال التحكم في تركيز المزج والضغط
- تكامل سلس في SCADA مع دعم كامل للإدخال والتحكم
- مساحة أرضية مثالية
- أقصى وقت تشغيل
أنظمة كيميائية عالية النقاء
تقدم Exentec المعدات وخدمة الدعم الميداني والخبرة الفنية لتلبية احتياجات التطبيقات المختلفة لتوصيل السوائل عالية النقاء والمزج الكيميائي وأنظمة الملاط CMP الحديثة لتصنيع أشباه الموصلات وغيرها من الصناعات عالية التقنية.
توزيع المواد الكيميائية
تعمل أنظمة توزيع المواد الكيميائية لدينا على تحسين العمليات، وتحسين مساحة الأرضية، وتقليل وقت التوقف عن العمل، وإطالة عمر المنتج، مما يقلل من التكلفة الإجمالية للملكية.
المزج داخل الخط
تأخذ تقنية المزج الكيميائي عند الطلب وتوريد المحاليل الكيميائية الحاصلة على براءة اختراع من Exentec في الحسبان التغيير الديناميكي عند الطلب في معدلات التدفق من قبل المستخدمين النهائيين أو نقاط الاستخدام مع الحفاظ على دقة المزج الدقيقة.
التوليد الكيميائي
مع تقنية توليد المواد الكيميائية المدمجة NH4OHمن Exentec في الموقع، يمكن لمصانع أشباه الموصلات أن تقلل بشكل كبير من التكاليف الإجمالية لتوريد المواد الكيميائية وزيادة الجودة وتعزيز المرونة ضد اضطرابات سلسلة التوريد وتحسين الاستدامة البيئية.
مزج الطين الموحل CMP وتوصيله
التخلص من عمليات القياس غير المتصلة بالإنترنت المكلفة التي تتطلب عمالة كثيفة وتعديلات العمليات اليدوية. نجحت Exentec في تطوير تقنية التحكم المدمجة التي تسمح بالتحكم في الحلقة المغلقة لمحلول ملاط أشباه الموصلات CMP الخاص بالعميل في عمليات المزج والتوزيع.
غرف التنظيف
حلول فائقة وخدمات شاملة
نقوم بتطوير وإنتاج وصيانة منتجات موثوقة لغرف نظيفة وبيئات إنتاج موثوقة للأجواء فائقة النظافة التي يتم التحكم فيها.
البيئات الصغيرة
في سوق البطاريات، تُعد Exentec رائدة في سوق البطاريات بمفهوم البيئة الصغيرة المعيارية الفريد من نوعه، والذي يدمج بين خفض الطاقة والتحسينات التكنولوجية.
وحدات مناولة الهواء
تتميز وحدات مناولة الهواء من Exentec بتصميم موفر للطاقة. يعمل فريق البحث والتطوير لدينا باستخدام أحدث المعدات ويساهم دائمًا بأحدث المعارف.
الأنظمة الفرعية الحرجة والبيئات الخاضعة للرقابة
أنظمة إمداد الوسائط النقية للمنتجات الحساسة
توريد المواد الكيميائية
أنظمة مزج وتوزيع المواد الكيميائية والملاط فائقة النقاء وأنظمة توزيع المواد الكيميائية فائقة النقاء
أنظمة مزج وتوزيع المواد الكيميائية والملاط فائقة النقاء وأنظمة توزيع المواد الكيميائية فائقة النقاء
الأمبولات وأجهزة الاستشعار
نقوم بتصنيع مستشعرات مستوى السوائل، ومناولة المواد الكيميائية البيروفلورية وأمبولات واسطوانات وعلب DOT 4B المستخدمة على نطاق واسع في صناعات أشباه الموصلات والصناعات الكهروضوئية والبطاريات.
عملية العادم
نحن نضع معايير الصناعة لأنظمة أنابيب عادم الأبخرة المسببة للتآكل الآمنة والموثوقة
الحد من الغازات
نحن المورد المفضل لكبرى شركات أشباه الموصلات في جميع أنحاء العالم، حيث نوفر حلول الحد من الغازات في نقاط الاستخدام (POU) لأدوات عمليات الترسيب والحفر والانتشار.
الحلول الصيدلانية الحيوية
نحن ندعم جميع الخطوات الهامة لتصنيع المستحضرات الصيدلانية الحيوية
المقاعد المبللة
نحن متخصصون في تصميم أنظمة تحضير الأسطح حيث تتوافق متطلبات التطبيق وأداء المعدات بسلاسة
تدمج أدواتنا أجهزة المعالجة، وبرامج التحكم المتقدمة، والروبوتات الآلية لتقديم حلول مخصصة بدءًا من مناضد المعالجة اليدوية أحادية العملية إلى أنظمة مناولة الرقائق المؤتمتة بالكامل، ويمكننا تخصيص حاملات الركائز والمستجيبات النهائية لاستيعاب متطلبات المعالجة الفريدة.
نحن ندعم مجموعة كبيرة من الركائز والمواد:
- الرقائق (100 مم - 300 مم)
- مواد أشباه الموصلات III-V
- الأقنعة الضوئية
- تركيبات الزجاج والكوارتز
- المشعبات المخصصة والناقلات المتخصصة
يمكن لمهندسينا أيضًا تصميم مستجيبات نهائية مخصصة وناقلات الركائز لتلبية احتياجاتك الخاصة في المعالجة والمعالجة.
- التنظيف، وشرائط المقاومة، والحفر، والتطوير، ورفع المعادن، واستعادة IPA والتجفيف
- قابلة للاستخدام في التطبيقات الحمضية والقاعدية والمذيبات
- أحجام حمامات أحادية أو متعددة الكاسيت
- معدات معالجة قابلة للتكوين وقابلة للتطوير.
