نظام توصيل البخار

نظام توصيل البخار من Exentec هو حل مدمج ومستقل لتوزيع بخار المواد الكيميائية بكفاءة ودقة. وهو يشتمل على وعاء فقاعات من الفولاذ المقاوم للصدأ، ومبرد مدمج اختياري، ووحدة تحكم في النظام - كل ذلك ضمن مساحة صغيرة. يمكن تهيئة توصيلات المرفق والغاز الناقل وتوصيلات المعالجة من جوانب متعددة للتركيب المرن.

نظرة عامة على النظام:

• فقاعات غاز ناقل من خلال مادة كيميائية سائلة في الوعاء باستخدام ناشر سائل للحصول على تشبع بخار عالٍ
• يحافظ مستشعر المستوى الخطي النشط على مستوى السائل المحدد
• يضمن التحكم في درجة الحرارة عن طريق المجس والمبرد الاختياري توصيل بخار ثابت

مواصفات الضميمة:

• الحجم: 16 بوصة العرض × العمق 16 بوصة × الارتفاع 74.25 بوصة مع عادم 3 بوصة
• فولاذ متين قياس 11 مع طلاء مقاوم للتآكل
• ضميمة داخلية ملحومة لاحتواء المواد الكيميائية
• كوات وفتحة خلفية لإخلاء فعال للغازات
• مناطق منفصلة للمكونات الكهربائية والمبردات والغازات
• ميزات السلامة: مستشعر العادم، ورشاش UL، ومستشعر حريق بمعدل ارتفاع، وأبواب مزودة بحشية

الخيارات المتاحة:

• أحجام الفقاعات: 1، أو 5، أو 10، أو 20 لترًا
• مبرد مدمج
• خيارات الاستصلاح: تصريف يدوي أو عن بُعد، خط استصلاح
• عصا الغاز الناقل: مقياس/جهاز إرسال/مقياس ضغط اختياري، تجاوز، صمام ESO

تدعم حاويات الفقاقيع فائقة الأداء من Exentec توصيل البخار عالي الأداء في أشباه الموصلات والطاقة الشمسية وعمليات التصنيع المتقدمة ذات الصلة مثل التفتيت بالانبعاثات الضوئية المتضخمة (ALD) و PEALD و CVD و epitaxy.