أنظمة الغازات السائبة عالية النقاء

أنظمة الغازات السائبة عالية النقاء

تقدم أنظمة الغاز السائبة عالية النقاء من Exentec حلولاً جاهزة أو متخصصة لتوصيل الغاز الآمن والفعال في صناعات مثل تصنيع أشباه الموصلات. بدءًا من أدوات التحكم في خطوط الأنابيب إلى مزلقات التنقية، يمكن تخصيص الأنظمة بالكامل لأنواع الغاز المتنوعة - مما يزيد من السلامة والإنتاجية وقيمة دورة الحياة.

أنظمة الغازات عالية النقاء والمواصفات

أنظمة الغازات عالية النقاء والمواصفات

تتميز أنظمة غاز المواصفات عالية النقاء من Exentec بأنظمة غاز المواصفات عالية النقاء التي تتميز بالتحكم المتكامل تمامًا في PLC/HMI مع إمكانية الوصول عن بُعد وتنظيم الضغط الآلي لتدفق الغاز بدقة ودون انقطاع. وهي مصممة للخزانات المدمجة، وتقلل من التدخل اليدوي بنسبة 30%، وتقلل من تقلبات الضغط، وتعزز السلامة من خلال الأتمتة الكاملة.

أنظمة خلط الغاز

أنظمة خلط الغاز

توفر أنظمة خلط الغازات من Exentec خلطًا دقيقًا وآليًا للغازات حتى 250 سل في الدقيقة، مع مراقبة في الوقت الفعلي ودقة ± 0.3%. مجهزة بتحكم PLC، ومحلل مدمج، وميزات السلامة في حاوية مدمجة متوافقة مع SEMI-F14، مما يضمن أداءً موثوقًا للتطبيقات الصعبة.

صناديق مشعب الصمامات

صناديق مشعب الصمامات

يتيح صندوق مشعب الصمامات (VMB) من Exentec توزيعًا آمنًا وموثوقًا للغاز بما يصل إلى 8 أعواد، ويتميز بالتحكم اليدوي إلى التحكم الآلي بالكامل، كما أنه مزود بخاصية N₂ الاختيارية للتطهير والتفريغ للصيانة. متوفرة في تصميمات اللوحة أو خزانة العادم، توفر VMBs ميزات أمان متقدمة وعزل مزدوج وملحقات قابلة للتخصيص لتطبيقات الغازات الخاملة أو الخطرة.

ألواح مشعب الصمامات

ألواح مشعب الصمامات

يقدم فريق توريد الوسائط عالية النقاء لدى Exentec لوحات غاز مبتكرة وموثوقة مدعومة بخبرة واسعة في التصنيع والتركيب. تشمل خيارات اللوحات تكوينات تلقائية ويدوية ووحدات معيارية وتطهيرية - مثل لوحات التحويل التلقائي التي تضمن تدفق الغاز دون انقطاع عن طريق تبديل الأسطوانات تلقائيًا عند نفاد إحداها.

ألواح مشعب الصمامات

ألواح مشعب الصمامات

يقدم فريق توريد الوسائط عالية النقاء لدى Exentec لوحات غاز مبتكرة وموثوقة مدعومة بخبرة واسعة في التصنيع والتركيب. تشمل خيارات اللوحات تكوينات تلقائية ويدوية ووحدات معيارية وتطهيرية - مثل لوحات التحويل التلقائي التي تضمن تدفق الغاز دون انقطاع عن طريق تبديل الأسطوانات تلقائيًا عند نفاد إحداها.

أجهزة التحكم في نظام توصيل الغاز

أجهزة التحكم في نظام توصيل الغاز

تقدم Exentec مجموعة متعددة الاستخدامات من وحدات التحكم في نظام توصيل الغاز، قابلة للتخصيص لأنواع محددة من الغازات وإجراءات التطهير ومنصات التحكم. تشمل الخيارات وحدات تحكم VMB يدوية إلى مؤتمتة بالكامل (4 أو 8 عصا) مع وحدات تحكم منطقية قابلة للبرمجة من ألين برادلي أو سيمنز، بالإضافة إلى نماذج مخصصة وبديلة مباشرة مثل AVMB4S وAVMB8S لتحديثات النظام القديم.