يتمتع فريقنا بخبرة في مجموعة واسعة من احتياجات التطبيقات بما في ذلك العمل في FEOL وBEOL والتغليف المتقدم والطلاء بنمط MEMS والترسيب المغناطيسي والحفر الكهربائي والترسيب الإلكتروني. لدينا أيضًا تخطيطات حمام عملية رطبة قياسية متاحة للعديد من التطبيقات مثل:
- الحفر الرطب - حفر السيليكون (KOH)، وحفر النيتريد، وحفر الأكسيد المخزن، وشريط مقاوم للضوء، وحفر الذهب/البلاتين.
- رفع المعادن - تكوينات NMP وDMSO
- تنظيف الرقاقة - دعم حمامات HF وPiranha وSC1 وSC2
يمكن تهيئة أدوات المعالجة لدينا بمجموعة كاملة من أنظمة الدعم لتعزيز الأتمتة والسلامة وإدارة المواد الكيميائية:
- أنظمة مناولة المواد الكيميائية
- عربات المواد الكيميائية للتوزيع والإزالة والتخزين
- قوارير مدمجة لجمع النفايات
- محطات الرفع لتحييد النفايات
- أجهزة تحسين العمليات
- أجهزة تدوير يتم التحكم في درجة حرارتها (WHRV)
- التدفئة: ما يصل إلى 5115 وحدة حرارية بريطانية/ساعة
- التبريد: حتى 2550 وحدة حرارية بريطانية/ساعة
- أحواض إعادة التدوير للحصول على درجة حرارة وتدفق ثابتين
- خزانات كوارتز لمقاومة المواد الكيميائية
- غسالات التفريغ السريع (QDR)
- أوضاع الغمر والتتالي والرذاذ
أنظمة تحضير الأسطح لدينا قابلة للتطوير وجاهزة للاندماج في غرف التنظيف ومختبرات البحث والتطوير والتصنيع بكميات كبيرة. سواءً كنت تعمل مع ركائز قياسية أو مواد فريدة من نوعها، يمكن لفريقنا تقديم منصة جاهزة للمعالجة مصممة خصيصًا لتلبية احتياجاتك.
أنظمة الملاط
تدمج أدواتنا أجهزة المعالجة، وبرامج التحكم المتقدمة، والروبوتات الآلية لتقديم حلول مخصصة بدءًا من مناضد المعالجة اليدوية أحادية العملية إلى أنظمة مناولة الرقائق المؤتمتة بالكامل، ويمكننا تخصيص حاملات الركائز والمستجيبات النهائية لاستيعاب متطلبات المعالجة الفريدة.
نحن ندعم مجموعة كبيرة من الركائز والمواد:
- الرقائق (100 مم - 300 مم)
- مواد أشباه الموصلات III-V
- الأقنعة الضوئية
- تركيبات الزجاج والكوارتز
- المشعبات المخصصة والناقلات المتخصصة
يمكن لمهندسينا أيضًا تصميم مستجيبات نهائية مخصصة وناقلات الركائز لتلبية احتياجاتك الخاصة في المعالجة والمعالجة.
- التنظيف، وشرائط المقاومة، والحفر، والتطوير، ورفع المعادن، واستعادة IPA والتجفيف
- قابلة للاستخدام في التطبيقات الحمضية والقاعدية والمذيبات
- أحجام حمامات أحادية أو متعددة الكاسيت
- معدات معالجة قابلة للتكوين وقابلة للتطوير.
يتمتع فريقنا بخبرة في مجموعة واسعة من احتياجات التطبيقات بما في ذلك العمل في FEOL وBEOL والتغليف المتقدم والطلاء بنمط MEMS والترسيب المغناطيسي والحفر الكهربائي والترسيب الإلكتروني. لدينا أيضًا تخطيطات حمام عملية رطبة قياسية متاحة للعديد من التطبيقات مثل:
- الحفر الرطب - حفر السيليكون (KOH)، وحفر النيتريد، وحفر الأكسيد المخزن، وشريط مقاوم للضوء، وحفر الذهب/البلاتين.
- رفع المعادن - تكوينات NMP وDMSO
- تنظيف الرقاقة - دعم حمامات HF وPiranha وSC1 وSC2
يمكن تهيئة أدوات المعالجة لدينا بمجموعة كاملة من أنظمة الدعم لتعزيز الأتمتة والسلامة وإدارة المواد الكيميائية:
- أنظمة مناولة المواد الكيميائية
- عربات المواد الكيميائية للتوزيع والإزالة والتخزين
- قوارير مدمجة لجمع النفايات
- محطات رفع لتحييد النفايات
- أجهزة تحسين العمليات
- أجهزة تدوير يتم التحكم في درجة حرارتها (WHRV)
- التدفئة: ما يصل إلى 5115 وحدة حرارية بريطانية/ساعة
- التبريد: حتى 2550 وحدة حرارية بريطانية/ساعة
- أحواض إعادة التدوير للحصول على درجة حرارة وتدفق ثابتين
- خزانات كوارتز لمقاومة المواد الكيميائية
- غسالات التفريغ السريع (QDR)
- أوضاع الغمر والتتالي والرذاذ
أنظمة تحضير الأسطح لدينا قابلة للتطوير وجاهزة للاندماج في غرف التنظيف ومختبرات البحث والتطوير والتصنيع بكميات كبيرة. سواءً كنت تعمل مع ركائز قياسية أو مواد فريدة من نوعها، يمكن لفريقنا تقديم منصة جاهزة للمعالجة مصممة خصيصًا لتلبية احتياجاتك.