مزج الطين الموحل CMP وتوصيله

تمتلك مصانع تصنيع أشباه الموصلات حدود تحكم عليا وسفلى مشددة بشكل متزايد (UCL / LCL) لعدد من معلمات العمليات الحرجة. وتشمل هذه المعلمات الدوال ذات الصلة بالتركيزات المحددة، والعديد من المعلمات الأخرى المرتبطة بعمليات مزج وتوزيع ملاط CMP لعملية كيميائية حرجة معينة.

ولتحقيق ذلك كانت هناك تطورات كبيرة في علم القياس، تتنوع في المجالات والمبادئ؛ ولكن العديد منها اليوم مجرد مقاييس أو عمليات تحقق غير متصلة بالإنترنت، والتي تستخدم لتلبية الدقة والدقة المطلوبة لحدود التحكم هذه.

وللاستغناء عن الحاجة إلى الأجهزة غير المتصلة بالإنترنت، فإن Exentec لديها ممارسة مثبتة لتوصيف الصقل الميكانيكي الكيميائي، حيث يمكن استخدام أجهزة قياس مختلفة، أو مجموعات من هذه الأجهزة، لتحقيق أفضل تحكم مدفوع بالمترولوجيا في الخط بأعلى مستوى من الدقة.

يمكن أن تستخدم Exentec هذا المزيج من الأجهزة لتحقيق نتائج فورية عبر الإنترنت ثبت أنها تفي أو تتجاوز المستويات التي تظهرها العديد من الطرق غير المتصلة بالإنترنت.

المزايا

• دقة مزج أعلى وتحكم في الوقت الحقيقي
• أقصى وقت تشغيل
• نظام مؤتمت بالكامل
• تكلفة ملكية منخفضة
• واجهة مستخدم عالية المرونة وسهلة الاستخدام
• نظام و/أو مكونات زائدة لزيادة وقت تشغيل الإنتاج إلى أقصى حد
• التنظيف الآلي للنظام
• تصميمات موفرة للمساحة
• تكوين المزيج الكامل ومعالجته