حاوية إمداد الغاز المخصصة

حاوية إمداد الغاز المخصصة

إن حاويات إمداد الغاز "Plug & Process" من Exentec عبارة عن أنظمة معيارية مسبقة الصنع مصممة للنشر السريع والفعال من حيث التكلفة للبنية التحتية للغاز فائق النقاء. وهي قابلة للتخصيص والتشغيل الآلي بالكامل، وتتميز بأنظمة متكاملة للسلامة والتهوية والتحكم - مما يوفر حلولاً فعالة من حيث المساحة وقابلة للتطوير مع دعم الخبراء على المدى الطويل.

التركيبات وتوصيلات الماكينة

التركيبات وتوصيلات الماكينة

يقوم قسم التصميم بمساعدة الحاسوب الداخلي لدينا بتطوير وتصميم المكونات ونقوم بتصنيعها في مواقع الإنتاج المتخصصة لدينا. يقوم خبراؤنا بمعالجة أنابيب الفولاذ المقاوم للصدأ في مجموعة واسعة من النوعيات باستخدام عمليات اللحام المداري أو اليدوي. نستخدم تقنيات الربط بما في ذلك:

  • تقنية VCR
  • تركيب الأنابيب
  • تقنية الشفة
  • أنظمة التركيب بالضغط
  • معالجة البلاستيك (اللحام واللصق)

غرف التنظيف

حلول فائقة وخدمات شاملة

البيئات الصغيرة

وحدات مناولة الهواء

الأنظمة الفرعية الحرجة والبيئات الخاضعة للرقابة

إمدادات الغاز

توريد المواد الكيميائية

أنظمة مزج وتوزيع المواد الكيميائية والملاط فائقة النقاء وأنظمة توزيع المواد الكيميائية فائقة النقاء

الأمبولات وأجهزة الاستشعار

عملية العادم

Exentec Gas Abatement Technology image - formerly Airgard

الحد من الغازات

الحلول الصيدلانية الحيوية

المقاعد المبللة

نحن متخصصون في تصميم أنظمة تحضير الأسطح حيث تتوافق متطلبات التطبيق وأداء المعدات بسلاسة

تدمج أدواتنا أجهزة المعالجة، وبرامج التحكم المتقدمة، والروبوتات الآلية لتقديم حلول مخصصة بدءًا من مناضد المعالجة اليدوية أحادية العملية إلى أنظمة مناولة الرقائق المؤتمتة بالكامل، ويمكننا تخصيص حاملات الركائز والمستجيبات النهائية لاستيعاب متطلبات المعالجة الفريدة.

نحن ندعم مجموعة كبيرة من الركائز والمواد:

  • الرقائق (100 مم - 300 مم)
  • مواد أشباه الموصلات III-V
  • الأقنعة الضوئية
  • تركيبات الزجاج والكوارتز
  • المشعبات المخصصة والناقلات المتخصصة

يمكن لمهندسينا أيضًا تصميم مستجيبات نهائية مخصصة وناقلات الركائز لتلبية احتياجاتك الخاصة في المعالجة والمعالجة.

  • التنظيف، وشرائط المقاومة، والحفر، والتطوير، ورفع المعادن، واستعادة IPA والتجفيف
  • قابلة للاستخدام في التطبيقات الحمضية والقاعدية والمذيبات
  • أحجام حمامات أحادية أو متعددة الكاسيت
  • معدات معالجة قابلة للتكوين وقابلة للتطوير.

يتمتع فريقنا بخبرة في مجموعة واسعة من احتياجات التطبيقات بما في ذلك العمل في FEOL وBEOL والتغليف المتقدم والطلاء بنمط MEMS والترسيب المغناطيسي والحفر الكهربائي والترسيب الإلكتروني. لدينا أيضًا تخطيطات حمام عملية رطبة قياسية متاحة للعديد من التطبيقات مثل:

  • الحفر الرطب - حفر السيليكون (KOH)، وحفر النيتريد، وحفر الأكسيد المخزن، وشريط مقاوم للضوء، وحفر الذهب/البلاتين.
  • رفع المعادن - تكوينات NMP وDMSO
  • تنظيف الرقاقة - دعم حمامات HF وPiranha وSC1 وSC2


يمكن تهيئة أدوات المعالجة لدينا بمجموعة كاملة من أنظمة الدعم لتعزيز الأتمتة والسلامة وإدارة المواد الكيميائية:

  • أنظمة مناولة المواد الكيميائية
  • عربات المواد الكيميائية للتوزيع والإزالة والتخزين
  • قوارير مدمجة لجمع النفايات
  • محطات الرفع لتحييد النفايات
  • أجهزة تحسين العمليات
  • أجهزة تدوير يتم التحكم في درجة حرارتها (WHRV)
  • التدفئة: ما يصل إلى 5115 وحدة حرارية بريطانية/ساعة
  • التبريد: حتى 2550 وحدة حرارية بريطانية/ساعة
  • أحواض إعادة التدوير للحصول على درجة حرارة وتدفق ثابتين
  • خزانات كوارتز لمقاومة المواد الكيميائية
  • غسالات التفريغ السريع (QDR)
  • أوضاع الغمر والتتالي والرذاذ

أنظمة تحضير الأسطح لدينا قابلة للتطوير وجاهزة للاندماج في غرف التنظيف ومختبرات البحث والتطوير والتصنيع بكميات كبيرة. سواءً كنت تعمل مع ركائز قياسية أو مواد فريدة من نوعها، يمكن لفريقنا تقديم منصة جاهزة للمعالجة مصممة خصيصًا لتلبية احتياجاتك.

أنظمة الملاط

تدمج أدواتنا أجهزة المعالجة، وبرامج التحكم المتقدمة، والروبوتات الآلية لتقديم حلول مخصصة بدءًا من مناضد المعالجة اليدوية أحادية العملية إلى أنظمة مناولة الرقائق المؤتمتة بالكامل، ويمكننا تخصيص حاملات الركائز والمستجيبات النهائية لاستيعاب متطلبات المعالجة الفريدة.

نحن ندعم مجموعة كبيرة من الركائز والمواد:

  • الرقائق (100 مم - 300 مم)
  • مواد أشباه الموصلات III-V
  • الأقنعة الضوئية
  • تركيبات الزجاج والكوارتز
  • المشعبات المخصصة والناقلات المتخصصة

يمكن لمهندسينا أيضًا تصميم مستجيبات نهائية مخصصة وناقلات الركائز لتلبية احتياجاتك الخاصة في المعالجة والمعالجة.

  • التنظيف، وشرائط المقاومة، والحفر، والتطوير، ورفع المعادن، واستعادة IPA والتجفيف
  • قابلة للاستخدام في التطبيقات الحمضية والقاعدية والمذيبات
  • أحجام حمامات أحادية أو متعددة الكاسيت
  • معدات معالجة قابلة للتكوين وقابلة للتطوير.

يتمتع فريقنا بخبرة في مجموعة واسعة من احتياجات التطبيقات بما في ذلك العمل في FEOL وBEOL والتغليف المتقدم والطلاء بنمط MEMS والترسيب المغناطيسي والحفر الكهربائي والترسيب الإلكتروني. لدينا أيضًا تخطيطات حمام عملية رطبة قياسية متاحة للعديد من التطبيقات مثل:

  • الحفر الرطب - حفر السيليكون (KOH)، وحفر النيتريد، وحفر الأكسيد المخزن، وشريط مقاوم للضوء، وحفر الذهب/البلاتين.
  • رفع المعادن - تكوينات NMP وDMSO
  • تنظيف الرقاقة - دعم حمامات HF وPiranha وSC1 وSC2


يمكن تهيئة أدوات المعالجة لدينا بمجموعة كاملة من أنظمة الدعم لتعزيز الأتمتة والسلامة وإدارة المواد الكيميائية:

  • أنظمة مناولة المواد الكيميائية
  • عربات المواد الكيميائية للتوزيع والإزالة والتخزين
  • قوارير مدمجة لجمع النفايات
  • محطات رفع لتحييد النفايات
  • أجهزة تحسين العمليات
  • أجهزة تدوير يتم التحكم في درجة حرارتها (WHRV)
  • التدفئة: ما يصل إلى 5115 وحدة حرارية بريطانية/ساعة
  • التبريد: حتى 2550 وحدة حرارية بريطانية/ساعة
  • أحواض إعادة التدوير للحصول على درجة حرارة وتدفق ثابتين
  • خزانات كوارتز لمقاومة المواد الكيميائية
  • غسالات التفريغ السريع (QDR)
  • أوضاع الغمر والتتالي والرذاذ

أنظمة تحضير الأسطح لدينا قابلة للتطوير وجاهزة للاندماج في غرف التنظيف ومختبرات البحث والتطوير والتصنيع بكميات كبيرة. سواءً كنت تعمل مع ركائز قياسية أو مواد فريدة من نوعها، يمكن لفريقنا تقديم منصة جاهزة للمعالجة مصممة خصيصًا لتلبية احتياجاتك.